Fizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów
|
|
- Aleksandra Dziedzic
- 7 lat temu
- Przeglądów:
Transkrypt
1 Fizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów Stanisław Krukowski i Michał Leszczyński Instytut Wysokich Ciśnień PAN Warszawa, ul Sokołowska 29/37 tel: stach@unipress.waw.pl, mike@unipress.waw.pl Zbigniew Żytkiewicz Instytut Fizyki PAN Warszawa, Al. Lotników 32/46 zytkie@ifpan.edu.pl Wykład 2 godz./tydzień wtorek Interdyscyplinarne Centrum Modelowania UW Budynek Wydziału Geologii UW sala
2 EPITAKSJA WARSTW PÓŁPRZEWODNIKOWYCH Michał Leszczyński Instytut Wysokich Ciśnień PAN i TopGaN W-wa 11 października 2011
3 DEFINICJA Epitaksja-nakładanie warstw monokrystalicznych na podłoże monokrystaliczne wymuszające strukturękrystalicznąwarstwy.
4 Reaktory do epitaksji związkow zkow półprzewodnikowych przewodnikowych w Polsce (MBE, MOVPE, HVPE) Unipress/ TopGaN ITME Azotkowe W Inne półprzew Razem W Inne instytucje Cała Polska
5 Plan Zastosowania struktur warstw epitaksjalnch Metody wzrostu warstw: MOVPE i MBE Problem niedopasowania sieciowego Wzrost studni kwantowych Domieszkowanie
6 I. Zastosowania struktur warstw epitaksjalnych Diody elektroluminescencyjne LED Diody laserowe LD Tranzystory i sensory Detektory światła Ogniwa słoneczne
7 Diody elektroluminescencyjne LED + GaN:Mg 100nm Al 0.20 GaN:Mg 60nm 4QW QW In X Ga 1-X N/QB In Y Ga 1-Y N:Si In 0.02 GaN:Si 50nm Al 0.16 GaN:Si 40nm GaN:Si 500nm -
8 Diody laserowe p-al0.3 GaN (10 nm) p-gan (50 nm) p-gan/p-al n-gan/al n-gan (140 nm) (26 Ĺ / 26 Ĺ) * 80 SL p-gan (70 nm) GaN ( 29 Ĺ / 29Ĺ )*110 SL GaN In 0.04 GaN:Si (8 nm) In10% GaN /In 4% GaN:Mg (45 Ĺ / 80 Ĺ) * 5 MQW GaN:Si (530 nm) bulk n-gan
9 HEMT, także sensory gazów i cieczy source ohmic gate metal (e.g. aluminum) Schottky diode ohmic drain t b δ n-algaas i-algaas i-gaas 2DEG Insulating substrate
10 Detektory światła Ni/Au Ti/Al GaN:Mg p-algan In Ga N/GaN x 1-x GaN:Si GaN Buffer Sapphire
11 Ogniwa słoneczne
12 II. Metody wzrostu warstw epitaksjalnych Molecular Beam Epitaxy (MBE) Metalorganic Vapour Phase Epitaxy (MOVPE), czasami zwane MOCVD
13 Zasada działania MBE
14 MBE
15 Appropriate other meanings of MBE Mostly Broken Equipment Massive Beer Expenditures Maniac Bloodsucking Engineers Mega-Buck Evaporator Many Boring Evenings (how do you think this list came about?) Minimal Babe Encounters (see previous item) Mainly B.S. and Exaggeration Medieval Brain Extractor Money Buys Everything Make Believe Experiments Management Bullshits Everyone Malcontents, Boobs, and Engineers Music, Beer, and Excedrin
16 RHEED- reflection high energy electron diffraction Gładkość Parametry sieci Rekonstrukcja powierzchni Szybkość wzrostu
17 RHEED
18 Mod wzrostu poprzez płynięcie stopni (step-flow) Brak oscylacji RHEED AFM
19 TEM struktury laserowej wzrastanej metodą MBE 10 nm
20 MOVPE-metalorganic chemical vapour phase epitaxy A(CH3)3+NH3->AN+3CH4 A= Ga, In, Al
21 MOVPE Reflektometria laserowa In-situ Przepływ górny (gaz nośny) podłoże Wlot grupy V NH3 SiH4 gaz nośny grzanie indukcyjne Wlot grupy III TMGa TMAl TMIn Cp2Mg Gaz nośny grafitowa podstawa pokryta SiC
22 MOVPE Układ gazowy Reaktor
23 Wielowaflowe (multiwafer) reaktory MOVPE
24 Reflektometria laserowa (monitorowanie wzrostu struktury niebieskiej diody 6 laserowej) 5 refl. int. [a.u.] time [s]
25 Wbudowywanie się In w InGaN w zależności od przepływu TMI
26 Wbudowywanie się In w InGaN w zależności od temperatury
27 III. Problem niedopasowania sieciowego Homoepitaksja Heteroepitaksja Przypadek warstw naprężonych Przypadek warstw zrelaksowanych
28 III. Relaksacja sieci Naprężone- fully strained Zrelaksowane- relaxed
29 Homoepitaksja Warstwa tego samego związku, co podłoże, może być niedopasowana sieciowo na poziomie ok %
30 Rozepchnięcie cie sieci przez swobodne elektrony E= f (V) + n* Ec de/dv= HP GaN a = a0+ n* Vd c(a) HVPE n(10 19 cm -3 )
31 Rozepchnięcie cie sieci przez swobodne elektrony
32 EL2-like defects 300 K 77 K dark 77 K nm LT GaAs GaAs nm Or +140 K
33
34 Jak stwierdzamy, czy warstwa jest zrelaksowana?
35 Wartości krytyczne do relaksacji critical thickness (nm) dislocations cracking mismatch (%) Wartości niedopasowania i grubości warstw występujących w laserze niebieskim
36 Wartości krytyczne zależą nie tylko od grubości i niedopasowania warstwy epitaksjalnej, ale także od: Dezorientacji (miscut) podłoża Domieszkowania Obecności defektów w podłożu Warunków wzrostu (temperatura, przepływy reagentów, ciśnienie) Grubości podłoża
37 Pękanie 1 µm AlGaN, Al=8% On 60 µm GaN On 120 µm GaN substrates
38 Wygięcie struktury laserowej w zależno ności od grubości podłoża R AlGaN HP GaN R(cm) 1000 cladding Akceptowalne Za małe µm 90 µm 60 µm Al content (%)
39 EPD w strukturze epitaksjalnej niebieskiego lasera 10 5 cm µm 20 µm m LD pasek Około o 5 dyslokacji na pasek, w tym 0-10 przecinających cych warstwę aktywną
40 EPD- informacja gdzie się dyslokacja zaczyna p-gan p-algan/p-gan 0.14 (86 A / 86 A ) * 25 p-gan n-gan n-algan/gan 0.11 (43 A/ 25 A )*98 InGaN 0.5%9 % MQW InGaN:Si 0.08 GaN:Si bulk n-gan Pod warstwą aktywną
41 EPD- informacja gdzie się dyslokacja zaczyna p-gan p-algan/p-gan 0.14 (86 A / 86 A ) * 25 p-gan n-gan n-algan/gan 0.11 (43 A/ 25 A )*98 InGaN 0.5%9 % MQW InGaN:Si 0.08 GaN:Si bulk n-gan Nad warstwą aktywną
42 GaN na szafirze-przykład bardzo dużego niedopasowania- 16% nachylenia ( tilt ) [0001] kąt nachylenia granice mozaiki - skręcenia ( twist ) szafir LT-bufor [11-20] kąt skręcenia
43 Lateralna epitaksja (ELOG-Lateral Epitaxial Overgrowth) jamki trawienia okno wzrostu ELOG maska dyslokacje w warstwie buforowej bufor szafir Model filtrowania dyslokacji w układach warstwowych o dużym niedopasowaniu sieciowym bufor GaN/szafir: gęstość dyslokacji przenikających ELOG cm cm -2
44 I (zliczenia/sek.) GaAs typu ELOG na Si (4% niedopasowania sieciowego) B A Krzywa odbić refl. 004 nie zrośniętych pasków GaAs typu ELOG dla dwóch geometrii pomiaru płaszczyzna dyfrakcji ω - ω max (sek.) płaszczyzna dyfrakcji oś obrotu kąta ω A B oś obrotu kąta ω
45 Dla ultrafioletowych laserów w nie ma szans usunięcia dyslokacji w technologii planarnej dislocations critical thickness (nm) cracking mismatch (%)
46 Zróbmy defekty tylko tam, gdzie nie ma paska laserowego AlN AlN-fully relaxed Type n Type p AlN Dyslokacje zatrzymują pękanie i zmniejszają wygięcie
47 AlGaN-owa warstwa na GaN Zwyczajne podłoże Z maską AlN Over AlN mask Pęknięcia Bez takowych
48 Struktura laserowa na pasiastym podłozu ozu Nie ma dyslokacji Dyslokacje: cm -2 nad maską AlN
49 IV. Studnie kwantowe Skład studni i bariery Szybkość wzrostu, temperatura, itp.. Czas zatrzymania wzrostu na międzypowierzchni Granica ostra albo rozmyta Może lepsze kropki kwantowe zamiast studni
50 Czasem wielostudnie są bliskie ideału intensity (cps) experimental intensity (cps) experimental simulation theta (deg) 1 simulation Angle (deg) 2 theta (deg) Nie ma segregacji indu. d(well)=3.2 nm,, d(barrier)=7.1 nm, x average = 3.2%
51 Czasem nie są s Krzywa odbić dla GaN/InGaN MQW z rozsegregowanym indem experiment simulation intensity [a. u.] ,1 0, Angle 2theta [rel. (arcsec.] sec)
52 Jak badamy gładkog adkość między dzy-powierzchni? Reflektometrią rentgenowską. RMS 1A RMS 20A
53 Reflektometrią też badamy grubość cienkich warstw 60 nm Ni on Si 10 nm Au 60 nm Ni on Si
54 Przykład badań: studnie InGaN QW samples Sample b1093: narrow (3 nm) QWs sample Q3 Sample b1045: wide (9 nm) QWs sample Q9 GaN capping, 20 nm MOCVD n-gan 5x [(3 nm or 9 nm In 0.09 Ga 0.91 N QW) / 9 nm GaN QB, [Si] = cm -3 ] Bulk n-gan
55 Fotoluminescencja E E (ev) Q3 Q9 Różnice Q3 and Q9: 1. Q3 ma S-shape, Q9 nie ma FWHM (ev) Intensity (a.u.) Q Q Q Q Temperature (K) 2. PL intensywność Q9 jest (i) wyższa (ii) Mniej zmienia się z temperaturą. 3. FWHM dla Q3 jest większa niż dla Q9.
56 Mapowanie katodoluminescencji CL peak energy (ev) CL peak energy (ev) T=6 K sample Q T=6 K sample Q Position (µm) Position (µm)
57 Inkorporacja indu w InGaN QW In content in QW [%] dqw [A] Gruba QW - więcej In ale λ taka sama Mniejsza segregacja
58 V. Domieszkowanie Donory np. Si, O w GaAs, GaN, InP (III-V) Akceptory, np. Be w GaAs, Mg w GaN Autokompensacja Kompensacja zanieczyszczeniami Tworzenie par, trójek i większych kompleksów Tworzenie defektów rozciągłych.
59 Warstwa AlGaN z za dużą koncentracją Al i Mg
60 TEM struktury laserowej z za dużą koncentracją domieszki Mg
61 Czego warto nauczyć się o epitaksji w dalszym ciągu wykładu? Zjawiska na powierzchni półprzewodnika w czasie wzrostu, Mechanizmy relaksacji sieci, Od czego zależą własności optyczne i elektryczne półprzewodnikowych struktur kwantowych, I wielu innych rzeczy...
Fizyka i technologia wzrostu kryształów
Fizyka i technologia wzrostu kryształów Wykład.2 Epitaksja warstw półprzewodnikowych Stanisław Krukowski i Michał Leszczyński Instytut Wysokich Ciśnień PAN 01-142 Warszawa, ul Sokołowska 29/37 tel: 88
Bardziej szczegółowoWzrost kryształów objętościowych i warstw epitaksjalnych- informacje wstępne. Michał Leszczyński. Instytut Wysokich Ciśnień PAN UNIPRESS i TopGaN
Wzrost kryształów objętościowych i warstw epitaksjalnych- informacje wstępne Michał Leszczyński Instytut Wysokich Ciśnień PAN UNIPRESS i TopGaN Plan wykładu Laboratoria wzrostu kryształów w Warszawie Po
Bardziej szczegółowoFizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów Epitaksja z fazy gazowej
Fizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów Epitaksja z fazy gazowej Michał Leszczyński Wykład 2 godz./tydzień wtorek 9.00 11.00 Interdyscyplinarne Centrum Modelowania UW, Siedziba A, Sala
Bardziej szczegółowoFizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów Dyfrakcja i Reflektometria Rentgenowska
Fizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów Dyfrakcja i Reflektometria Rentgenowska Michał Leszczyński Stanisław Krukowski i Michał Leszczyński Instytut Wysokich Ciśnień PAN 01-142 Warszawa,
Bardziej szczegółowoInTechFun. Innowacyjne technologie wielofunkcyjnych materiałów i struktur dla nanoelektroniki, fotoniki, spintroniki i technik sensorowych
Innowacyjne technologie wielofunkcyjnych materiałów i struktur dla nanoelektroniki, fotoniki, spintroniki i technik sensorowych InTechFun Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk Zbigniew R. Żytkiewicz IF
Bardziej szczegółowoAzotkowe diody laserowe na podłożach GaN o zmiennym zorientowaniu
Azotkowe diody laserowe na podłożach GaN o zmiennym zorientowaniu Marcin Sarzyński Badania finansuje narodowe centrum Badań i Rozwoju Program Lider Instytut Wysokich Cisnień PAN Siedziba 1. Diody laserowe
Bardziej szczegółowoWytwarzanie niskowymiarowych struktur półprzewodnikowych
Większość struktur niskowymiarowych wytwarzanych jest za pomocą technik epitaksjalnych. Najczęściej wykorzystywane metody wzrostu: - epitaksja z wiązki molekularnej (MBE Molecular Beam Epitaxy) - epitaksja
Bardziej szczegółowoZastosowanie struktur epitaksjalnych półprzewodników na świecie i w Polsce
Zastosowanie struktur epitaksjalnych półprzewodników na świecie i w Polsce Michał Leszczyński Instytut Wysokich Ciśnień PAN (UNIPRESS) i TopGaN Wykład 21 01 2013 1 Plan wykładu 1. Porównanie wartości produkcji
Bardziej szczegółowoFizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów. II. semestr Wstęp. 16 luty 2010
Fizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów II. semestr Wstęp 16 luty 2010 Zbigniew R. Żytkiewicz Instytut Fizyki PAN 02-668 Warszawa, Al. Lotników 32/46 tel: 22 843 66 01 ext. 3363 E-mail:
Bardziej szczegółowoKształtowanie przestrzenne struktur AlGaInN jako klucz do nowych generacji przyrządów optoelektronicznych
Kształtowanie przestrzenne struktur AlGaInN jako klucz do nowych generacji przyrządów optoelektronicznych Projekt realizowany w ramach programu LIDER finansowanego przez Narodowe Centrum Badań i Rozwoju
Bardziej szczegółowoEpitaksja - zagadnienia podstawowe
Fizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów Epitaksja - zagadnienia podstawowe 13 marzec 2008 Zbigniew R. Żytkiewicz Instytut Fizyki PAN 02-668 Warszawa, Al. Lotników 32/46 tel: 843 66 01 ext.
Bardziej szczegółowoZ.R. Żytkiewicz IF PAN I Konferencja. InTechFun
Z.R. Żytkiewicz IF PAN I Konferencja Innowacyjne technologie wielofunkcyjnych materiałów i struktur dla nanoelektroniki, fotoniki, spintroniki i technik sensorowych InTechFun 9 kwietnia 2010 r., Warszawa
Bardziej szczegółowoLateralny wzrost epitaksjalny (ELO)
Fizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów Lateralny wzrost epitaksjalny (ELO) 15 kwietnia 2013 Zbigniew R. Żytkiewicz Instytut Fizyki PAN 02-668 Warszawa, Al. Lotników 32/46 tel: 116 3363
Bardziej szczegółowoLateralny wzrost epitaksjalny (ELO)
Fizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów Lateralny wzrost epitaksjalny (ELO) 18 maj 2010 Zbigniew R. Żytkiewicz Instytut Fizyki PAN 02-668 Warszawa, Al. Lotników 32/46 tel: 22 843 66 01
Bardziej szczegółowoJak TO działa? Co to są półprzewodniki? TRENDY: Prawo Moore a. Google: Jacek Szczytko Login: student Hasło: *******
Co to są półprzewodniki? Jak TO działa? http://www.fuw.edu.pl/~szczytko/ Google: Jacek Szczytko Login: student Hasło: ******* Jacek.Szczytko@fuw.edu.pl Wydział Fizyki UW 2 TRENDY: Prawo Moore a TRENDY:
Bardziej szczegółowoFizyka i technologia wzrostu kryształów
Fizyka i technologia wzrostu kryształów Wykład.1 Wzrost kryształów objętościowych półprzewodników na świecie i w Polsce Stanisław Krukowski i Michał Leszczyński Instytut Wysokich Ciśnień PAN 01-142 Warszawa,
Bardziej szczegółowoMetody wytwarzania elementów półprzewodnikowych
Metody wytwarzania elementów półprzewodnikowych Ryszard J. Barczyński, 2010 2015 Politechnika Gdańska, Wydział FTiMS, Katedra Fizyki Ciała Stałego Materiały dydaktyczne do użytku wewnętrznego Wytwarzanie
Bardziej szczegółowoIII. METODY OTRZYMYWANIA MATERIAŁÓW PÓŁPRZEWODNIKOWYCH Janusz Adamowski
III. METODY OTRZYMYWANIA MATERIAŁÓW PÓŁPRZEWODNIKOWYCH Janusz Adamowski 1 1 Wstęp Materiały półprzewodnikowe, otrzymywane obecnie w warunkach laboratoryjnych, charakteryzują się niezwykle wysoką czystością.
Bardziej szczegółowoROZDZIAŁ 4. Polskie diody laserowe do wysokoczułych sensorów ditlenku azotu
39 ROZDZIAŁ 4 Polskie diody laserowe do wysokoczułych sensorów ditlenku azotu 4.1. Wstęp Związki (GaAlIn)N są drugą, co do ważności komercyjnej, grupą półprzewodników (za Si-Ge, ale znacznie przed (GaAlIn)(AsP)).
Bardziej szczegółowoOpracowanie nowych koncepcji emiterów azotkowych ( nm) w celu ich wykorzystania w sensorach chemicznych, biologicznych i medycznych.
Opracowanie nowych koncepcji emiterów azotkowych (380 520 nm) w celu ich wykorzystania w sensorach chemicznych, biologicznych i medycznych. (zadanie 14) Piotr Perlin Instytut Wysokich Ciśnień PAN 1 Do
Bardziej szczegółowoCharakteryzacja właściwości elektronowych i optycznych struktur AlGaN GaN Dagmara Pundyk
Charakteryzacja właściwości elektronowych i optycznych struktur AlGaN GaN Dagmara Pundyk Promotor: dr hab. inż. Bogusława Adamowicz, prof. Pol. Śl. Zadania pracy Pomiary transmisji i odbicia optycznego
Bardziej szczegółowoFizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów
Fizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów Stanisław Krukowski i Michał Leszczyński Instytut Wysokich Ciśnień PAN 01-142 Warszawa, ul Sokołowska 29/37 tel: 88 80 244 e-mail: stach@unipress.waw.pl,
Bardziej szczegółowoMateriały fotoniczne
Materiały fotoniczne Półprzewodniki Ferroelektryki Mat. organiczne III-V, II-VI, III-N - źródła III-V (λ=0.65 i 1.55) II-IV, III-N niebieskie/zielone/uv - detektory - modulatory Supersieci, studnie Kwantowe,
Bardziej szczegółowoMateriały w optoelektronice
Materiały w optoelektronice Materiał Typ Podłoże Urządzenie Długość fali (mm) Si SiC Ge GaAs AlGaAs GaInP GaAlInP GaP GaAsP InP InGaAs InGaAsP InAlAs InAlGaAs GaSb/GaAlSb CdHgTe ZnSe ZnS IV IV IV III-V
Bardziej szczegółowoTechnologia wzrostu epitaksjalnego struktur azotkowych oraz badanie własności optycznych i elektrycznych niebieskich diod LED i LD
SPRAWOZDANIE Z PRAKTYKI STUDENCKIEJ Warszawa, lipiec 2006 Technologia wzrostu epitaksjalnego struktur azotkowych oraz badanie własności optycznych i elektrycznych niebieskich diod LED i LD Justyna Szeszko
Bardziej szczegółowoZałącznik nr 1. Projekty struktur falowodowych
Załącznik nr 1 do sprawozdania merytorycznego z realizacji projektu badawczego Szybka nieliniowość fotorefrakcyjna w światłowodach półprzewodnikowych do zastosowań w elementach optoelektroniki zintegrowanej
Bardziej szczegółowoWykład 12 V = 4 km/s E 0 =.08 e V e = = 1 Å
Wykład 12 Fale materii: elektrony, neutrony, lekkie atomy Neutrony generowane w reaktorze są spowalniane w wyniku zderzeń z moderatorem (grafitem) do V = 4 km/s, co odpowiada energii E=0.08 ev a energia
Bardziej szczegółowoEPITAKSJA MOVPE AZOTKOW III GRUPY UKŁADU OKRESOWEGO - GŁÓWNE PROBLEMY TECHNOLOGICZNE
PL ISSN 0209-0058 MATERIAŁY ELEKTRONICZNE T. 31-2003 NR 3/4 EPITAKSJA MOVPE AZOTKOW III GRUPY UKŁADU OKRESOWEGO - GŁÓWNE PROBLEMY TECHNOLOGICZNE Ewa Dumiszewska', Dariusz Lenkiewicz', Włodzimierz Strupiński',
Bardziej szczegółowoPL B1. INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ, Warszawa, PL INSTYTUT FIZYKI POLSKIEJ AKADEMII NAUK, Warszawa, PL
PL 221135 B1 RZECZPOSPOLITA POLSKA (12) OPIS PATENTOWY (19) PL (11) 221135 (13) B1 Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej (21) Numer zgłoszenia: 399454 (22) Data zgłoszenia: 06.06.2012 (51) Int.Cl.
Bardziej szczegółowoWydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Janiszewskiego 11/17, Wrocław
Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław Laboratorium Nanotechnologii i Struktur Półprzewodnikowych Nasza lokalizacja: Campus ul. Długa 65 53-633 Wrocław, Polska
Bardziej szczegółowoEpitaksja metodą wiązek molekularnych (MBE)
Fizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów Epitaksja metodą wiązek molekularnych (MBE) 18 marzec 2013 Zbigniew R. Żytkiewicz Instytut Fizyki PAN 02-668 Warszawa, Al. Lotników 32/46 tel: 22
Bardziej szczegółowoWykład 5 Fotodetektory, ogniwa słoneczne
Wykład 5 Fotodetektory, ogniwa słoneczne 1 Generacja optyczna swobodnych nośników Fotoprzewodnictwo σ=e(µ e n+µ h p) Fotodioda optyczna generacja par elektron-dziura pole elektryczne złącza rozdziela parę
Bardziej szczegółowo(12) TŁUMACZENIE PATENTU EUROPEJSKIEGO (19) PL (11) PL/EP (96) Data i numer zgłoszenia patentu europejskiego:
RZECZPOSPOLITA POLSKA (12) TŁUMACZENIE PATENTU EUROPEJSKIEGO (19) PL (11) PL/EP 1908099 (96) Data i numer zgłoszenia patentu europejskiego: 24.08.06 06792997.6 (13) (1) T3 Int.Cl. H01L 21/ (06.01) Urząd
Bardziej szczegółowoCienkie warstwy. Podstawy fizyczne Wytwarzanie Właściwości Zastosowania. Co to jest cienka warstwa?
Cienkie warstwy Podstawy fizyczne Wytwarzanie Właściwości Zastosowania Co to jest cienka warstwa? Gdzie stosuje się cienkie warstwy? Wszędzie Wszelkiego rodzaju układy scalone I technologia MOS, i wytwarzanie
Bardziej szczegółowoCo to jest kropka kwantowa? Kropki kwantowe - część I otrzymywanie. Co to jest ekscyton? Co to jest ekscyton? e πε. E = n. Sebastian Maćkowski
Co to jest kropka kwantowa? Kropki kwantowe - część I otrzymywanie Sebastian Maćkowski Instytut Fizyki Uniwersytet Mikołaja Kopernika Co to jest ekscyton? Co to jest ekscyton? h 2 2 2 e πε m* 4 0ε s Φ
Bardziej szczegółowoNaprężenia i defekty w półprzewodnikowych lateralnych strukturach epitaksjalnych badane technikami dyfrakcji i topografii rentgenowskiej
Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk Naprężenia i defekty w półprzewodnikowych lateralnych strukturach epitaksjalnych badane technikami dyfrakcji i topografii rentgenowskiej Aleksandra Wierzbicka Rozprawa
Bardziej szczegółowoRezonatory ze zwierciadłem Bragga
Rezonatory ze zwierciadłem Bragga Siatki dyfrakcyjne stanowiące zwierciadła laserowe (zwierciadła Bragga) są powszechnie stosowane w laserach VCSEL, ale i w laserach z rezonatorem prostopadłym do płaszczyzny
Bardziej szczegółowoV Konferencja Kwantowe Nanostruktury Półprzewodnikowe do Zastosowań w Biologii i Medycynie PROGRAM
V Konferencja Kwantowe Nanostruktury Półprzewodnikowe do Zastosowań w Biologii i Medycynie PROGRAM Kwantowe Nanostruktury Półprzewodnikowe do Zastosowań w Biologii i Medycynie Rozwój i Komercjalizacja
Bardziej szczegółowoCo to jest cienka warstwa?
Co to jest cienka warstwa? Gdzie i dlaczego stosuje się cienkie warstwy? Układy scalone, urządzenia optoelektroniczne, soczewki i zwierciadła, ogniwa paliwowe, rozmaite narzędzia,... 1 Warstwy w układach
Bardziej szczegółowoWykład 5 Fotodetektory, ogniwa słoneczne
Wykład 5 Fotodetektory, ogniwa słoneczne 1 Generacja optyczna swobodnych nośników Fotoprzewodnictwo σ=e(µ e n+µ h p) Fotodioda optyczna generacja par elektron-dziura pole elektryczne złącza rozdziela parę
Bardziej szczegółowoMikrostruktura warstw InGaN stosowanych w niebieskich emiterach światła
Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk Marcin Kryśko Mikrostruktura warstw InGaN stosowanych w niebieskich emiterach światła Rozprawa Doktorska wykonana w Instytucie Wysokich Ciśnień PAN Unipress Promotor:
Bardziej szczegółowoTechnologia cienkowarstwowa
Physical Vapour Deposition Evaporation Dlaczego w próżni? 1. topiony materiał wrze w niższej temperaturze 2. zmniejsza się proces utleniania wrzącej powierzchni 3. zmniejsza się liczba zanieczyszczeń w
Bardziej szczegółowoPL B1. INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ, Warszawa, PL INSTYTUT TECHNOLOGII MATERIAŁÓW ELEKTRONICZNYCH, Warszawa, PL
PL 217755 B1 RZECZPOSPOLITA POLSKA (12) OPIS PATENTOWY (19) PL (11) 217755 (13) B1 (21) Numer zgłoszenia: 387290 (51) Int.Cl. H01S 5/125 (2006.01) Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej (22) Data zgłoszenia:
Bardziej szczegółowoRozszczepienie poziomów atomowych
Rozszczepienie poziomów atomowych Poziomy energetyczne w pojedynczym atomie Gdy zbliżamy atomy chmury elektronowe nachodzą na siebie (inaczej: funkcje falowe elektronów zaczynają się przekrywać) Na skutek
Bardziej szczegółowoPoprawa charakterystyk promieniowania diod laserowych dużej mocy poprzez zastosowanie struktur periodycznych w płaszczyźnie złącza
Poprawa charakterystyk promieniowania diod laserowych dużej mocy poprzez zastosowanie struktur periodycznych w płaszczyźnie złącza Grzegorz Sobczak, Elżbieta Dąbrowska, Marian Teodorczyk, Joanna Kalbarczyk,
Bardziej szczegółowoSkalowanie układów scalonych
Skalowanie układów scalonych Technologia mikroelektroniczna Charakterystyczne parametry najmniejszy realizowalny rozmiar (ang. feature size), liczba bramek (układów) na jednej płytce, wydzielana moc, maksymalna
Bardziej szczegółowoDomieszkowanie półprzewodników
Jacek Mostowicz Domieszkowanie półprzewodników Fizyka komputerowa, rok 4, 10-06-007 STRESZCZENIE We wstępie przedstawiono kryterium podziału materiałów na metale, półprzewodniki oraz izolatory, zdefiniowano
Bardziej szczegółowoWYTWARZANIE HETEROSTRUKTUR InP/InGaAs METODĄ EPITAKSJI Z FAZY GAZOWEJ Z UŻYCIEM METALOORGANIKI (MOVPE)
PL ISSN 020'í-0058 MATRRIAł.Y Hl.KKTRONK/NI T. 26-1998 NR 3/4 WYTWARZANIE HETEROSTRUKTUR InP/InGaAs METODĄ EPITAKSJI Z FAZY GAZOWEJ Z UŻYCIEM METALOORGANIKI (MOVPE) Agata Jasik', Włodzimierz Strupiński',
Bardziej szczegółowoElementy technologii mikroelementów i mikrosystemów. USF_3 Technologia_A M.Kujawińska, T.Kozacki, M.Jóżwik 3-1
Elementy technologii mikroelementów i mikrosystemów USF_3 Technologia_A M.Kujawińska, T.Kozacki, M.Jóżwik 3-1 Elementy technologii mikroelementów i mikrosystemów Typowe wymagania klasy czystości: 1000/100
Bardziej szczegółowoWpływ defektów punktowych i liniowych na własności węglika krzemu SiC
Wpływ defektów punktowych i liniowych na własności węglika krzemu SiC J. Łażewski, M. Sternik, P.T. Jochym, P. Piekarz politypy węglika krzemu SiC >250 politypów, najbardziej stabilne: 3C, 2H, 4H i 6H
Bardziej szczegółowoRekapitulacja. Detekcja światła. Rekapitulacja. Rekapitulacja
Rekapitulacja Detekcja światła Sebastian Maćkowski Instytut Fizyki Uniwersytet Mikołaja Kopernika Adres poczty elektronicznej: mackowski@fizyka.umk.pl Biuro: 365, telefon: 611-3250 Konsultacje: czwartek
Bardziej szczegółowoWPŁYW TRAWIENIA PODŁOŻY 4H-SiC NA EPITAKSJĘ GaN
P. Caban, K. Kościewicz, W. Strupiński,... PL ISSN 0209-0058 MATERIAŁY ELEKTRONICZNE T. 36-2008 NR 4 WPŁYW TRAWIENIA PODŁOŻY 4H-SiC NA EPITAKSJĘ GaN Piotr Caban 1,2, Kinga Kościewicz 1,3, Włodzimierz Strupiński
Bardziej szczegółowoOsadzanie z fazy gazowej
Osadzanie z fazy gazowej PVD (Physical Vapour Deposition) Obniżone ciśnienie PVD procesy, w których substraty dla nakładania warstwy otrzymywane są przez parowanie lub rozpylanie. PAPVD Plasma Assisted
Bardziej szczegółowoUkłady cienkowarstwowe cz. II
Układy cienkowarstwowe cz. II Czym są i do czego mogą się nam przydać? Rodzaje mechanizmów wzrostu cienkich warstw Sposoby wytwarzania i modyfikacja cienkich warstw półprzewodnikowych czyli... Jak zrobić
Bardziej szczegółowo6. Emisja światła, diody LED i lasery polprzewodnikowe
6. Emisja światła, diody LED i lasery polprzewodnikowe Typy rekombinacji Rekombinacja promienista Diody LED Lasery półprzewodnikowe Struktury niskowymiarowe OLEDy 1 Promieniowanie termiczne Rozkład Plancka
Bardziej szczegółowoCo to jest cienka warstwa?
Co to jest cienka warstwa? Gdzie i dlaczego stosuje się cienkie warstwy? Układy scalone, urządzenia optoelektroniczne, soczewki i zwierciadła, ogniwa paliwowe, rozmaite narzędzia,... 1 Warstwy w układach
Bardziej szczegółowoSkalowanie układów scalonych Click to edit Master title style
Skalowanie układów scalonych Charakterystyczne parametry Technologia mikroelektroniczna najmniejszy realizowalny rozmiar (ang. feature size), liczba bramek (układów) na jednej płytce, wydzielana moc, maksymalna
Bardziej szczegółowoEpitaksja metodą wiązek molekularnych (MBE)
Fizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów Epitaksja metodą wiązek molekularnych (MBE) 13 kwiecień 2010 Zbigniew R. Żytkiewicz Instytut Fizyki PAN 02-668 Warszawa, Al. Lotników 32/46 tel:
Bardziej szczegółowoUMO-2011/01/B/ST7/06234
Załącznik nr 7 do sprawozdania merytorycznego z realizacji projektu badawczego Szybka nieliniowość fotorefrakcyjna w światłowodach półprzewodnikowych do zastosowań w elementach optoelektroniki zintegrowanej
Bardziej szczegółowoCentrum Materiałów Zaawansowanych i Nanotechnologii
Centrum Materiałów Zaawansowanych i Nanotechnologii sprawozdanie za okres I 2010 XII 2011 Prof. dr hab. Jan Misiewicz www.cmzin.pwr.wroc.pl Centrum Materiałów Zaawansowanych i Nanotechnologii (CMZiN) Jest
Bardziej szczegółowoFizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów. Metody optyczne w badaniach półprzewodników Przykładami różnymi zilustrowane
Fizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów Metody optyczne w badaniach półprzewodników Przykładami różnymi zilustrowane Piotr Perlin Instytut Wysokich Ciśnień PAN piotr@unipress.waw.pl Wykład:
Bardziej szczegółowoDiody elektroluminescencyjne na bazie GaN z powierzchniowymi kryształami fotonicznymi
Diody elektroluminescencyjne na bazie z powierzchniowymi kryształami fotonicznymi Krystyna Gołaszewska Renata Kruszka Marcin Myśliwiec Marek Ekielski Wojciech Jung Tadeusz Piotrowski Marcin Juchniewicz
Bardziej szczegółowoMetody optyczne w badaniach półprzewodników Przykładami różnymi zilustrowane. Piotr Perlin Instytut Wysokich Ciśnień PAN
Metody optyczne w badaniach półprzewodników Przykładami różnymi zilustrowane Piotr Perlin Instytut Wysokich Ciśnień PAN Jak i czym scharakteryzować kryształ półprzewodnika Struktura dyfrakcja rentgenowska
Bardziej szczegółowoGaSb, GaAs, GaP. Joanna Mieczkowska Semestr VII
GaSb, GaAs, GaP Joanna Mieczkowska Semestr VII 1 Pierwiastki grupy III i V układu okresowego mają mało jonowy charakter. 2 Prawie wszystkie te kryształy mają strukturę blendy cynkowej, typową dla kryształów
Bardziej szczegółowoModelowanie zjawisk elektryczno-cieplnych w ultrafioletowej diodzie elektroluminescencyjnej
Modelowanie zjawisk elektryczno-cieplnych w ultrafioletowej diodzie elektroluminescencyjnej Robert P. Sarzała 1, Michał Wasiak 1, Maciej Kuc 1, Adam K. Sokół 1, Renata Kruszka 2, Krystyna Gołaszewska 2
Bardziej szczegółowoCiała stałe. Literatura: Halliday, Resnick, Walker, t. 5, rozdz. 42 Orear, t. 2, rozdz. 28 Young, Friedman, rozdz
Ciała stałe Podstawowe własności ciał stałych Struktura ciał stałych Przewodnictwo elektryczne teoria Drudego Poziomy energetyczne w krysztale: struktura pasmowa Metale: poziom Fermiego, potencjał kontaktowy
Bardziej szczegółowoMBE epitaksja z wiązek molekularnych
MBE epitaksja z wiązek molekularnych Tomasz Słupiński Uniwersytet Warszawski, Wydział Fizyki, Zakład Fizyki Ciała Stałego (Pracownia Fizyki Wzrostu Kryształów) tomslu@fuw.edu.pl Wykład w PTWK, 4 kwietnia,
Bardziej szczegółowoDyslokacje w kryształach. ach. Keshra Sangwal Zakład Fizyki Stosowanej, Instytut Fizyki Politechnika Lubelska
Dyslokacje w kryształach ach Keshra Sangwal Zakład Fizyki Stosowanej, Instytut Fizyki Politechnika Lubelska I. Wprowadzenie do defektów II. Dyslokacje: Podstawowe pojęcie III. Własności mechaniczne kryształów
Bardziej szczegółowoFizyka Laserów wykład 10. Czesław Radzewicz
Fizyka Laserów wykład 10 Czesław Radzewicz Struktura energetyczna półprzewodników Regularna budowa kryształu okresowy potencjał Funkcja falowa elektronu. konsekwencje: E ψ r pasmo przewodnictwa = u r e
Bardziej szczegółowoIII Pracownia Półprzewodnikowa
Pomiary czasowo-rozdzielcze nanostruktur azotkowych. Ćwiczenie będzie polegało na zmierzeniu czasowo-rozdzielonej fotoluminescencji przy użyciu kamery smugowej, a następnie na analizie otrzymanych danych.
Bardziej szczegółowoDyslokacje w kryształach. ach. Keshra Sangwal, Politechnika Lubelska. Literatura
Dyslokacje w kryształach ach Keshra Sangwal, Politechnika Lubelska I. Wprowadzenie do defektów II. Dyslokacje: podstawowe pojęcie III. Własności mechaniczne kryształów IV. Źródła i rozmnażanie się dyslokacji
Bardziej szczegółowoPomiary widm fotoluminescencji
Fotoluminescencja (PL photoluminescence) jako technika eksperymentalna, oznacza badanie zależności spektralnej rekombinacji promienistej, pochodzącej od nośników wzbudzonych optycznie. Schemat układu do
Bardziej szczegółowoPlan. 2. Fizyka heterozłącza a. proste modele kwantowe b. n-wymiarowy gaz elektronowy
Plan 1. Przegląd struktur niskowymiarowych a. studnie kwantowe, supersieci, wytwarzanie b. druty kwantowe, kropki kwantowe; wytwarzanie nanokryształy struktury samorosnące c. charakter widm optycznych
Bardziej szczegółowoZaawansowana Pracownia IN
Pomiary czasowo-rozdzielcze nanostruktur azotkowych. Ćwiczenie będzie polegało na zmierzeniu czasowo-rozdzielonej fotoluminescencji przy użyciu kamery smugowej, a następnie na analizie otrzymanych danych.
Bardziej szczegółowoNiebieskie, zielone i białe emitery światła wytwarzane z półprzewodników A III -B N
Ukazuje się od 1919 roku 7'14 Organ Stowarzyszenia Elektryków Polskich Wydawnictwo SIGMA-NOT Sp. z o.o. Mariusz RUDZIŃSKI, Marek WESOŁOWSKI, Włodzimierz STRUPIŃSKI Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych,
Bardziej szczegółowoTECHNOLOGIA WYKONANIA PRZYRZĄDÓW PÓŁPRZEWOD- NIKOWYCH WYK. 16 SMK Na pdstw.: W. Marciniak, WNT 1987: Przyrządy półprzewodnikowe i układy scalone,
TECHNOLOGIA WYKONANIA PRZYRZĄDÓW PÓŁPRZEWOD- NIKOWYCH WYK. 16 SMK Na pdstw.: W. Marciniak, WNT 1987: Przyrządy półprzewodnikowe i układy scalone, 1. Technologia wykonania złącza p-n W rzeczywistych złączach
Bardziej szczegółowoWłasności optyczne półprzewodników
Własności optyczne półprzewodników Andrzej Wysmołek Wykład przygotowany w oparciu o wykłady prowadzone na Wydziale Fizyki UW przez prof. Mariana Grynberga oraz prof. Romana Stępniewskiego Klasyfikacja
Bardziej szczegółowoSprzęganie światłowodu z półprzewodnikowymi źródłami światła (stanowisko nr 5)
Wojciech Niwiński 30.03.2004 Bartosz Lassak Wojciech Zatorski gr.7lab Sprzęganie światłowodu z półprzewodnikowymi źródłami światła (stanowisko nr 5) Zadanie laboratoryjne miało na celu zaobserwowanie różnic
Bardziej szczegółowoEpitaksja z fazy ciekłej (LPE)
Fizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów Epitaksja z fazy ciekłej (LPE) 8 kwiecień 213 Zbigniew R. Żytkiewicz Instytut Fizyki PAN 2-668 Warszawa, Al. Lotników 32/46 tel: 22 843 66 1 ext.
Bardziej szczegółowoFizyka i technologia wzrostu kryształów
Fizyka i technologia wzrostu kryształów Wykład 11. Wzrost kryształów objętościowych z fazy roztopionej (roztopu) Tomasz Słupiński e-mail: Tomasz.Slupinski@fuw.edu.pl Stanisław Krukowski i Michał Leszczyński
Bardziej szczegółowoFizyka i technologia złącza PN. Adam Drózd 25.04.2006r.
Fizyka i technologia złącza P Adam Drózd 25.04.2006r. O czym będę mówił: Półprzewodnik definicja, model wiązań walencyjnych i model pasmowy, samoistny i niesamoistny, domieszki donorowe i akceptorowe,
Bardziej szczegółowozasięg koherencji dla warstw nadprzewodzących długość fali de Broglie a w przypadku warstw dielektrycznych.
Cienkie warstwy Cienka warstwa to dwuwymiarowe ciało stałe o specjalnej konfiguracji umożliwiającej obserwowanie specyficznych efektów nie występujących w materiale litym. Istotnym parametrem charakteryzującym
Bardziej szczegółowohttp://rcin.org.pl Maciej BUGAJSKI, Andrrej JAGODA, Leszek SZYMAŃSKI Insłyłuł Technologii Elektronowej 1. WST^P
Maciej BUGAJSKI, Andrrej JAGODA, Leszek SZYMAŃSKI Insłyłuł Technologii Elektronowej Wyznaczanie wewnętrznej sprawnotel kwantowej pekonnbinacll ppomfenistej w monokpystalicznym GaAs z pomiarów ffotoiuminescencii
Bardziej szczegółowoWPŁYW TRAWIENIA PODŁOŻY 4H-SiC NA EPITAKSJĘ GaN
P. Caban, K. Kościewicz, W. Strupiński,... PL ISSN 0209-0058 MATERIAŁY ELEKTRONICZNE T. 36-2008 NR 4 WPŁYW TRAWIENIA PODŁOŻY 4H-SiC NA EPITAKSJĘ GaN Piotr Caban 1,2, Kinga Kościewicz 1,3, Włodzimierz Strupiński
Bardziej szczegółowoSESJA PLAKATOWA I wtorek 23.06.2009, godz. 17:30 19:30
SESJA PLAKATOWA I wtorek 23.06.2009, godz. 17:30 19:30 Nr plakatu P1 Bartnik P2 ukasz Bober P3 Lech Borowicz P4 Micha³ Byrczek P5 Joanna Cabaj P6 Piotr Caban P7 Piotr Caban P8 Jerzy Ciosek P9 Cezary Czosnek
Bardziej szczegółowoAzotek galu GaN - półprzewodnik XXI w. od kryształów do struktur kwantowych.
Azotek galu GaN - półprzewodnik XXI w. od kryształów do struktur kwantowych. Sylwester Porowski Izabella Grzegory Czesław Skierbiszewski Instytut Wysokich Ciśnień PAN 43 Zjazd Fizyków Polskich Kielce,
Bardziej szczegółowoAparatura do osadzania warstw metodami:
Aparatura do osadzania warstw metodami: Rozpylania mgnetronowego Magnetron sputtering MS Rozpylania z wykorzystaniem działa jonowego Ion Beam Sputtering - IBS Odparowanie wywołane impulsami światła z lasera
Bardziej szczegółowoEkscyton w morzu dziur
Ekscyton w morzu dziur P. Kossacki, P. Płochocka, W. Maślana, A. Golnik, C. Radzewicz and J.A. Gaj Institute of Experimental Physics, Warsaw University S. Tatarenko, J. Cibert Laboratoire de Spectrométrie
Bardziej szczegółowoMonokryształy SI GaAs o orientacji [310] jako materiał na podłoża do osadzania warstw epitaksjalnych
Monokryształy SI GaAs o orientacji [310] jako materiał na podłoża... Monokryształy SI GaAs o orientacji [310] jako materiał na podłoża do osadzania warstw epitaksjalnych Andrzej Hruban, Wacław Orłowski,
Bardziej szczegółowopółprzewodniki Plan na dzisiaj Optyka nanostruktur Struktura krystaliczna Dygresja Sebastian Maćkowski
Plan na dzisiaj Optyka nanostruktur Sebastian Maćkowski Instytut Fizyki Uniwersytet Mikołaja Kopernika Adres poczty elektronicznej: mackowski@fizyka.umk.pl Biuro: 365, telefon: 611-3250 półprzewodniki
Bardziej szczegółowoSpecyfikacja istotnych warunków zamówienia publicznego
INSTYTUT FIZYKI POLSKIEJ AKADEMII NAUK PL - 02-668 WARSZAWA, AL. LOTNIKÓW 32/46 Tel. (48-22) 843 66 01 Fax. (48-22) 843 09 26 REGON: P-000326061, NIP: 525-000-92-75 DZPIE/004/2010 Specyfikacja istotnych
Bardziej szczegółowoPrzewodnictwo elektryczne ciał stałych
Przewodnictwo elektryczne ciał stałych Fizyka II, lato 2011 1 Własności elektryczne ciał stałych Komputery, kalkulatory, telefony komórkowe są elektronicznymi urządzeniami półprzewodnikowymi wykorzystującymi
Bardziej szczegółowoWspółczesna fizyka ciała stałego
Współczesna fizyka ciała stałego Struktury półprzewodnikowe o obniŝonej wymiarowości studnie kwantowe, druty kwantowe, kropki kwantowe fulereny, nanorurki, grafen Kwantowe efekty rozmiarowe Ograniczenie
Bardziej szczegółowoEpitaksja z fazy ciekłej (LPE)
Fizyka, technologia oraz modelowanie wzrostu kryształów Epitaksja z fazy ciekłej (LPE) 23 marzec 21 Zbigniew R. Żytkiewicz Instytut Fizyki PAN 2-668 Warszawa, Al. Lotników 32/46 tel: 22 843 66 1 ext. 3363
Bardziej szczegółowoELEMENTY ELEKTRONICZNE
AKADEMIA GÓRNICZO-HUTNICZA IM. STANISŁAWA STASZICA W KRAKOWIE Wydział Informatyki, Elektroniki i Telekomunikacji Katedra Elektroniki ELEMENTY ELEKTRONICZNE dr inż. Piotr Dziurdzia aw. C-3, okój 413; tel.
Bardziej szczegółowoPodstawy Fizyki IV Optyka z elementami fizyki współczesnej. wykład 3, 20.02.2012. Radosław Chrapkiewicz, Filip Ozimek
Podstawy Fizyki IV Optyka z elementami fizyki współczesnej wykład 3, 20.02.2012 wykład: pokazy: ćwiczenia: Czesław Radzewicz Radosław Chrapkiewicz, Filip Ozimek Ernest Grodner Wykład 2 - przypomnienie
Bardziej szczegółowoStudnia kwantowa. Optyka nanostruktur. Studnia kwantowa. Gęstość stanów. Sebastian Maćkowski
Studnia kwantowa Optyka nanostruktur Sebastian Maćkowski Instytut Fizyki Uniwersytet Mikołaja Kopernika Adres poczty elektronicznej: mackowski@fizyka.umk.pl Biuro: 365, telefon: 611-3250 Studnia kwantowa
Bardziej szczegółowoW stronę plazmonowego wzmocnienia efektów magnetooptycznych
W stronę plazmonowego wzmocnienia efektów magnetooptycznych Joanna Papierska J. Suffczyński, M. Koperski, P. Nowicki, B. Witkowski, M. Godlewski, A. Navarro-Quezada, A. Bonanni Warsztaty NanoWorld 2011,
Bardziej szczegółowo