Specyfikacja istotnych warunków zamówienia publicznego

Transkrypt

1 INSTYTUT FIZYKI POLSKIEJ AKADEMII NAUK PL WARSZAWA, AL. LOTNIKÓW 32/46 Tel. (48-22) Fax. (48-22) REGON: P , NIP: DZPIE/004/2010 Specyfikacja istotnych warunków zamówienia publicznego Przedmiot postępowania: Układ optycznego monitorowania wzrostu MBE. Kod CPV: Tryb udzielenia Postępowanie jest prowadzone w trybie przetargu nieograniczonego zamówienia: zgodnie z Prawem Zamówień Publicznych z dn. 29 stycznia 2004r (Dz. U. Nr 19, poz. 177 z dnia 9 lutego 2004 wraz z późniejszymi Inwestor/Kupujący: zmianami). Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk Warszawa, Al. Lotników 32/46. NIP: Regon: P Zakup przedmiotu zamówienia jest współfinansowane ze środków Europejskiego Funduszu Rozwoju Regionalnego Unii Europejskiej w ramach Programu Operacyjnego Innowacyjna Gospodarka nr UDA-POIG /08-00 pt.: Innowacyjne technologie wielofunkcyjnych materiałów i struktur dla nanoelektroniki, fotoniki, spintroniki i technik sensorowych (InTechFun). 1. Opis przedmiotu zamówienia: Przedmiotem zamówienia jest dostawa i uruchomienie urządzenia do pomiaru promienia wygięcia i temperatury podłoża podczas epitaksji z wiązek molekularnych (molecular beam epitaxy MBE) warstw epitaksjalnych azotków metali grupy III. Wzrost struktur prowadzony będzie metodą epitaksji z wiązek molekularnych z użyciem plazmy azotowej (Plasma Assisted Molecular Beam Epitaxy - PAMBE) w warunkach bogatych w metal. Dzięki precyzyjnej kontroli parametrów wzrostu, a zwłaszcza temperatury, możliwe będzie utrzymywanie na powierzchni próbki 1-2 monowarstw metalu podczas wzrostu, co zapewni stabilne warunki krystalizacji. Jako podłoża wykorzystywane będą płytki Si, struktury GaN/szafir i objętościowe podłoża GaN. W ostatnich dwóch przypadkach przed procesem wzrostu tylna powierzchni podłoży pokrywana jest warstwą metalu (Mo, Ti). Analiza in situ krzywizny podłoża pozwoli kontrolować naprężenia w strukturach epitaksjalnych w trakcie ich wzrostu. Wymagania techniczne: Wymaga się żeby oferowane urządzenie było fabrycznie nowe. Urządzenia brane pod uwagę w tym postępowaniu przetargowym powinny zawierać najnowsze, ale sprawdzone w praktyce

2 rozwiązania technologiczne. Urządzenie powinno się charakteryzować następującymi parametrami technicznymi i warunkami ogólnymi: 1) Urządzenie powinno umożliwić pomiar temperatury warstwy GaN lub podłoża Si w zakresie nie mniejszym niż C z dokładnością przynajmniej ± 2 C. Wymagana rozdzielczość odczytu temperatury ma być nie mniejsza niż ± 2 C. 2) Pomiar temperatury i krzywizny próbki ma być bezkontaktowy i nie wpływać na warunki wzrostu. 3) Wyznaczanie temperatury próbki ma być realizowane poprzez a) pomiar przerwy energetycznej azotku galu, z uwzględnieniem czynników, które (obok temperatury) wpływają na jej wielkość tj. poziom domieszkowania, przygotowania powierzchni, etc. lub b) metodą pirometrii optycznej z uwzględnieniem, tzn. z automatyczną korekcją, ewentualnych zmian emisyjności powierzchni warstwy w trakcie wzrostu epitaksjalnego. 4) Warstwa metalu, która osadza się na okienkach podczas kolejnych procesów technologicznych może zaburzać odczyt temperatury. Urządzenie powinno umożliwiać korekcję zmieniającej się transmisji okienek i innych potencjalnych źródeł błędów odczytu temperatury np. promieniowania z komórek efuzyjnych. 5) Urządzenie musi umożliwiać pomiar szybkości wzrostu in-situ. 6) Urządzenie musi zawierać układ do pomiaru stopnia szorstkości hodowanej warstwy przy pomocy analizy światła odbitego o długości fali nie większej niż 650 nm. 7) W trakcie wzrostu próbka porusza się i obraca. Czasami obrót ten prowadzi do kiwania się normalnej do powierzchni próbki. Szkodliwy wpływ tego efektu na pomiar musi być zminimalizowany. W szczególności, pomiar krzywizny i temperatury musi być dokładnie zsynchronizowany z obrotami próbki. 8) Oferowane urządzenie powinno zawierać komputer sterujący desktop. Niezbędny hardware oraz software powinny zostać na nim zainstalowane, przetestowane i skalibrowane. Wymagana jest podstawowa baza danych z plikami kalibracyjnymi oraz możliwość dodawania takich plików przez użytkownika. 9) Urządzenie powinno posiadać wyjścia do sterowania procesami technologicznymi np. dawać możliwość sprzężenia zwrotnego z kontrolerem temperatury grzejnika podłoża. 10) Dostawa powinna obejmować dodatkowy klucz elektroniczny umożliwiający analizę danych pomiarowych na oddzielnym komputerze biurowym. 11) Wymaga się dostarczenia podstawowego zestawu płytek do kalibracji pomiaru temperatury i krzywizny powierzchni. 12) Instalacja urządzenia musi być możliwa na maszynie MBE Riber Compact 21 przy wykorzystaniu centralnego portu CF100. Port ten wyposażony jest w układ peryskopowy ze zwierciadłem w postaci płytki Si ustawionej pod kątem 45 stopni do linii poziomej. Układ peryskopu zamknięty jest flanszą CF100 z oknem szklanym (Kodial). Odległość próbki od zwierciadła wynosi ~61 cm, zaś od zwierciadła do okna szklanego ~16 cm 13) Przy geometrii układu jak powyżej wymagany zakres pomiaru krzywizny próbki co najmniej od -400 km -1 do km -1 z rozdzielczością lepszą niż ±3 km ) Gwarancja minimum 12 miesięcy (W przypadku wystąpienia awarii w okresie gwarancyjnym czas obowiązywania gwarancji będzie przedłużany o okres upływający pomiędzy zgłoszeniem awarii a jej całkowitym usunięciem).

3 2. Termin wykonania zamówienia: Wymaga się, aby ostateczne uruchomienie układu nastąpiło nie później niż w ciągu 14 tygodni od podpisania umowy. Zaleca się możliwość wcześniejszej dostawy dokumentacji technicznej i oprogramowania celem jego testowania i treningu użytkownika. 3. Warunki udziału w postępowaniu oraz opis sposobu dokonywania oceny spełniania tych warunków: 1 O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy spełniają warunki z Art. 22 ust. 1 Ustawy PZP, dotyczące: 1) posiadania uprawnień do wykonywania określonej działalności lub czynności, jeżeli przepisy prawa nakładają obowiązek ich posiadania; 2) posiadania wiedzy i doświadczenia; 3) dysponowania odpowiednim potencjałem technicznym oraz osobami zdolnymi do wykonania zamówienia; 4) sytuacji ekonomicznej i finansowej, i nie podlegają wykluczeniu z postępowania z trybie Art. 24 ust Zamawiający zweryfikuje ofertę pod względem obecności oświadczenia o spełnianiu warunków udziału w postępowaniu oraz oświadczenia o braku podstaw do wykluczenia z postępowania. 4. Wykaz oświadczeń i dokumentów, jakie maja dostarczyć wykonawcy w celu potwierdzenia spełniania tych warunków: 1 Oświadczenie o spełnianiu warunków udziału w postępowaniu zgodnie z Art. 22 ust. 1 Ustawy PZP. 2 Oświadczenie o braku podstaw do wykluczenia z postępowania zgodnie z Art. 24 ust. 1 i 2 Ustawy PZP. 5. Informacje o sposobie porozumiewania się zamawiającego z wykonawcami, a także wskazanie osób uprawnionych do porozumiewania się z wykonawcami: 1 Zamawiający będzie kontaktował się z wykonawcami drogą faksu lub na piśmie. 2 Osoby przewidziane do kontaktu z wykonawcami: Maciej Zajączkowski tel/fax: (22) Termin związania ofertą: 1 Zamawiający ustala termin związania ofertą na okres 30 dni od daty terminu składania ofert.

4 7. Opis sposobu przygotowania oferty: 1 Ofertę sporządza się w języku polskim lub angielskim z zachowaniem formy pisemnej, trwałą, czytelną techniką. 2 Oferta powinna zawierać: 1) zwięzły opis techniczny urządzenia wykazujący zgodność oferty z wymaganiami technicznymi przedstawionymi w SIWZ; 2) termin dostawy; 3) warunki gwarancji. 4 Każdy wykonawca może złożyć tylko jedną ofertę. Wykonawca, który przedłożył więcej niż jedną ofertę, zostanie wyłączony z postępowania. 5 Nie dopuszcza się składania ofert częściowych i wariantowych. 6 Wszystkie zapisane strony oferty powinny być ponumerowane, podpisane i zszyte (zbindowane). 7 Oferent powinien zamieścić ofertę w kopercie z adresem i nazwą Zamawiającego oraz Oferenta, a także napisem: "Postępowanie o udzielenie zamówienia publicznego w trybie przetargu nieograniczonego na układ optycznego monitorowania wzrostu MBE [DZPIE/004/2010]" 8. Miejsce oraz termin składania i otwarcia ofert: 1 Ofertę należy złożyć w siedzibie Zamawiającego, budynek I pok. Nr. 101 (kancelaria ogólna) w godzinach w dni robocze, do dnia 8 lutego 2010 r. do godz W przypadku wysłania oferty pocztą (lub pocztą kurierską) za termin złożenia przyjmuje się termin otrzymania oferty, a nie datę stempla pocztowego (nadania). 3 Otwarcie ofert odbędzie się w ostatnim dniu ich składania, w siedzibie Zamawiającego, budynek I sala 203 o godzinie 14: Opis sposobu obliczenia ceny: 1 Cena wyrażona w walucie polskiej PLN, unii europejskiej EUR lub w dolarach amerykańskich USD. 2 Dla oceny ofert waluty będą przeliczone na PLN wg kursu średniego NBP z dnia otwarcia ofert. 3 Cena powinna uwzględniać: cenę sprzętu na warunkach DDU Warszawa; pakowanie, dostawę, montaż i szkolenie. 10. Opis kryteriów, którymi zamawiający będzie się kierował przy wyborze oferty w celu zawarcia umowy w sprawie zamówienia publicznego: 1 Cena 100 pkt. 2 Przy przeliczaniu punktów zamawiający posłuży się wzorem:

5 gdzie: C min cena najtańszej oferty; C bad cena oferty badanej 11. Informacje o formalnościach, jakie powinny zostać dopełnione po wyborze oferty w celu zawarcia umowy w sprawie zamówienia publicznego: 1 Wykonawca, który wygra postępowania o udzielenie zamówienia publicznego, powinien podpisać umowę w ciągu 7 dni od daty zakończenie terminu na wnoszenie protestów i odwołań, na warunkach określonych w niniejszej specyfikacji istotnych warunków zamówienia, jednak nie później niż termin związania ofertą. 12. Istotne dla stron postanowienia, które zostaną wprowadzone do treści zawieranej umowy w sprawie zamówienia publicznego: 1 Warunki płatności: 1) 80% w terminie do 30 dni od daty dostawy do IF PAN 2) 20% w terminie do 30 dni od daty instalacji w IF PAN Dopuszcza się wcześniejszą opłatę za dokumentację techniczną i oprogramowanie (nie więcej niż 40% wartości kontraktu) jeśli dostarczone będą osobno. 2 Wykonawca, którego oferta zostanie wybrana w przetargu, wraz z dostawą powinien dostarczyć: 1) Pisemną gwarancję na wszelkie urządzenia wchodzące w skład dostawy. 2) Kompletną dokumentację techniczną urządzenia (2 komplety na papierze i jeden komplet w wersji elektronicznej format PDF). Zamawiający wymaga przed podpisaniem protokołu odbioru końcowego przeprowadzenia szczegółowego przeszkolenia co najmniej czterech pracowników Zamawiającego 3 W przypadku wystąpienia zwłoki w wykonaniu przedmiotu umowy, Wykonawca zobowiązuje się zapłacić na rzecz Zamawiającego kary umowne w wysokości 0,1% wartość umowy za każdy dzień zwłoki, począwszy od pierwszego dnia następującego po umownym terminie wykonania. Suma kar nie może przekroczyć 10% wartości umowy. 4 Zamawiający ma prawo przedłużyć termin instalacji jeśli w terminie podanym w 2 układ MBE będzie niedostępny z powodów technologicznych. 5 W przypadku wystąpienia awarii w okresie gwarancyjnym czas obowiązywania gwarancji będzie przedłużany o okres upływający pomiędzy zgłoszeniem awarii a jej całkowitym usunięciem. 13. Pouczenie o środkach ochrony prawnej: Środki ochrony prawnej, przysługujące wszystkim wykonawcom, opisane są w Dziale VI Prawa Zamówień Publicznych z dn. 29 stycznia 2004r (Dz. U. Nr 19, poz. 177 z dnia 9 lutego 2004 wraz z późniejszymi zmianami).

6 pieczęć adresowa Oferenta data Oświadczenie Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego oświadczam/y, że spełniam/y warunki udziału w niniejszym postępowaniu zawarte w art. 22 ust. 1 Ustawy - Prawo Zamówień Publicznych, który stanowi, że: O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy spełniają warunki, dotyczące: 1) posiadania uprawnień do wykonywania określonej działalności lub czynności, jeżeli przepisy prawa nakładają obowiązek ich posiadania; 2) posiadania wiedzy i doświadczenia; 3) dysponowania odpowiednim potencjałem technicznym oraz osobami zdolnymi do wykonania zamówienia; 4) sytuacji ekonomicznej i finansowej.. pieczęć imienna Oferenta

7 pieczęć adresowa Oferenta data Oświadczenie 1) Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego oświadczam/y, że nie podlegam/y wykluczeniu zgodnie z Art. 24 ust. 1 Ustawy - Prawo Zamówień Publicznych. Pieczęć imienna i podpis Oferenta

8 pieczęć adresowa Oferenta data Wykaz części zamówienia, które Wykonawca powierzy podwykonawcom 1. Lp Zakres zamówienia, który Wykonawca zamierza powierzyć podwykonawcom Pieczęć imienna i podpis Oferenta 1 w przypadku, gdy Wykonawca wykona zamówienia samodzielnie, należy wypełnić tabelkę kreskami. W przypadku nie załączenia wykazu do oferty, Zamawiający zinterpretuje to jako brak części zamówienia, które Wykonawca powierzy podwykonawcom.