Obrazowanie struktur z wykorzystaniem efektów fotoakustycznych. B. Augustyniak

Podobne dokumenty
WYKORZYSTANIE FAL TERMICZNYCH DO BADANIA WARSTW SUPERTWARDYCH

(12) OPIS PATENTOWY (19) PL

WYBRANE TECHNIKI SPEKTROSKOPII LASEROWEJ ROZDZIELCZEJ W CZASIE prof. Halina Abramczyk Laboratory of Laser Molecular Spectroscopy

Optyka. Optyka falowa (fizyczna) Optyka geometryczna Optyka nieliniowa Koherencja światła

Optyka. Optyka geometryczna Optyka falowa (fizyczna) Interferencja i dyfrakcja Koherencja światła Optyka nieliniowa

POLITECHNIKA KOSZALIŃSKA. Zbigniew Suszyński. Termografia aktywna. modele, przetwarzanie sygnałów i obrazów

Wykorzystanie programu COMSOL do analizy zmiennych pól p l temperatury. Tomasz Bujok promotor: dr hab. Jerzy Bodzenta, prof. Politechniki Śląskiej

Spektroskopia ramanowska w badaniach powierzchni

Charakteryzacja właściwości elektronowych i optycznych struktur AlGaN GaN Dagmara Pundyk

WARSZAWA LIX Zeszyt 257

Oscylator wprowadza lokalne odkształcenie s ośrodka propagujące się zgodnie z równaniem. S 0 amplituda odkształcenia. f [Hz] - częstotliwość.

Analiza wpływu domieszkowania na właściwości cieplne wybranych monokryształów wykorzystywanych w optyce

PL B1. POLITECHNIKA WROCŁAWSKA, Wrocław, PL BUP 02/08. PIOTR KURZYNOWSKI, Wrocław, PL JAN MASAJADA, Nadolice Wielkie, PL

Analiza właściwości dynamicznych detektorów propagacji fali temperaturowej w przepływie powietrza i mieszaniny powietrze dwutlenek węgla

Zastosowanie ultradźwięków w technikach multimedialnych

Przewaga klasycznego spektrometru Ramana czyli siatkowego, dyspersyjnego nad przystawką ramanowską FT-Raman

Badanie ultradźwiękowe grubości elementów metalowych defektoskopem ultradźwiękowym

Niezwykłe światło. ultrakrótkie impulsy laserowe. Piotr Fita

UMO-2011/01/B/ST7/06234

Oscylator wprowadza lokalne odkształcenie s ośrodka propagujące się zgodnie z równaniem. S 0 amplituda odkształcenia. f [Hz] -częstotliwość.

PL B1. Sposób badania przyczepności materiałów do podłoża i układ do badania przyczepności materiałów do podłoża

SKANUJĄCY LASEROWY MIKROSKOP KONFOKALNY

Źródła światła: Lampy (termiczne) na ogół wymagają filtrów. Wojciech Gawlik, Metody Optyczne w Medycynie 2010/11 - wykł. 3 1/18

Katedra Fizyki Ciała Stałego Uniwersytetu Łódzkiego. Ćwiczenie 1 Badanie efektu Faraday a w monokryształach o strukturze granatu

Lasery. Własności światła laserowego Zasada działania Rodzaje laserów

Optyka kwantowa wprowadzenie. Początki modelu fotonowego Detekcja pojedynczych fotonów Podstawowe zagadnienia optyki kwantowej

LASERY I ICH ZASTOSOWANIE

Podstawy Fizyki IV Optyka z elementami fizyki współczesnej. wykład 2, Radosław Chrapkiewicz, Filip Ozimek

Ponadto, jeśli fala charakteryzuje się sferycznym czołem falowym, powyższy wzór można zapisać w następujący sposób:

spis urządzeń użytych dnia moduł O-01

LABORATORIUM POMIARY W AKUSTYCE. ĆWICZENIE NR 4 Pomiar współczynników pochłaniania i odbicia dźwięku oraz impedancji akustycznej metodą fali stojącej

Poprawa charakterystyk promieniowania diod laserowych dużej mocy poprzez zastosowanie struktur periodycznych w płaszczyźnie złącza

Wstęp do Optyki i Fizyki Materii Skondensowanej

Wprowadzenie do optyki nieliniowej

Mikroskopia fluorescencyjna

dr inż. Ł. B. CHROBAK Katedra Elektroniki WEiI Politechnika Koszalińska 1/47

Zjawisko interferencji fal

falowego widoczne w zmianach amplitudy i natęŝenia fal) w którym zachodzi

Polaryzatory/analizatory

2011 InfraTec. Aktywna termografia w badaniach nieniszczących przy użyciu oprogramowania IRBIS 3 active

Metody Optyczne w Technice. Wykład 5 Interferometria laserowa

Widmo promieniowania

Czujniki światłowodowe

Interferometr Michelsona zasada i zastosowanie

(62) Numer zgłoszenia, z którego nastąpiło wydzielenie:

Zjawisko interferencji fal

w diagnostyce medycznej III

Termowizja. Termografia. Termografia

BADANIE INTERFERENCJI MIKROFAL PRZY UŻYCIU INTERFEROMETRU MICHELSONA

Spektrometry Ramana JASCO serii NRS-5000/7000

DWUPASMOWY DZIELNIK WIĄZKI PROMIENIOWANIA OPTYCZNEGO

Dr inż. Wiesław Madej Katedra Systemów Cyfrowego Przetwarzania Sygnałów Wydział Elektroniki i Informatyki Politechniki.

Pracownia Optyki Nieliniowej

METODY BADAŃ BIOMATERIAŁÓW

Fizyka klasyczna. - Mechanika klasyczna prawa Newtona - Elektrodynamika prawa Maxwella - Fizyka statystyczna -Hydrtodynamika -Astronomia

GŁÓWNE CECHY ŚWIATŁA LASEROWEGO

Podstawy Fizyki IV Optyka z elementami fizyki współczesnej. wykład 2, Mateusz Winkowski, Jan Szczepanek

Zjawisko interferencji fal

MICRON3D skaner do zastosowań specjalnych. MICRON3D scanner for special applications

Statyka Cieczy i Gazów. Temat : Podstawy teorii kinetyczno-molekularnej budowy ciał

Solitony i zjawiska nieliniowe we włóknach optycznych

Politechnika Warszawska Instytut Techniki Cieplnej, MEiL, ZSL

Laboratorium techniki laserowej. Ćwiczenie 5. Modulator PLZT

Metoda osłabionego całkowitego wewnętrznego odbicia ATR (Attenuated Total Reflection)

1.2.MOŻLIWOŚCI BADAŃ STANU MASZYN A DIAGNOSTYKA WA

Temperatura i ciepło

Badania elementów i zespołów maszyn laboratorium (MMM4035L)

Zakres akredytacji Laboratorium Badawczego Nr AB 120 wydany przez Polskie Centrum Akredytacji Wydanie nr 12 z 7 lipca 2015r.

Efekt Faradaya. Materiały przeznaczone dla studentów Inżynierii Materiałowej w Instytucie Fizyki Uniwersytetu Jagiellońskiego

Ćwiczenie 363. Polaryzacja światła sprawdzanie prawa Malusa. Początkowa wartość kąta 0..

Aparatura do osadzania warstw metodami:

Mikroskopia konfokalna: techniki obrazowania i komputerowa analiza danych.

Ultradźwięki i ich zastosowania wykład ZAGADNIENIA

Laboratorium techniki laserowej. Ćwiczenie 1. Modulator akustooptyczny

1 k. AFM: tryb bezkontaktowy

Autokoherentny pomiar widma laserów półprzewodnikowych. autorzy: Łukasz Długosz Jacek Konieczny

UMO-2011/01/B/ST7/06234

Dyspersja światłowodów Kompensacja i pomiary

Sonochemia. Dźwięk. Fale dźwiękowe należą do fal mechanicznych, sprężystych. Fale poprzeczne i podłużne. Ciało stałe (sprężystość postaci)

Falowa natura światła

Przykładowe poziomy natężenia dźwięków występujących w środowisku człowieka: 0 db - próg słyszalności 10 db - szept 35 db - cicha muzyka 45 db -

UMO-2011/01/B/ST7/06234

I. Wstęp teoretyczny. Ćwiczenie: Mikroskopia sił atomowych (AFM) Prowadzący: Michał Sarna 1.

Laboratorium TECHNIKI LASEROWEJ. Ćwiczenie 1. Modulator akustooptyczny

Rozwiązania firmy Harrer & Kassen do pomiaru gęstości i wilgotności

Fala EM w izotropowym ośrodku absorbującym

Podstawy Fizyki IV Optyka z elementami fizyki współczesnej. wykład 22, Radosław Chrapkiewicz, Filip Ozimek

XX Seminarium NIENISZCZĄCE BADANIA MATERIAŁÓW Zakopane marca 2014 WYKORZYSTANIE WIBROMETRU SKANUJĄCEGO DO BEZKONTAKTOWYCH BADAŃ DRGAŃ

Podstawy Akustyki. Drgania normalne a fale stojące Składanie fal harmonicznych: Fale akustyczne w powietrzu Efekt Dopplera.

OTRZYMYWANIE KRÓTKICH IMPULSÓW LASEROWYCH

interferencja, dyspersja, dyfrakcja, okna transmisyjne Interferencja

Detektor śladowych ilości oleju ODL-1600

Właściwości optyczne kryształów

Spektroskopia charakterystycznych strat energii elektronów EELS (Electron Energy-Loss Spectroscopy)

PL B1. Aberracyjny czujnik optyczny odległości w procesach technologicznych oraz sposób pomiaru odległości w procesach technologicznych

Technika nagłaśniania

Optyka kwantowa wprowadzenie

PROMIENIOWANIE WIDZIALNE ŁUKU SPAWALNICZEGO METODY TIG

Wstęp do Optyki i Fizyki Materii Skondensowanej

Stanowisko do pomiaru fotoprzewodnictwa

Transkrypt:

Obrazowanie struktur z wykorzystaniem efektów fotoakustycznych B. Augustyniak

Zasada działania metody Wykorzystanie efektu fal termicznych generowanych w materiale po dostarczeniu energii cieplnej w sposób modulowany

Zależności : pobudzenie- odpowiedź Pochłanianie modulowanego strumienia energii Generacja pola temperatury w próbce Zmiana właściwości próbki Zmiana właściwości otoczenia próbki Schemat ogólny zależności między pobudzeniem a odpowiedzią dla badanej próbki w metodzie fotoakustycznej Detekcja sygnału

Historia fotoakustyki fotophone Bell a A. G. Bell discovered in 1880 that if a focused beam of light was rapidly interrupted and allow to fall on a selenium block, an audible signal could be picked up through a hearing tube. Alexander Graham Bell http://cdl.library.cornell.edu/cgi-bin/moa/moa-cgi?notisid=abs1821-0013-416 http://www.americaslibrary.gov/cgi-bin/page.cgi/jb/gilded/bell_1

Doświadczenia Bell a

Historia - cd Pierwsze obserwacje w ciałach stałych 1880 Bell Rozwój coraz czulszych mikrofonów 1973 spektroskopia fotoakustyczna (PAS) 1980? - obrazowanie struktur (mikroskopia fotakustyczna)

Zasada działania mikroskopu fotoakustyczneg o 1- próbka jest oświetlana w płaszczyźnie x-y promieniem lasera 2 badane są synchronicznie sygnały uzyskiwane z detektora wybranej wielkości fizycznej w sposób: a) kontaktowy np.mikrofon i komora fotoakustyczna lub bezpośrednio - piezoceramika albo warstwa termoczuła b) bezkontaktowy (odchylenie wiązki światła)

Metoda z komorą fotoakustyczną Nagrzana próbka ogrzewa otaczający ośrodek (gaz). Zmiana ciśnienia gazu jest rejestrowana przez mikrofon zamocowany do ścianki komory

Detekcja piezoelektryczna Fale termiczne. Podstawy teoretyczne i możliwości zastosowań praktycznych, Z. Kleszczewski, J. Bodzenta, B. Pustelny; Podstawy Fizyczne badań Nieniszczących, Gliwice 95, Politechnika Śląska

Detekcja za pomocą sondującej wiązki światła Fale termiczne. Podstawy teoretyczne i możliwości zastosowań praktycznych, Z. Kleszczewski, J. Bodzenta, B. Pustelny; Podstawy Fizyczne badań Nieniszczących, Gliwice 95, Politechnika Śląska

Detekcja za pomocą wiązki światła - 2 Imaging with optically generated thermal waves G. Busse; IEEE Trans. on Sonics and Ultrasonics, SU-32, no. 2, 1985

UWAGA: Komora fotoakustyczna wykorzystana jest do badań właściwości materiałów jednorodnych (gazy, ciecze, proszki, smary, żele)

Komora fotoakustyczna : badanie gazów i cieczy Bada się szybkość dyfuzji w funkcji np.. długości fali padającej na próbkę czy częstości modulacji natężenia tej fali

Źródła optyczne dla metod fotakustycznych Lampy wolframowe (żarnikowe) Wysoko ciśnieniowe lampy Xenonowe Lampy kwarcowe Żarniki Nearnst a (bliska i średnia podczerwień) Lasery

Długości fal źródeł laserowych Laser Type Argon fluoride (Excimer-UV) Krypton chloride (Excimer-UV) Krypton fluoride (Excimer-UV) Xenon chloride (Excimer-UV) Xenon fluoride (Excimer-UV) Helium cadmium (UV) Nitrogen (UV) Helium cadmium (violet) Krypton (blue) Argon (blue) Copper vapor (green) Argon (green) Krypton (green) Frequency doubled Nd YAG (green) Helium neon (green) Krypton (yellow) Copper vapor (yellow) Wavelength (μm) 0.193 0.222 0.248 0.308 0.351 0.325 0.337 0.441 0.476 0.488 0.510 0.514 0.528 0.532 0.543 0.568 0.570 Helium neon (yellow) Helium neon (orange) Gold vapor (red) Helium neon (red) Krypton (red) Rohodamine 6G dye (tunable) Ruby (CrAlO 3 ) (red) Gallium arsenide (diode-nir) Nd:YAG (NIR) Helium neon (NIR) Erbium (NIR) Helium neon (NIR) Hydrogen fluoride (NIR) Carbon dioxide (FIR) Carbon dioxide (FIR) Key: 0.594 0.610 0.627 0.633 0.647 0.570-0.650 0.694 0.840 1.064 1.15 1.504 3.39 2.70 9.6 10.6 UV = ultraviolet (0.200-0.400 µm) VIS = visible (0.400-0.700 µm) NIR = near infrared (0.700-1.400 µm)

ABC procesu propagacji fali cieplnej -1 Założenia: -światło jest absorbowane na powierzchni -oświetlenie jest równomierne o pulsacji ω Temperatura T na głębokości z w chwili t: T ( z, t) T (t) [ o C ] 2 1 0-1 -2 z/μ = 2 0 100 200 300 400 500 t [ ms ] z / μ i( ωt + z / μ ) = Ts + ΔT e e Efekt: przesuniecie fazowe oraz obniżenie temperatury z głębokością T(z = 0) T (z) UWAGA: parametr μ (droga dyfuzji termicznej) jest funkcją częstości zmian natężenia padającej fali światła μ = 2β ω

Właściwości fali termicznej : - fale termicznie są silnie tłumione - głębokość wnikania zmniejsza się ze wzrostem pulsacji natężenia oświetlenia - można obrazować powierzchnie oraz obszary podpowierzchniowe

Przykłady działania mikroskopii fotoakustycznej ciał stałych - wyniki z lat 1980 tych - wyniki badań współczesnych - obrazowanie tkanek

Pierwsze wyniki badań nad obrazowaniem struktur

Detekcja za pomocą mikrofonu i komory akustycznej Układ pomiarowy Laser 5 W, CO 2 Występ o wysokości kilku μm w aluminium G. Busse, A. Ograbek;. Appl. Phys. Vol. 51, (1980)

Detekcja za pomocą mikrofonu i komory akustycznej G. Busse, A. Ograbek;. Appl. Phys. Vol. 51, (1980) Pęknięcie w ceramicznym Y. G. Wong at all ; Appl. Phys. Lett. Vol 32, (1978)

Detekcja za pomocą przetwornika piezoelektrycznego Owady sztuczne w aluminiowym wałku Dwie częstości modulacji fali świetlnej. Lepsze obrazy daje sygnał przesunięcia fazowego G.Busse at all ; Appl. Phys. Lett. Vol 36, (1980)

Detekcja za pomocą przetwornika pyroelektrycznego Czujnik- aluminizowana folia (polyvinyloden) PVF 2 ) połączona z próbką za pomocą żelu. A.C. Boccara at all ; Appl. Phys. Lett. Vol 36, (1980)

Detekcja bez kontaktu detekcyjna wiązka światła jest równoległa do powierzchni (1) Płytka metalowa Wiązka detekcyjna przechodzi centralnie przez wiązkę padająca J.C. Murphy at all ; Appl. Phys. Lett. Vol 38, (1981)

Detekcja bez kontaktu detekcyjna wiązka światła jest równoległa do powierzchni (2) Warstwa nałożona na stalowe podłoże Najlepszy obraz dla sygnału fazy ; dodatkowe struktury (pionowe linie) są związane ze strukturą warstwy diamento-pochodnej oraz strukturą podłoża Z. Kleszczewski, J. Bodzenta, B. Pustelny; Podstawy Fizyczne badań Nieniszczących, Gliwice 95, Politechnika Śląska

Wyniki badania współczesnego mikroskopu fotakustycznego (lata 2000)

Wyniki badania układów warstwowych (tranzystory) Application of photoacoustic method and evolutionary algoritm for determination of therml properties of layered structure R. Asoba, Z. Suszyński; J. Phys. IV, vol. 117 (2004)

Wyniki badania (tranzystory) 2 Application of photoacoustic method and evolutionary algoritm for determination of therml properties of layered structure R. Asoba, Z. Suszyński; J. Phys. IV, vol. 117 (2004)

Wyniki badania (tranzystory) 3 Application of photoacoustic method and evolutionary algoritm for determination of therml properties of layered structure R. Asoba, Z. Suszyński; J. Phys. IV, vol. 117 (2004)

Delaminacja - modelowanie Analiza zmiany amplitudy sygnału FA od częstości modulacji. 1D szeregowe połączenie 2D uwzględnia się efekty brzegowe Limitation of 1D thermal model in comprison with 2D model of light thyristor structure in thermal wave microscopy; Z. Suszyński, R. Duer, R. Arsoba; J. Phys. IV, vol. 117 (2004)

Mikroskop fotoakustyczny analiza po głębokości In depth Analysis and Characterisation by Photoacoustic Imagery, 15 WCNDE, Roma 2000 a crack on an integrated circuit for different frequencies > wyznaczone obrazy dla różnych głębokości

Badania materiałów biologicznych tomografia fotoakustyczna Badanie in vivo mózgu szczura Nature Biotechnology, vol. 21, 7 (2003)

tomografia fotoakustyczna - 2

Badania tkanki za pomocą efektu fotoakustycznego Wykrywanie stanów rakowych

Badanie tkanki metoda powierzchniowa kontaktu http://www.medphys.ucl.ac.uk/research/mle/pdf_fil es/bios200manuscript2.pdf

Obraz z interferometru dla sondy powierzchniowej http://www.medphys.ucl.ac.uk/research/mle/pdf_files/bios200manuscript2.pdf

Podsumowanie Zalety: - bezinwazyjna? - ujawnia właściwości termosprężyste materiału Wady: - stosunkowo mała głębokość obrazowania (rzędu mm) - czasochłonne skanowanie ze względu na mała szybkość propagacji fal termicznych