Politechnika Wrocławska Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Politechnika Wrocławska Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Autoreferat rozprawy doktorskiej Miniaturowa pompa MEMS do wytwarzania próżni w mikro- i nanosystemach AUTOR: Tomasz Grzebyk PROMOTOR: Dr hab. inż. Anna Górecka-Drzazga, prof. PWr Wrocław 2014

1. Wstęp i teza pracy Miniaturyzacja urządzeń mechanicznych i elektronicznych jest stałą tendencją obserwowaną na przestrzeni ostatnich dziesięcioleci. W wyniku tego procesu powstała grupa małych zintegrowanych urządzeń mechano-elektrycznych, które określa się mianem mikro- i nanosystemów (MEMS, NEMS). Projektowanie, wytwarzanie i wykorzystanie mikrosystemów nosi wspólną nazwę techniki mikrosystemów. Ponieważ wiele mikro- i nanosystemów pracuje w środowisku próżniowym, istotnym dla techniki mikrosystemów problemem jest utrzymywanie i/lub wytwarzanie próżni w małej objętości. Próżnia poprawia parametry pracy tych urządzeń, zwiększa ich niezawodność oraz przedłuża czas poprawnego działania. W ciągu ostatnich 20 lat prowadzono liczne badania nad rozwojem technik uszczelniania próżniowego oraz techniką geterów, które są wykorzystywane do poprawy i stabilizacji próżni w mikrosystemach. Szereg ograniczeń natury fizycznej oraz technologicznej powoduje jednak, że stosując dotychczasowe techniki, nie udaje się uzyskać wewnątrz mikrosystemu stabilnej próżni wyższej niż 10 3 hpa. Fakt ten decyduje zarówno o parametrach obecnie wytwarzanych mikrosystemów próżniowych jak i uniemożliwia miniaturyzację urządzeń, które wymagają do prawidłowej pracy wysokiej lub ultra wysokiej próżni, np.: laserów na swobodnych elektronach, spektrometrów mas, rentgenowskich lub terahercowych tomografów. Podstawowym zagadnieniem naukowym podjętym w niniejszej pracy była odpowiedź na pytanie, czy możliwe jest otrzymanie stabilnej i wysokiej próżni (p < 10 3 hpa) wewnątrz szczelnej komory mikrosystemu wytworzonego w technologii MEMS. Tezę pracy stanowi twierdzenie, że wysoką i stabilną próżnię można wytworzyć za pomocą miniaturowej pompy próżniowej, która jest kompatybilna materiałowo i technologicznie z typowymi krzemowo-szklanymi mikroi nanosystemami. Głównym celem pracy było opracowanie i wykonanie mikropompy MEMS umożliwiającej wytworzenie i podtrzymanie próżni znacznie wyższej niż 10 3 hpa wewnątrz mikrosystemów próżniowych o objętości mniejszej niż 1 cm 3. Pośrednimi celami pracy było przeprowadzenie analizy wykonalności takiej pompy, dobór odpowiednich środków technicznych służących jej realizacji, opracowanie konstrukcji i technologii oraz przeprowadzenie testów weryfikujących słuszność postawionej tezy. 2. Mikro- i nanosystemy próżniowe Część miniaturowych urządzeń, aby mogła poprawnie działać i cechować się dobrymi parametrami musi pracować w próżni. Dla niektórych mikrosystemów typu MEMS/MEOMS wystarczająca jest niska próżnia (przyspieszeniomierze, przełączniki optyczne, mikrolusterka), innym należy zapewnić próżnię średnią lub wysoką (czujniki promieniowania podczerwonego, filtry i generatory wysokoczęstotliwościowe,

żyroskopy) (tab. 1) [1, 2]. Spośród obecnie rozwijanych nanosystemów najbardziej znane to urządzenia nanoelektroniki próżniowej, których działanie bazuje na miniaturowych polowych źródłach elektronów. Do poprawnej pracy wymagają one wysokiej lub ultra wysokiej próżni (spektrometry mas, źródła terahercowe, lampy rentgenowskie). Tabela 1. Zestawienie warunków próżniowych wymaganych w mikrosystemach typu MEMS i urządzeniach nanoelektroniki próżniowej; według [1, 2] Obecność gazów resztkowych wpływa na tłumienie ruchu struktur drgających, zwiększa odprowadzanie ciepła z czujników promieniowania podczerwonego, a także powoduje degradację polowych źródeł elektronów i zaburzenie emitowanej wiązki w urządzeniach nanoelektroniki próżniowej. Stąd też tak ważnym problemem technicznym jest zapewnienie im odpowiednich warunków próżniowych. 3. Metody wytwarzania próżni w mikrosystemach Wytwarzanie próżni w mikro- i nanosystemach jest krytycznym etapem ich produkcji. Obecnie w tym celu najczęściej stosuje się metody uszczelniania próżniowego. Wykorzystuje się przy tym zewnętrzne obudowy mówi się wówczas o uszczelnianiu na poziomie obudowy albo obudowy zintegrowane z mikrourządzeniem, dla których uszczelnianie odbywa się na poziomie podłoża. W pierwszym podejściu mikro/nanosystem i jego obudowa wykonywane są niezależnie, z wykorzystaniem różnych technologii: mikroinżynieryjnych w wypadku mikrosystemu i klasycznych w wypadku obudowy. Łączy się je dopiero na ostatnim etapie produkcji. Takie rozwiązanie jest kłopotliwe technologicznie, podnosi koszty oraz zwiększa rozmiary gotowego urządzenia, mimo to wciąż jest to podstawowa technika montażu próżniowych MEMS-ów. Powód jest jeden pozwala ona na uzyskanie wysokiej i stabilnej próżni (10 4 10 7 hpa). W drugiej metodzie mikrosystem próżniowy wytwarza się razem z obudową w jednym procesie technologicznym [3, 4]. Mikroobudowy próżniowe mogą być wykonane z zastosowaniem różnych metod bondingu mikromechanicznego lub w tzw. zintegrowanym procesie uszczelniania [5]. Takie podejście umożliwia wielkoseryjną produkcję, pozwala obniżyć koszty i zapewnia pełną miniaturyzację urządzeń.

Mimo wielu zalet uszczelnianie na poziomie podłoża nie jest jeszcze wykorzystywane na skalę masową. Jego zastosowanie jest ograniczone głównie ze względu na problemy z uzyskaniem stabilnych warunków próżniowych we wnętrzu systemu, a stosowane obecnie procesy zapewniają jedynie niską próżnię (0,1 1 hpa), która jest niewystarczająca dla pracy wielu mikrourządzeń. O trudnościach w uzyskaniu wysokiej próżni w zintegrowanych obudowach decyduje czynnik skali oraz czynnik technologiczny, który jest związany ze specyfiką procesu wytwarzania oraz uszczelniania mikrourządzeń [2, 6, 7]. W mikro skali procesy desorpcji cząsteczek gazów z powierzchni, gazowanie materiałów oraz przenikanie lekkich gazów do wnętrza struktury przez niedokładności połączeń lub cienkie ścianki obudowy odgrywają dużo większa rolę i mają dużo większy wpływ na poziom próżni niż w urządzeniach o dużych rozmiarach. Część skutków opisanych powyżej efektów można wyeliminować przez zastosowanie geterów. Getery są to materiały o silnych właściwościach absorpcyjnych, najczęściej metale przejściowe (Ba, Ti, Al, V, Zr), które tworzą stabilne związki z gazami resztkowymi (H2O, O2, CO, CO2, N2 i H2) [8, 9]. Getery pochłaniają część gazów wydzielających się w trakcie procesu uszczelniania oraz eliminują wzrost ciśnienia w czasie pracy mikrosystemów. Stosowane one były od wielu lat w próżniowych urządzeniach elektronicznych (lampach elektronowych, kineskopach, płaskich wyświetlaczach) [10]. W mikrosystemach wykorzystuje się specjalnie opracowane tzw. getery nieodparowywalne w postaci tabletek, pasków oraz cienkich lub grubych warstw [11]. Getery obniżają ciśnienie do ok. 10 3 hpa i stabilizują je na okres kilku lat. W mikroskali jest to obecnie nieprzekraczalna granica. Dla części mikrosystemów jest to wystarczający poziom, ale rozwój wielu nowoczesnych urządzeń, przede wszystkim urządzeń nanoelektroniki próżniowej (objętość < 1 cm 3 ), które wymagają wysokiej lub ultra wysokiej próżni, jest obecnie zamrożony na etapie laboratoryjnym. Dopiero opracowanie metody wytwarzania i stabilizacji wysokiej próżni wewnątrz mikroobjętości umożliwiłoby ich masową produkcję. 4. Miniaturowe pompy próżniowe W literaturze światowej istnieje zaledwie kilka przykładów miniaturowych pomp próżniowych wykonanych w technologii MEMS: pompy membranowe, cieplnoprzewodnościowe, eżektorowe, molekularne, ale wszystkie one mogą wytworzyć jedynie niską lub średnią próżnię (p» 10 3 hpa). Na podstawie analizy literatury przedmiotu przyjęto, że wysoką próżnię powinna wytworzyć mikropompa jonowo-sorpcyjna. Pompy takie działają na zasadzie zbliżonej do geterów, ale gaz przed absorpcją jest uprzednio jonizowany. Jony przyciągane są z dużą energią do kolektora pokrytego geterem, wchodzą z nim nie tylko w reakcję chemiczną, ale również mogą spowodować jego rozpylenie tworząc lustro sorpcyjne, lub

zostać w nim zagrzebane. Zwiększa to pojemność, szybkość pompowania oraz pozwala na pompowanie gazów obojętnych chemicznie. W momencie rozpoczynania pracy doktorskiej nie znaleziono żadnego doniesienia literaturowego o realizacji tego typu konstrukcji. Nie były też znane jasne przesłanki, które potwierdziłyby, że taką pompę można wytworzyć technikami mikroinżynieryjnymi oraz dowody, że rzeczywiście pozwoli ona uzyskać wysoką próżnię. Autor niniejszej rozprawy jako pierwszy podjął się rozwiązania tych kwestii. 5. Mikropompy jonowo-sorpcyjne Wielokierunkowa analiza materiałowa, konstrukcyjna i technologiczna doprowadziła do opracowania i wykonania dwóch wersji mikropomp jonowosorpcyjnych typu MEMS: mikropompy polowej oraz mikropompy jarzeniowej. Prace rozpoczęto od przeprowadzenia studium wykonalności, które potwierdziło, że nawet po zmniejszeniu wymiarów pompy, w dalszym ciągu możliwe będzie zapewnienie efektywnej jonizacji gazu. W pierwszej wersji pompy do jonizacji gazu postanowiono wykorzystać polowe źródło elektronów, a w drugiej wersji wyładowanie elektryczne w obecności silnego pola magnetycznego. Bardzo istotnym założeniem przyjętym przy projektowaniu mikropomp było zapewnienie kompatybilności technologicznej z innymi mikro- i nanosystemami. Wymusiło to wybór określonych materiałów i rozwiązań konstrukcyjnych oraz zastosowanie odpowiednich procesów technologicznych. Założono, że przy konstrukcji mikropomp jako bazowe materiały wykorzystane będą krzem i szkło, które są najczęściej stosowanymi materiałami w technice mikrosystemów. Podłoża te można przestrzennie formować przy zastosowaniu procesów fotolitografii i głębokiego mokrego trawienia, a także łączyć ze sobą, stosując różne techniki bondingu, analogicznie jak w innych urządzeniach MEMS. Opracowane konstrukcje spełniały również dodatkowe założenia: istniała możliwość polaryzacji wszystkich elektrod wysokim napięciem bez ryzyka przebić elektrycznych, wyeliminowano możliwości powstawania zwarć pomiędzy elektrodami oraz zapewniono próżnioszczelności wszystkich połączeń. 5.1. Mikropompa polowa Mikropompa polowa to konstrukcja trójelektrodowa składająca się z zimnej katody, elektrody ekstrakcyjnej (bramki) oraz z kolektora jonów. Każda z elektrod w mikropompie jest oddzielnym fragmentem podłoża krzemowego, które odizolowano szklanymi dystansownikami [12]. Elektrody wraz z dystansownikami stanowią jednocześnie elementy konstrukcyjne samej pompy. Mikropompa polowa zbudowana jest z dwóch warstw krzemu i dwóch warstw szkła (rys. 1), wymiary zewnętrzne mikropompy wynoszą 28 12 3 mm 3, a objętość wewnętrzna - 50 mm 3 (mikrokomora 5 5 2 mm 3 ).

a) b) Rys. 1. Jonowo-sorpcyjna mikropompa polowa : a) schemat konstrukcji i zasady działania, b) zdjęcie rzeczywistej struktury Katoda polowa i elektroda ekstrakcyjna (bramka) wykonane są w dolnym podłożu krzemowym. Katoda znajduje się w centrum struktury i tworzy odizolowaną wyspę, otoczoną przez bramkę. Warstwa emisyjna na katodzie wykonana jest z nanorurek węglowych. Górne podłoże krzemowe pełni rolę kolektora, który służy do zbierania zjonizowanych cząsteczek gazu. Krzemowy kolektor oraz bramka pokryte są cienką warstwą tytanu (getera). W podłożu kolektora wykonano cienką membranę, która pełni rolę czujnika niskiej próżni i używana jest do oceny próżnioszczelności połączenia warstw krzem-szkło [13]. Wszystkie elektrody odseparowane są od siebie za pomocą szklanych dystansowników, które gwarantują bardzo dobrą izolację elektryczną. Poszczególne elementy połączone są ze sobą metodą bondingu anodowego, przy czym ostatni proces przeprowadzany jest w próżni. W mikrokomorze pompy zaprojektowano dodatkową przestrzeń na umieszczenie getera NEG, który poprawia próżnię do poziomu niezbędnego do uruchomienia mikropompy. Zasada działania mikropompy jest następująca. Elektrony emitowane z katody polowej pod wpływem silnego pola elektrycznego w drodze do bramki jonizują cząsteczki gazu, a powstałe jony przyciągane są przez kolektor. Kolektor umieszczono powyżej planarnego układu katoda bramka, a więc ponad obszarem, w którym dochodzi do jonizacji gazów. Na powierzchni tytanowej warstwy kolektora następuje fizyczna i/lub chemiczna adsorpcja zjonizowanych cząsteczek gazów. Warstwa getera bombardowana jonami może być również rozpylana albo więzić te atomy, które wnikają w nią z dużą energią. Cząsteczki mogą być również zagrzebywane pod świeżo rozpyloną warstwą tytanu.

5.2. Mikropompa jarzeniowa Mikropompa jarzeniowa składa się z dwóch krzemowych katod i anody oddzielonych szklanymi dystansownikami (rys. 2). Do struktury przyłożone są magnesy stałe wytwarzające w środku prostopadłe do powierzchni elektrod pole magnetyczne [14, 15]. Wymiary struktury mikropompy wynoszą 28 12 3,4 mm 3, a objętość wewnętrzna to 5 5 3,2 mm 3 (80 mm 3 ). Na obydwu katodach uformowano cienkie membrany służące do oceny próżnioszczelności wykonanej struktury oraz naniesiono warstwy tytanu (getera). Anodę stanowi podłoże krzemowe z wytrawionym na wylot kwadratowym otworem o boku 4 mm. Szklane dystansowniki również zawierają wytrawione otwory, ale o nieco większej średnicy (kwadrat o boku 5 mm). W przeciwieństwie do pompy polowej konstrukcja ta nie uwzględnia wnęki na geter NEG. Uznano, że pompa bez źródła elektronów, które jest wrażliwe na obecność gazów resztkowych, może rozpoczynać pracę przy niższej próżni. a) b) Rys. 2. Jonowo-sorpcyjna mikropompa jarzeniowa : a) schemat konstrukcji i zasady działania, b) zdjęcie rzeczywistej struktury W zaproponowanej konstrukcji proces jonizacji zapoczątkowują elektrony samoistne, które generowane są w gazie głównie pod wpływem promieniowania kosmicznego. Po przyłożeniu napięcia pomiędzy elektrody, elektrony poruszają się w kierunku anody, a ich tor jest wydłużony na skutek działania pola magnetycznego (efekt orbitronowy). Jony gazów powstałe w wyniku zderzeń z elektronami uderzają w powierzchnię katod z dużą energią, co prowadzi do emisji elektronów wtórnych. Dodatkowo jony te rozpylają warstwę tytanu. Rozpylany tytan osiada zarówno na obrzeżu katody, jak i na anodzie oraz szklanych dystansownikach, wiążąc cząsteczki aktywne chemicznie oraz zagrzebując gazy szlachetne.

6. Technologia Technologia obu mikropomp bazowała na sekwencji kilkudziesięciu różnych procesów: mycia, utleniania, fotolitografii, bondingu anodowego, nanoszenia warstw. Część z nich było procesami standardowymi, ale niektóre należało dostosować do konkretnych warunków (odpowiednia temperatura, kolejność wykonania), a inne opracować od podstaw. Należały do nich: formowanie przestrzenne połączonych podłoży krzemowych i szklanych metodą głębokiego trawienia mokrego, wykonanie kontaktu do krzemowej elektrody poprzez metalizowany otwór w podłożu szklanym, selektywne nanoszenie nanorurek węglowych na przestrzennie uformowaną katodę krzemową, wielowarstwowy bonding anodowy krzem-szkło-krzem-szkło-krzem, bonding anodowy krzemu z naniesioną uprzednio warstwą nanorurek węglowych i/lub tytanu z podłożem szklanym. W procesie technologicznym poszczególne elementy mikropompy wytwarzano oddzielnie, a następnie łączono je ze sobą metodą bondingu anodowego. Zgodnie z zaplanowanym procesem technologicznym wykonano kilkanaście struktur testowych każdej z mikropomp, po czym poddano je charakteryzacji. 7. Charakteryzacja Charakteryzacja mikropomp przebiegała według następującej procedury: pomiary struktur nieuszczelnionych w referencyjnym stanowisku próżniowym, wyznaczenie właściwości pompujących struktur uszczelnionych próżniowo o objętości mikrokomory V < 0,1 cm 3, weryfikacja właściwości pompujących za pomocą miniaturowego jonizacyjnego czujnika ciśnienia w systemie szklanym o objętości 25 cm 3, badania materiałowe wewnętrznych powierzchni mikropomp. W trakcie pomiarów w referencyjnym stanowisku próżniowym struktury testowe mikropomp zostały w pełni scharakteryzowane, określono wpływ polaryzacji oraz warunków ciśnieniowych na przebieg zależności prądowo-napięciowych, ustalono optymalne warunki pracy mikropomp. Uzyskano dużą efektywność emisji elektronów z polowego źródła, potwierdzono występowanie procesu jonizacji gazów resztkowych oraz wyznaczono krzywe kalibracyjne uzależniające wartość prądu jonowego od ciśnienia (rys. 3).

a) b) Rys. 3. Krzywe kalibracyjne: a) stosunek prądu jonowego kolektora do prądu bramki w funkcji ciśnienia dla pompy polowej, b) zależność prądu jonowego kolektora od ciśnienia dla pompy jarzeniowej W kolejnym eksperymencie mikropompy uszczelniono próżniowo i zbadano ich właściwości pompujące. Po spolaryzowaniu elektrod obserwowano spadek prądu jonowego, który wskazywał, że wewnątrz struktury ciśnienie się obniża. Mikropompa polowa wytworzyła wewnątrz swojej objętości (50 mm 3 ) ciśnienie ok. 3 10 5 hpa, czyli o 2 rzędy wielkości niższe niż do tej pory wytwarzane w mikrosystemach innymi metodami. W wypadku pompy jarzeniowej ciśnienie końcowe było jeszcze niższe ok. 3 10 7 hpa. Wyniki otrzymane na podstawie krzywych kalibracyjnych, które mogą być obarczone pewnym błędem, zweryfikowano wyznaczając ciśnienie wytworzone przez mikropompy za pomocą miniaturowego czujnika Bayarda-Alperta. Czujnik i każdą z mikropomp umieszczono w szklanym układzie o objętości 25 cm 3, odpompowano wstępnie do próżni ok. 10 2 hpa, a na koniec szczelnie zatopiono przepusty próżniowe. Po uruchomieniu mikropompy obserwowano, jak zmienia się ciśnienie wskazywane przez czujnik B-A. Mikropompa polowa wytworzyła próżnię ok. 7 10 5 hpa, natomiast pompa jarzeniowa 5 10 6 hpa. Ciśnienia końcowe były wprawdzie wyższe niż w pierwszym eksperymencie, ale też objętość układu była kilkaset razy większa niż objętość każdej z mikropomp. Dla uzupełnienia charakteryzacji działania mikropomp przeprowadzono również badania materiałowe. Miały one dostarczyć dodatkowych informacji na temat mechanizmu pompowania oraz zjawisk odpowiedzialnych za pochłanianie zjonizowanych cząsteczek gazu. Badaniom poddano powierzchnie elektrod struktur otwartych mikropomp, które pracowały w referencyjnym stanowisku próżniowym przynajmniej przez pół godziny. Udowodniono, że zachodzą procesy rozpylania warstwy tytanu i termicznej aktywacji jego powierzchni. Zabsorbowane zostały różne gazy resztkowe: głównie tlen, a także w mniejszym stopniu azot, wodór oraz związki węgla.

8. Podsumowanie Badania konstrukcyjne oraz technologiczne, a także przeprowadzona charakteryzacja struktur testowych pozwoliły potwierdzić tezę pracy, że możliwe jest wytworzenie wysokiej próżni w mikro- i nanosystemach przy wykorzystaniu miniaturowej pompy próżniowej. Zrealizowano dwie wersje mikropomp jonowosorpcyjnych: polową i jarzeniową. Osiągnięto najniższe notowane dotychczas w mikroobjętości ciśnienie, które wyniosło ok. 3 10 7 hpa. Opracowano także metody umożliwiające szacowanie próżni w mikroobjętości. Pierwsze, uzyskane w ramach pracy doktorskiej wyniki są obiecujące, ale temat ten wymaga dalszych badań. Prace będą kontynuowane w projekcie OPUS 5 (NCN), w którym określony zostanie wpływ różnych czynników na pracę mikropomp (materiały, wymiary, wielkość pola elektrycznego i magnetycznego), powstaną nowe konstrukcje oraz rozpoznane będą szczegółowo mechanizmy odpowiedzialne za pochłanianie gazów resztkowych w mikroobjętości. Wydaje się, że dzięki osiągnięciu postawionego celu naukowego pracy i opracowaniu nowej metody wytwarzania wysokiej próżni w mikroobjętości możliwy będzie dalszy rozwój mikro- i nanosystemów próżniowych. W warunkach wysokiej próżni mikrosystemy obecnie istniejące, będą cechować się lepszymi parametrami i dłuższym czasem pracy. Pewna grupa urządzeń, w szczególności urządzeń nanoelektroniki próżniowej, których rozwój zatrzymał się na etapie badań laboratoryjnych, będzie mogła być zminiaturyzowana, a w przyszłości wprowadzona na rynek. Literatura: [1] A. Górecka-Drzazga, Próżnia w mikrosystemach - nowe wyzwania, Elektronika Konstrukcje, Technologie, Zastosowania 52, 8 (2011) 13-15. [2] Raport z projektu VABOND IST-2001-34224: Long-term stability of vacuumencapsulated MEMS devices using eutectic wafer bonding, 2002. [3] http://www.memsjournal.com/2006/08/mems_packaging_.html, 2012. [4] D. Sparks, S. Massoud-Ansari, N. Najafi, Reliable vacuum packaging using nanogetters and glass frit bonding, Reliability, Testing and Characterization of MEMS/MOEMS III, Proc. SPIE 5343 (2004) 70-78. [5] K. Najafi, Micropackaging technologies for integrated microsystems: application to MEMS and MOEMS, Proc. of SPIE 4979 (2003) 1-19. [6] T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, Vacuum microdevices, Bulletin of the Polish Academy of Sciences. Technical Sciences 60, 1 (2012) 19-23. [7] Page films brochure_2007_1069, http://www.saesgetters.com/ [8] R. Ramesham, Evaluation of non-evaporable getters for high vacuum hermetic packages, NEPP Program Document, JPL D-27440.

[9] D. Sparks, Thin film getters: Solid state vacuum pumps for microsensors and actuators, Vacuum and Coating Technology, Summer (2010) 1-6. [10] T. Giorgi, Getters and gettering, Japan. J. Appl. Phys. Suppl. 2 (1974) 53-57. [11] M. Previti, K. Gilleo, Getters: Micromolecular scavengers for packaging, Proc. of International Symposium on Advanced Packaging Materials 2001, pp. 201-206. [12] T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, Miniature ion-sorption vacuum pump with CNT field-emission electron source, Journal of Micromechanics and Microengineering 23 (2013) 1-5. [13] T. Grzebyk, P. Stasiak, A. Górecka-Drzazga, Vacuum in microsystems generation and measurement, Optica Applicata 43 (2011) 389 394. [14] T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, A. Zawada, J. Dziuban, Glow-discharge ion-sorption micropump for vacuum MEMS, Proc. of Transducers Conference 2013, pp. 1-4. [15] T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban, High vacuum micropump for miniature nanoelectronics devices, Technical Digest of 26th IVNC 2013, pp. 1-2. Dorobek naukowy: 14 krajowych i zagranicznych publikacji naukowych: w tym 7 z tzw. Listy Filadelfijskiej, 2 publikacje w czasopismach z Listy Ministerialnej i 5 publikacji w materiałach pokonferencyjnych, udział w 5 krajowych (COE, ELTE, KKNM, KTP) i 8 międzynarodowych konferencjach naukowych (Transducers, Eurosensors, IVNC, IMAPS), w tym 1 referat zaproszony (Workshop on Cold Cathodes).