Mikrosystemy Lab-on-a-Chip

Podobne dokumenty
Mikrosystemy Wprowadzenie. Prezentacja jest współfinansowana przez Unię Europejską w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego w projekcie pt.

Elementy technologii mikroelementów i mikrosystemów. USF_3 Technologia_A M.Kujawińska, T.Kozacki, M.Jóżwik 3-1

Elementy technologii mikroelementów i mikrosystemów. Typowe wymagania klasy czystości: 1000/100 (technologie 3 µm)

Technologia elementów optycznych

Farmakopealne metody badań

Techniki immunochemiczne. opierają się na specyficznych oddziaływaniach między antygenami a przeciwciałami

RZECZPOSPOLITA POLSKA (12) OPIS PATENTOWY (19) PL (11) (13) B1

Metody wytwarzania elementów półprzewodnikowych

PRACA DYPLOMOWA W BUDOWIE WKŁADEK FORMUJĄCYCH. Tomasz Kamiński. Temat: ŻYWICE EPOKSYDOWE. dr inż. Leszek Nakonieczny

Wydziału Biotechnologii i Nauk o Żywności

Struktura CMOS PMOS NMOS. metal I. metal II. warstwy izolacyjne (CVD) kontakt PWELL NWELL. tlenek polowy (utlenianie podłoża) podłoże P

PLAN STUDIÓW NR VI. STUDIA PIERWSZEGO STOPNIA (3,5-letnie inżynierskie)

Czujniki. Czujniki służą do przetwarzania interesującej nas wielkości fizycznej na wielkość elektryczną łatwą do pomiaru. Najczęściej spotykane są

Struktura CMOS Click to edit Master title style

Sesja prezentacji Wydziału Chemicznego

PL B1. INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ, Warszawa, PL BUP 26/06

Ćwiczenie 2a. Pomiar napięcia z izolacją galwaniczną Doświadczalne badania charakterystyk układów pomiarowych CZUJNIKI POMIAROWE I ELEMENTY WYKONAWCZE

Okres realizacji projektu: r r.

Modelowanie mikrosystemów - laboratorium. Ćwiczenie 1. Modelowanie ugięcia membrany krzemowej modelowanie pracy mikromechanicznego czujnika ciśnienia

Wyniki operacji kalibracji są często wyrażane w postaci współczynnika kalibracji (calibration factor) lub też krzywej kalibracji.

Technologia elementów optycznych

INSTRUKCJA DO ĆWICZEŃ LABORATORYJNYCH

PLAN STUDIÓW NR II PROFIL OGÓLNOAKADEMICKI POZIOM STUDIÓW: STUDIA DRUGIEGO STOPNIA (1,5-roczne magisterskie) FORMA STUDIÓW:

PL B1. POLITECHNIKA WARSZAWSKA, Warszawa, PL BUP 06/14

ANALITYKA PRZEMYSŁOWA I ŚRODOWISKOWA

Skaningowy Mikroskop Elektronowy. Rembisz Grażyna Drab Bartosz

SAMOCHODOWY RADAR POWSZECHNEGO STOSOWANIA

NAGRZEWANIE ELEKTRODOWE

Interpretacja wyników analiz ilości i obecności drobnoustrojów zgodnie z zasadami badań mikrobiologicznych żywności i pasz?

Agnieszka Markowska-Radomska

Technologia sprzętu optoelektronicznego. dr inż. Michał Józwik pokój 507a

Technologia planarna

Kryształy, półprzewodniki, nanotechnologie. Dr inż. KAROL STRZAŁKOWSKI Instytut Fizyki UMK w Toruniu skaroll@fizyka.umk.pl

Piezorezystancyjny czujnik ciśnienia: modelowanie membrany krzemowej podstawowego elementu piezorezystancyjnego czujnika ciśnienia

Wpływ robotyzacji na konkurencyjność polskich przedsiębiorstw. Krzysztof Łapiński. Warszawa, 20 września 2016 r. Świat

Skalowanie układów scalonych Click to edit Master title style

TECHNOLOGIE ZABEZPIECZANIA POWIERZCHNI Technologies for protecting the surface Kod przedmiotu: IM.D1F.45

AU.59. Przygotowywanie sprzętu odczynników chemicznych i próbek do badań analitycznych;

Nazwa i typ aparatu:.. Lp. Opis parametru Kryterium Parametr wymagany

Wpływ defektów punktowych i liniowych na własności węglika krzemu SiC

10) istotne kliniczne dane pacjenta, w szczególności: rozpoznanie, występujące czynniki ryzyka zakażenia, w tym wcześniejsza antybiotykoterapia,

Nauka o Materiałach Wykład I Nauka o materiałach wprowadzenie Jerzy Lis

PL B1. POLITECHNIKA WARSZAWSKA, Warszawa, PL BUP 11/09

Peter Schramm pracuje w dziale technicznym FRIATEC AG, oddział ceramiki technicznej.

Modelowanie mikrosystemów - laboratorium. Ćwiczenie 1. Modelowanie ugięcia membrany krzemowej modelowanie pracy mikromechanicznego czujnika ciśnienia

ZAPLECZE LABORATORYJNO-TECHNICZNE Wydział Nauk o Ziemi i Gospodarki Przestrzennej UMCS

Studia podyplomowe: Nauczanie biologii w gimnazjach i szkołach ponadgimnazjalnych

profil ogólnoakademicki studia I stopnia

WYNIKI REALIZOWANYCH PROJEKTÓW BADAWCZYCH

Układy scalone. wstęp układy hybrydowe

Opis efektów uczenia się dla kwalifikacji na poziomie 7 Polskiej Ramy Kwalifikacji

(zwane również sensorami)

ZNACZENIE POWŁOKI W INŻYNIERII POWIERZCHNI

Dr hab. inż. Wojciech Simka, prof. Pol. Śl.

Chemia środków ochrony roślin Katedra Analizy Środowiska. Instrukcja do ćwiczeń. Ćwiczenie 2

INSTYTUT INŻYNIERII MATERIAŁOWEJ PŁ LABORATORIUM TECHNOLOGII POWŁOK OCHRONNYCH ĆWICZENIE 2

PLAN STUDIÓW NR IV PROFIL OGÓLNOAKADEMICKI POZIOM STUDIÓW: STUDIA DRUGIEGO STOPNIA (1,5-roczne magisterskie) FORMA STUDIÓW:

SYLABUS. Studia Kierunek studiów Poziom kształcenia Forma studiów Inżynieria materiałowa studia pierwszego studia stacjonarne

ANALITYKA PROCESOWA ANALITYKA W KONTROLI JAKOŚCI WYKŁAD SYSTEMY ANALITYKI PROCESOWEJ

57 Zjazd PTChem i SITPChem Częstochowa, Promotowany miedzią niklowy katalizator do uwodornienia benzenu

POLITECHNIKA OPOLSKA WYDZIAŁ BUDOWNICTWA Katedra Inżynierii Materiałów Budowlanych Laboratorium Materiałów Budowlanych. Raport LMB 326/2012

Odkrycie. Patentowanie. Opracowanie procesu chemicznego. Opracowanie procesu produkcyjnego. Aktywność Toksykologia ADME

Badania wybranych nanostruktur SnO 2 w aspekcie zastosowań sensorowych

Formularz opisu kursu (sylabus przedmiotu) na rok akademicki 2011/2010

Process Analytical Technology (PAT),

Elektronika z plastyku

Skalowanie układów scalonych

PODSTAWY CHROMATOGRAFII GAZOWEJ

Do uzyskania kwalifikacji pierwszego stopnia (studia inżynierskie) na kierunku BIOTECHNOLOGIA wymagane są wszystkie poniższe efekty kształcenia

Montaż w elektronice

Sensory w systemach wbudowanych

OBRÓBKA PLAZMOWA W MIKROELEKTRONICE I MIKROMECHANICE

Technika sensorowa. Czujniki mikromechaniczne - cz.1

Czyszczenie powierzchni podłoży jest jednym z

ZESPÓŁ SZKÓŁ ELEKTRYCZNYCH NR

Tytuł: Kontrola glukometrów

Metrologia II Metrology II

Karta przedmiotu. obowiązuje studentów rozpoczynających studia w roku akademickim 2012/2013. Forma studiów: Stacjonarne Kod kierunku: 06.

Nowoczesne technologie materiałowe stosowane w przemyśle lotniczym r Nałęczów

Podstawy biogospodarki. Wykład 7

(62) Numer zgłoszenia, z którego nastąpiło wydzielenie:

PLAN STUDIÓW - STUDIA NIESTACJONARNE I STOPNIA kierunek: mechanika i budowa maszyn

ĆWICZENIE 15 BADANIE WZMACNIACZY MOCY MAŁEJ CZĘSTOTLIWOŚCI

Metody układania elementów w technologii SMT (Surface Mount Technology)

KARTA PRZEDMIOTU. zaliczenie na ocenę

2. Metoda impulsowa pomiaru wilgotności mas formierskich.

Karta charakterystyki online TOCOR700 SPECYFICZNE DLA KLIENTÓW SYSTEMY ANALIZY

Nauka o Materiałach dr hab. inż. Mirosław Bućko, prof. AGH B-8, p. 1.13, tel

VIII Bałtycki Festiwal Nauki Koło Studentów Biotechnologii PG

POLITECHNIKA WARSZAWSKA BIOTECHNOLOGICZNYCH

Instrukcja do ćwiczeń laboratoryjnych

Kierunek i poziom studiów: Biologia, poziom pierwszy

Mechatronika i inteligentne systemy produkcyjne. Paweł Pełczyński ppelczynski@swspiz.pl

KARTA MODUŁU / KARTA PRZEDMIOTU

PACJENT POD OPIEKĄ LABORATORIUM

Firma szkoleniowa 2014 roku. TOP 3 w rankingu firm szkoleniowych zaprasza na szkolenie:

KARTA MODUŁU / KARTA PRZEDMIOTU

60 60 Egzamin / zaliczenie na ocenę* 1 1,5

Identyfikacja mikroorganizmów systemem firmy Biolog

Projektowanie i dobór materiałów do zastosowań medycznych - opis przedmiotu

Transkrypt:

Mikrosystemy Lab-on-a-Chip Ireneusz Kocemba* W pracy przedstawiono ogólną ideę funkcjonowania zminiaturyzowanych urządzeń laboratoryjnych zwanych Lab-on-a-Chip. Ich zadaniem jest przeprowadzanie określonych reakcji chemicznych i analiza chemiczna produktów tych reakcji. Oznacza to, że systemy Lab-on-a-Chip pełnią rolę kompletnego mikrolaboratorium chemicznego. Omówiono najważniejsze techniki stosowane przy konstrukcji tych urządzeń oraz podano przykłady zastosowań. Obecne metody analityki chemicznej wymagają na ogół użycia nowoczesnej aparatury pomiarowej i od zawsze koniecznej staranności w przeprowadzeniu określonego procesu analitycznego. Na proces ten składa się zwykle kilku etapów. Każdy z nich jest odpowiednio czasochłonny i może generować błędy, zmniejszając wiarygodność oznaczenia. Z analizy źródeł błędów wynika, że najwięcej jest ich popełnianych w trakcie etapów związanych z pobieraniem i przygotowaniem próbek do analizy [1]. Te etapy są również najbardziej czasochłonne. Czasochłonność analizy i niepewność całego oznaczenia bardzo silnie wzrasta w przypadku, gdy analiza dotyczy złożonych próbek analitycznych, np. środowiskowych czy medycznych. Współczesne laboratoria zajmujące się analizą chemiczną coraz częściej wyposażane są w aparaty analityczne umożliwiające przeprowadzenie tzw. analizy całościowej TAS (ang. Total Analysis System). Ich zadaniem jest maksymalne wyeliminowanie kolejnych etapów analizy chemicznej. Umożliwiają m.in.: automatyczny pobór próbek do analizy oraz ich transport, ewentualne przeprowadzenie koniecznych reakcji chemicznych, rozdzielenie produktów i ich zatężanie, detekcję oraz obróbkę matematyczną uzyskanych wyników, a także porównanie z tymi, które są zawarte w odpowiednich bazach danych. Przykładem takiego aparatu jest współczesny chromatograf gazowy sprzężony ze spektrometrem masowym (GC-MS). Zapewnia on właściwy rozdział próbki i odpowiednią detekcję wszystkich jej składników. Pomimo niewątpliwych zalet, tego typu aparaty analityczne posiadają także szereg wad. Do najważniejszych można zaliczyć: wysoki koszt aparatu, duże zużycie odczynników, duże zużycie mocy, obsługa przez wysoko wykwalifikowany personel, duże rozmiary, niska mobilność. Wymienione wady spowodowały rozwój zminiaturyzowanych wersji aparatów przeznaczonych do analizy całościowej. Systemy te są okre- Rys. 1. Ogólna idea budowy i funkcjonowania systemów laboratoryjnych typu lab- -on-a-chip. Wykorzystano zdjęcie z: http://www.ge- ne-quantification.de/lab- -on-chip.html Odczynniki Odczynniki Wprowadzenie próbki Wstępna obróbka Reakcje chemiczne Rozdział, zatężanie Detekcja Sygnał analityczny ślane mianem µ-tas (ang. µ Total Analytical System) lub Lab-on-a-Chip (laboratorium na chipie LOC). To ostatnie określenie podkreśla pewną analogię między elektronicznymi układami scalonymi o dużej skali integracji (układ scalony ang. chip) a systemem Lab-on-a-Chip. Zadaniem tych miniaturowych urządzeń jest z jednej strony przeprowadzanie określonych reakcji chemicznych Kontrola elektroniczna, obróbka sygnałów i ich archiwizacja Rys. 2. Schemat blokowy mikroukładu typu Lab-on-a-Chip 42 rok 19, nr 2

lub biochemicznych, z drugiej analiza chemiczna produktów tych reakcji. Oznacza to, że Lab-on-a-Chip pełni nie tylko rolę systemu analitycznego, ale także kompletnego mikrolaboratorium chemicznego, którego częścią są określone systemy mikroanalityczne [2]. Na rysunku 1 przedstawiono ogólną ideę funkcjonowania laboratoriów na chipie, a na rysunku 2 jego uproszczony schemat blokowy. Badana próbka wprowadzana jest w postaci gazu lub roztworu oraz jeżeli to konieczne poddawana wstępnej obróbce (np. podgrzewana), a następnie kierowana do mikroreaktorów wyposażonych w grzejniki, mieszadła i systemy dozowania potrzebnych odczynników. W tych mikroreaktorach próbka podlega działaniu wprowadzonych wcześniej odczynników lub ulega przemianom pod wpływem temperatury. W dalszym etapie produkty reakcji są rozdzielane, zatężane i oznaczane. Określone procedury są zbliżone do tych, które obowiązują w klasycznym laboratorium. Niemniej wszystkie funkcje personelu obsługującego dane laboratorium oraz funkcje tradycyjnych urządzeń analitycznych przejmują odpowiednie mikroukłady elektroniczne i mechaniczne. Zatem Lab-on-a-Chip to miniaturowe laboratoria fizyko-chemiczne, które umożliwiają wykonanie wszystkich operacji, koniecznych do przeanalizowania próbki w obrębie jednego µ-układu. Oznacza to potrzebę umieszczenia na µ-układzie (chipie) wszystkich potrzebnych ele- mentów, które umożliwią jego funkcjonowanie. Są to m.in.: mikromechaniczne zawory, przepływomierze, dozowniki, reaktory, separatory, filtry, pompy, elementy grzejne, czujniki temperatury i ciśnienia oraz odpowiednie detektory wielkości chemicznych. Poprzez analogie do sformułowanego w latach 60. ubiegłego wieku prawa Moore'a odnoszącego się do liczby tranzystorów w układzie scalonym [3] (liczba tranzystorów w układzie scalonym podwaja się co ok. 12 miesięcy), sformułowano prawo w odniesieniu do Lab-on-a-chip. W tym przypadku kryterium stanowi liczba mikrozaworów, która według tego prawa podwaja się na pojedynczym μ-układzie co dwa lata. W roku 2002 Thorsen et al. przedstawił system typu Lab-on-a-Chip, na który składało się 2056 zaworów i 256 subnanolitrowych reaktorów [4]. Od początku XXI wieku nastąpiła prawdziwa eksplozja liczby prac naukowych omawiających konstrukcje oraz zastosowania systemów Lab-on- -a-chip. Od 2001 roku ukazuje się czasopismo (dwutygodnik) zatytułowane Lab-on-a-Chip (impact factor = 5.67), w którym prezentowane są prace z tej dziedziny badań. Corocznie odbywają się kongresy poświęcone Lab-on-a-Chip, zarówno o zasięgu europejskim, jak i światowym. Ostatnie odbyły się w Barcelonie i San Diego. Systemy Lab-on-a-Chip zawierają także elementy związane z obróbką sygnału pomiarowego i archiwizacją wyników. Daje to ogromne możliwości zastosowań, począwszy od systemów wczesnego ostrzegania przed wybuchem gazów, poprzez pomiary zanieczyszczeń środowiska, a skończywszy na analizie złożonych próbek klinicznych i środowiskowych. Najważniejszą zaletą tych systemów jest prowadzenie potrzebnych operacji laboratoryjnych z użyciem niewielkich ilości próbek oraz szybkie uzyskanie końcowego wyniku. Porównując właściwości Lab-on-a-Chip w odniesieniu do tradycyjnych systemów badawczych i analitycznych można wymienić następujące ich zalety: ograniczenie zużycia odczynników, możliwość prowadzenia analiz różnego typu w zakresie nano i piko litrów, obniżenie ilości wytwarzanych odpadów biologicznych i chemicznych, mniejsze zanieczyszczenie środowiska, redukcja czasochłonności, duża przepustowość, redukcja kosztów, nieosiągalny dotychczas stopień automatyzacji, mobilność, możliwość prowadzenia skomplikowanych analiz chemicznych przez osoby o niskich kwalifikacjach, względna taniość, spełnienie wymagań zielonej chemii. Należy tu jednak podkreślić, że podobnie jak nie ma całkowicie uniwersalnego laboratorium chemicznego, tak nie jest możliwe wytwarzanie uniwersalnych Lab-on-a-chipów. Każdy z wytworzonych przeznaczony jest tylko do określonych celów. Układy MEMS a systemy Lab-on-a-chip Postęp w technologii otrzymywania miniaturowych układów elektronicznych jaki dokonał się od czasu wprowadzenia na rynek pierwszego układu scalonego (1958 r.), umożliwił budowę mikrourządzeń przeznaczonych do różnych zastosowań mechaniczno-elektronicznych. W urządzeniach tych wszystkie istotne elementy zarówno mechaniczne, jak i elektroniczne wytwarzane są na wspólnym podłożu, najczęściej krzemowym. Połączenie własności mechanicznych krzemu z mikroelektroniką przyczyniło się do powstania pod koniec lat 80. zintegrowanych mikrosystemów nazywanych w Ameryce MEMS (ang. Micro- -Electro-Mechanical-System), a w Europie MST (ang. Microsystem Technology) [6]. Technikę ich wytwarzania nazywa się mikro-elektro-mechaniczną. Urządzenia wykonane przy użyciu tej techniki definiuje się jako obiekty elektroniczno- -mechaniczne, w których co najmniej jeden z wymiarów szczególnych (charakterystycznych) mieści się w zakresie mikrometrów [7]. Zadaniem tych urządzeń jest przetworzenie różnych wielkości mechanicznych, termicznych, chemicznych na sygnały elektryczne jak i przetworzenie sygnałów elektrycznych na mechaniczne. W mikrosystemie wszystkie elementy mechaniczne, jak i elektroniczne współpracują ze sobą tworząc całkowicie zintegrowany układ kontrolujący swoje działanie i umożliwiający transmisję danych do otoczenia informatycznego, np. do komputera typu PC. rok 19, nr 2 43

Przykładem powszechnie stosowanego mikrosystemu MEMS jest, np. układ, który zawiera mikroczujniki przyśpieszenia i kontroluje napięcie pasów bezpieczeństwa w samochodzie i odpowiada za aktywację poduszek powietrznych. Całkowite rozmiary obiektów (urządzeń) wykonanych w technice MEMS są zwykle od kilku mikrometrów do kilku milimetrów. W przypadku wymiarów mniejszych od mikrometra, stosowane jest pojęcie NEMS (ang. Nano- -Electro-Mechanical System). Na rysunku 3 przedstawiono zdjęcie napędu mechanicznego wykonanego w technologii MEMS [8]. Dla porównania umieszczono na nim odnóża pająka przędziorka, którego całkowite wymiary są zwykle mniejsze od 1mm. Natomiast rysunek 4 zawiera zdjęcie czujnika ciśnienia krwi zestawionego z fragmentem igły do szycia [9]. Zdjęcia te ilustrują możliwości współczesnych technik miniaturyzacji. Wiele nowych możliwości i korzyści, jakie niesie ze sobą stosowanie urządzeń wykonanych z użyciem techniki MEMS sprawia, że ich rynek należy do najprężniej rozwijających się i dochodowych dziedzin techniki i technologii. Procesy technologiczne stosowane w mikroelektronice mogą służyć zarówno do wytwarzania układów elektronicznych, jak i do wytwarzania różnego rodzaju miniaturowych mechanizmów, czujników, elementów optycznych itp. Urządzenia wykonane w technice MEMS znajdują zastosowanie niemal wszędzie. Z użyciem go mikrosystemu otwierając w ten sposób nowy rozdział w analityce chemicznej czy biochemicznej. Wówczas miały miejsce również pierwsze prezentacje mikrosystemów, w których wykazywano ich zalety. Od tego czasu miniaturyzacja stała się jednym z dominujących trendów w rozwoju technologii wytwarzania urządzeń przeznaczonych do całościowej analizy chemicznej, medycznej, farmakologicznej czy biologicznej. Od zaprezentowania w latach 90. idei laboratorium na chipie do dnia dzisiejszego widoczny jest wyścig na miniaturyzację urządzeń do analizy całościotej techniki buduje się układy pomiaru ciśnienia, przyspieszenia, żyroskopy, manipulatory komórkowe, drukarki, protezy zmysłów (np. oka), narzędzia chirurgiczne oraz urządzenia do chirurgii nieinwazyjnej, kolonoskopy i endoskopy, mikrodializatory, bioroboty, dozowniki płynów i lekarstw, sensory gazowe oraz oczywiście systemy analityczne typu Lab-on-a-Chip. W literaturze dostępnych jest wiele interesujących pozycji książkowych omawiających całościowo zagadnienia związane z wytwarzaniem i zastosowaniem MEMS w różnych dziedzinach nauki i techniki, np. [10,11]. Przyjmuje się, że po raz pierwszy ideę budowy systemów przeznaczonych do całościowej mikroanalizy została zaprezentowana w artykule [12] zatytułowanym Miniaturized Total Chemical Analysis Systems: a Novel Concept for Chemical Sensing, autorów A. Manz, N. Graber i H.M. Widmer, który ukazał się w czasopiśmie Sensors and Actuators w roku 1990. Autorzy przedstawili zalety prowadzenia analiz całościowych w obrębie jedne- próbka kalibracja źródło gazu zawór prekoncentrator Rys. 3. Zdjęcie napędu mechanicznego wykonanego w technologii MEMS zestawione z odnóżami pająka przędziorka [8] pompa kolumna zawór matryca sensorów Rys. 5. Elementy chromatografu gazowego wykonanego w technice MEMS [13] Two ultra-miniature medical pressure sensors in the eye of a needle. Rys. 4. Zdjęcie dwóch czujników ciśnienia krwi umieszczonych w uchu igielnym [9] wej. Autorzy tych urządzeń bardzo często przestawiają ich zdjęcia zestawione z np. z monetami, aby pokazać skalę miniaturyzacji. Na rysunku 5 i 6 przedstawiono przykłady zminiaturyzowanych chromatografów gazowych [13,14]. Na szczególną uwagę zasługuje zdjęcie przedstawiające kompletny chromatograf gazowy umieszczony Rys. 6. Chromatograf gazowy wykonany w technice MEMS umieszczony w strąku zielonego groszku [14] 44 rok 19, nr 2

jednym z najlepszych materiałów do konstrukcji układów MEMS. Charakteryzuje go odpowiednio wysoka wytrzymałość mechaniczna połączona z lekkością. Ma bardzo dobre właściwości cieplne, oraz odznacza się powtarzalnością technologiczną parametrów elektrycznych i mechanicznych [16]. Ponadto, płytki krzemu są produkowane i wykorzystywane na ogromną skalę w mikroelektronice, co dodatkowo daje stosunkowo niską jego cenę. Technologia wytwarzania elementów mechanicznych typu MEMS jest podobna do technologii wytwarzania układów elektronicznych. Do wytwarzania wyrobów MEMS potrzebny jest krzem w postaci monokrystalicznych płytek. Płytki te powstają w wyniku cięcia monokryształów krzemu otrzymanych najczęściej metodą Czochralskiego. Wytworzenie mikrosystemów na bazie krzemu obejmuje dwa zasadnicze procesy technologiczne. Pierwszy związany jest z obróbką krzemu prowadzącą do wytworzenia określonych mikrostruktur, drugi do ich łączenia oraz hermetyzacji. Obróbka krzemu w techw strąku zielonego groszku. Warto tu zaznaczyć, że prace nad wytworzeniem zminiaturyzowanego chromatografu gazowego rozpoczęto na Uniwersytecie Stanforda (USA) już w połowie lat 70. ubiegłego wieku. W wyniku tych prac powstał mikro chromatograf, którego właściwości zostały opisane w 1979 r. w pracy [15]. Na rysunku 7 przedstawiono zdjęcie podstawowych elementów tego chromatografu umieszczone w obrębie jednej płytki krzemowej. Technologie wytwarzania Podstawowym materiałem w technologiach MEMS jest krzem. Stosowane są również inne materiały takie, jak: węglik krzemu (SiC), azotek krzemu (Si 3 N 4 ), arsenek galu (GaAs), fosforan galu (GaP), szkło, diament, kwarc, materiały ceramiczne, rozmaite metale oraz polimery. Jednak na obecnym etapie rozwoju techniki największe znaczenie mają mikrosystemy wykonane z użyciem krzemu jako podstawowego materiału, ponieważ ułatwia on integracje mikrostruktur mechanicznych z mikroelektroniką. Krzem w chwili obecnej jest 10 mm Układ dozowania Kolumna 1.5 m Detektor TCD Rys. 7. Zdjęcie elementów pierwszego chromatografu gazowego wykonanego na jednej płytce krzemu [15] nologii wytwarzania MEMS polega na jego selektywnym usuwaniu metodą suchego lub mokrego trawienia. Proces trawienia mokrego jest procesem znacznie tańszym niż proces trawienia suchego. Przyjmuje się, że istnieją tu dwie grupy technologii mikroobróbka powierzchniowa (ang. Surface Micromachining) i mikroobróbka objętościowa (ang. Bulk Micromachining). Mikroobróbka powierzchniowa polega na usuwaniu (wytrawianiu) lub dodawaniu warstw (osadzaniu) materiału i jest ograniczona tylko do powierzchni krzemu. W mikroobróbce objętościowej usuwanie warstw odbywa się głębiej niż ma to miejsce w obróbce powierzchniowej. Często odbywa się z obu stron płytki, co pozwala na wytworzenie struktur w całej objętości płytki krzemu. Usuwanie warstw Si może odbywać się anizotropowo (w określonym kierunku) lub izotropowo. Suche trawienie przeprowadza się metodą RIE (ang. Reactive Ion Etching) lub metodą PERIE (ang. Plasma Enhanced Reactive Ion Etching). W przypadku mokrego trawienia stosuje się trawienie anizotropowe najczęściej w KOH. Stosowane są również roztwory zasad organicznych takich jak wodorotlenek tetrametyloamoniowy (TMAH) czy etylenodiamina (EDP) [17]. Zarówno anizotropowość, jak i selektywność procesu trawienia, pozwalają na wytwarzanie struktur przestrzennych takich, jak: rowki, wgłębienia, otwory, belki, mosty, membrany, itp. Stosowane są również inne metody obróbki krzemu, w których wykorzystuje się procesy mikroskrawania czy mikroobróbki laserowej. Natomiast w procesie łączenia i hermetyzacji struktur MEMS stosuje się głównie bonding anodowy, który został wynaleziony i opatentowany w roku 1968 przez Pomerantza [18]. Bonding anodowy krzem szkło polega na uzyskaniu trwałego połączenia chemicznego typu Si-O-Si w wyniku działania pola elektrycznego o dużym natężeniu i wysokiej temperatury [17]. Połączenie uzyskane w tym procesie jest bardzo trwałe i zapewnia odpowiednią wytrzymałość mechaniczną i hermetyzację. W wytwarzaniu elementów MEMS stosuje się również metody osadzania warstwowego takie, jak: PVD (ang. Physical Vapour Deposition), CVD (ang. Chemical Vapour Deposition), LPCVD (ang. Low Pressure CVD), PE- CVD (ang. Plasma Enhanced CVD) [19]. W zależności od sposobu trawienia i liczby nałożonych warstw możliwe jest uzyskanie na płytce krzemu mniej lub bardziej skomplikowanych kształtów. Szczególne miejsce w technologiach MEMS zajmują metody fotolitograficzne. Fotolitografia jest jedną z najczęściej wykorzystywanych metod do wytwarzania mikrostruktur, szczególnie w przemyśle elektronicznym (układy scalone). Zasada działania fotolitografii jest podobna do stosowanej w poligrafii litografii. Składa się z kilku etapów, przy czym dwa z nich zaprojektowanie i wykonanie maski są bez wątpienia najważniejsze. rok 19, nr 2 45

Rys. 8. Zdjęcie SEM wnętrza kolumny chromatograficznej otrzymanej metodą fotolitograficzną i po trawieniu krzemu za pomocą roztworu KOH [20] Po nałożeniu maski powierzchnię krzemu, którą wcześniej pokryto emulsją światłoczułą naświetla się promieniowaniem UV. W miejscach, gdzie docierają promienie UV warstwy materiału są usuwane odczynnikami chemicznymi w procesie trawienia (mokrego lub suchego). W ten sposób uwidacznia się płytka krzemowa, na której odwzorowany zostaje wzór maski [19]. Na rysunku 8 przedstawiono zdjęcie wnętrza mikro kolumny chromatograficznej otrzymanej metodą fotolitograficzną i po trawieniu krzemu za pomocą roztworu KOH [20]. Bardzo ważną metodą produkcji systemów MEMS jest LIGA (niemiecki skrót od: Lithograpie, Galvanoformung, Abformung), w której łączone są procesy litografii (LI), elektrochemicznego osadzania (G) oraz odlewania (A) [21]. Metoda ta pozwala uzyskiwać mikrostruktury geometryczne o wymiarach nawet nanometrów. Stosowana jest zatem do wykonywania precyzyjnych mechanizmów, np. przekładni optycznych stosowanych do sprzęgania ze sobą światłowodów. Metoda LIGA polega na nakładaniu materiału formy na metalowe podłoże. Następnie formę naświetla się promieniowaniem rentgenowskim poprzez odpowiednio zaprojektowaną maskę. W kolejnym etapie produkcji naświetlony materiał poddawany jest wywołaniu, co skutkuje uzyskaniem kształtu formy. Jest ona wykorzystywana do nakładania materiału na podłoże. Po jej usunięciu na podłożu zostaje pożądany, trójwymiarowy kształt [21]. Szczegółowy opis wymienionych wyżej procesów można znaleźć w dość obszernej literaturze dotyczącej mikroelektroniki [22]. Na rysunku 9 przedstawiono przykłady różnych elementów wykonanych w opisanych technikach, a mających duże znaczenie dla funkcjonowania mikrosystemów typu Lab-on-a-Chip. Zastosowanie i przyszłość systemów Lab-on-a-chip Wykorzystywanie miniaturowych urządzeń w analizie chemicznej czy biochemicznej jest jedną z najprężniej rozwijających się dziedzin nowoczesnych technik analitycznych. Od początku XXI wieku w USA, Japonii oraz w Europie nastąpiło gwałtowne przyspieszenie badań naukowych nad zminiaturyzowanymi systemami analitycznymi, połączonymi bardzo często z szybkimi wdrożeniami do produkcji. Głównym zamierzeniem perspektywicznego wykorzystania nowoczesnych systemów typu laboratorium na chipie jest możliwość wy- Rys. 9a. Zdjęcie mikroczujnika cieplno przewodnościowego (TCD katarometr) przeznaczonego do współpracy z mikrochromatografem gazowym [23] Rys. 9b. Zdjęcie tzw. matrycy czujników służącej do jednoczesnej detekcji kilku gazów [24] konywania całego procesu biologicznego lub chemicznego w obrębie jednego µ-układu. Szczególnie zainteresowana zminiaturyzowanymi urządzeniami jest biologia molekularna i komórkowa (np. w badaniach zachowania pojedynczych komórek). Przyszłość diagnostyki opiera się również na mikrochipach wykrywających między innymi mutacje DNA. Naukowcy opracowali system typu Lab-on-a-Chip do wykrywania pojedynczych mutacji w genomie u osoby badanej, odpowiedzialnych za różne choroby genetyczne [27]. Ogromne zapotrzebowanie na miniaturowe laboratoria przeznaczone do diagnostyki medycznej obserwowane jest w krajach, gdzie utrudniony jest dostęp do nowoczesnych laboratoriów medycznych. Proste w obsłudze, niezawodne i stosunkowe tanie laboratoria typu Lab-on-a-Chip w coraz Rys. 9c. Mikroreaktor z dozownikami odczynników [25] Rys. 9d. Mikrozawór wykonany w technice MEMS [26] większym stopniu spełniają to zapotrzebowanie. Przykładem laboratoriów, które są łatwo dostępne, a których obsługa nie wymaga żadnych kwalifikacji analitycznych są glukometry. Umożliwiają one pomiar stężenia cukru w organizmie w warunkach domowych przez osoby chore na cukrzyce. Ponadto, ich cena nie jest wysoka, co sprawia, że każdy może je kupić i z powodzeniem używać. Opracowano również gleukometr [28], który współpracuje z miniaturową pompą insulinową oraz analizator [29] 46 rok 19, nr 2

do określania parametrów krwi pobranej z palca takich, jak np: cholesterol całkowity (TC). Systemy Lab-on-a-Chip mają bardzo duże znaczenie również w przemyśle spożywczym (np. do oceny świeżości artykułów) w przemyśle kosmetycznym (np. do oceny jakości kremów, perfum) w szeroko rozumianej ekologii, w rolnictwie, itd. Przykładów zastosowań systemów Lab-on-a-Chip, czasami bardzo spektakularnych, można przytaczać bardzo dużo. W literaturze specjalistycznej często formułowana jest opinia, że w najbliższych latach rozwój systemów opartych na technice Lab-on-a-Chip może spowodować zmiany cywilizacyjne porównywalne z tymi, jakie zaszły dzięki masowej produkcji mikroprocesorów. To stwierdzenie jest najczęściej odnoszone do Lab-on- -a-chip przeznaczonych do zastosowań biochemicznych medycznych [30,31]. Literatura [1] A. Hulanicki, Współczesna chemia analityczna, Wyd. Naukowe PWN, Warszawa 2001. [2] Ch. T. Culbertson, et al., Anal. Chem., 86 (2014) 95. [3] R. Schaller, IEEE Spectrum VI (1997) 53. [4] T. Thorsen et al., Science 298 (2002) 580. [5] S. D. Senturia, Mikrosystem Design, Springer, Boston/ Dordrecht/London 2001. [6] http://memscyclopedia. org/document/intromems.pdf [7] J. Bubley, Micromachines: Applications Markets and trends, published by Pearson professional Ltd., London UK 1995. [8] http://heim.ifi.uio.no/oddvar/rfmems.htm [9] http://www.docstoc.com/ docs/76971950/mems-in-me- DICINE [10] V. Choudhary, K. Iniewski, MEMS: Fundamental Technology and Applications, CRS Press 2013. [11] N.P. Mahalik, MEMS, Tata McGraw-Hill Education 2008. [12] A. Manz, N. Graber, H.M. Widmer, Sens. Act. B 1 (1990) 244. [13] C.-J. Lu,, Lab Chip, 5 (2005) 1123. [14] D. Lindner, Lab Chip, 1 (2001) 15. [15] S.C. Terry, J. H. Jerman and J. B. Angell, IEEE Trans. Electron Devices 26 (1979) 1880. [16] I. Zubel, Kształtowanie struktur przestrzennych w krzemie metoda trawienia anizotropowego do zastosowań w mikroelektronice, Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2004. [17] J.A. Dziuban: Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2004. [18] D. I. Pomerantz, Anodic bonding, patent US 3397278 (1968). [19] J. Horoszkiewicz, A. Ruszaj, S. Skoczypiec, Inżynieria Maszyn, 16 (2011) 19. [20] J. Sun, Sens. Act. B 141 (2009) 431. [21] M. Karbowniczek, Elektronika Praktyczna (2/2010) 54. [22] R.Ghodssi, P. Lin (eds.), MEMS Materials and Processes Handbook, Springer US 2011. [23] J. M. Łysko et. Al, J.Tel. Inf. Techn. 1 (2005) 94. [24] www.fcm.fraunhofer.de/ en/beispiele11/low_cost [25] S. Haeberlea, R. Zengerleab Lab Chip, 7 (2007) 1094. [26] www.sharfphoto.com [27] S. W. Dutse, N.A. Yusof, Sensors 11 (2011) 5754. [28] L. Leoni, T. A. Desai, Adv. Drug Delivery Rev., 56 (2004) 211. [29] S. Aravamudhan et al., Biosens. Bioelectron., 22 (2007) 2289. [30] S. Neethirajan et al., Lab Chip, 11 (2011) 1574. [31] T. James, Sensors, 8 (2008) 6077. * Politechnika Łódzka, Instytut Chemii Ogólnej i Ekologicznej, ikocemba@p.lodz.pl Dokończenie ze str. 40. Każdą porcję przenosi się do odpowiedniej objętości bulionu wzmocnionego dla drobnoustrojów rodzaju Clostridium i inkubuje w warunkach beztlenowych przez 48 godz. w temperaturze 30-35 o C. Po inkubacji wykonuje się posiew, z każdej probówki na agar Columbia i ponownie inkubuje w warunkach beztlenowych w takiej samej temperaturze przez 48-72 godz. Wzrost koloni w warunkach beztlenowych na agarze z obydwu części próby: ogrzanej i nieogrzanej wykazujących brak reakcji na katalazę wskazuje na obecność drobnoustrojów rodzaju Clostridium. Ostatnim etapem wykrywania obecności określonych drobnoustrojów jest potwierdzenie cech biochemicznych kolonii wyrosłych na stałych podłożach selektywnych w testach identyfikacyjnych. Produkt spełnia wymagania jeżeli nie obserwuje się wzrostu charakterystycznych kolonii na podłożu wybiórczym lub gdy badania identyfikacyjne są ujemne. Pomimo ograniczeń obecnych klasycznych metod badań mikrobiologicznych, akceptacja nowych i potencjalnie lepszych metod jest powolna. Przypuszcza się, że przyczyn powolnego wprowadzania nowych technologii do badań mikrobiologicznych należy upatrywać w trudnościach w ocenie i walidacji tych metod, które mogłyby zastąpić wiele klasycznych technik mikrobiologicznych. Farmakopea Polska dopuszcza stosowanie alternatywnych procedur mikrobiologicznych oraz metod zautomatyzowanych o ile zostanie wykazana ich równoważność z metodami farmakopealnymi. Literatura [1] Prawo farmaceutyczne Ustawa z dnia 6 września 2001 (Dz.U. 2001 nr 126 poz. 1381 z p. zmianami). [2] Farmakopea Polska Wydanie IX (2011), Tom 1. [3] Rozporządzenie Ministra Zdrowa z dn. 1 X 2008 w sprawie wymagań Dobrej Praktyki Wytwarzania Dz.U. nr 184 Poz.1143 z późniejszymi zmianami. [4] Jadwiga Marczewska, Krystyna Mysłowska, Podłoża hodowlane. LAB. 6/2013. [5] Materiały dla Studiów Podyplomowych Farmacja Przemysłowa. Sesja V, Mikrobiologia 1-2 marca 2013. rok 19, nr 2 47