Załącznik Nr 2 d Zapytania fertweg nr 4.6/20.01.15/4 z dnia 20.01.2015 Opis technlgii wyknania Systemu 1. INSTALACJA CHŁODZENIA PIECÓW Instalacja w biegu zamkniętym z dwma układami hydraulicznymi; pierwtny - wdny (instalacja chłdzenia pieców) i wtórny - gliklwy (chłdzenie wdy). D schłdzenia: dwa piece FCVD na pzimie 0,00 i jeden w wieży na pzimie +10,90. Dla każdeg pieca ddzielna instalacja chłdzenia składająca się z wymiennika płytweg wda-glikl, pmpy biegwej, zawrów dcinających, zwrtnych i regulacyjnych, pmiaru temperatury i ciśnienia. Czynnik chłdzenia wda parametry wdy zasilanie +15 +20 C pwrót +30 C różnica temperatur +10 C Charakterystyka instalacji piec FCVD nr 1 i nr 2 ciepł d dprwadzenia 30 kw wymagany przepływ przez piec 35 l/min (wcześniej 45 l/min) ciśnienie przed piecem 4 bar średnica rur 35 mm Piec na wieży ciepł d dprwadzenia 40 kw wymagany przepływ przez piec 50 l/min ciśnienie przed piecem 6 bar średnica rur 54 mm Chłdzenie wdy jeden agregat firmy Aermec typ NRL350FE04. Agregat mcy 96kW z dwma biegami chłdniczymi (dwie sprężarki spiralne)z kmpletnym mdułem hydraulicznym z pdwójną pmpą biegwą z układem freecling. Czynnik chłdzący glikl etylenwy Parametry gliklu wylt +15 C wlt +21 C różnica temperatur +6 C Chłdzenie wdy dla temperatur pwietrza zewnętrzneg niższych d 15 C - układ freecling Chłdzenie latem chiller Chłdzenie awaryjne włączenie autmatyczne, układ twarty, wda z wdciągu (ciśnienie w sieci 4 bar) z pmpą wyskciśnieniwą, pmpa awaryjna zasilana przez UP. Wszystkie pmpy wdy zstaną umieszczne w dedykwanym pmieszczeniu w budynku Scrubbera. Rury między labratrium, a pmieszczeniem Scrubbera będą prwadzne estakadą.
2. STACJA UZDATNIA WODY Układ technlgiczny zlkalizwany w pmieszczeniu bk scrubbera (ELMAT / BDS_?) Technlgia parta jest na następujących prcesach: 1. Wstępnej filtracji mechanicznej, 2. Filtracji mechaniczn-węglwej, 3. Zmiękczaniu, 4. Filtracji antyklidalnej 5. Dzwaniu NaOH 6. Demineralizacji metdą RO, 7. Odgazwaniu membranwym 8. Dejnizacji metdą EDI 9. Stabilizacja jakści w urządzeniu MILIPURE 10. Retencji wdy z pduszką aztwą 11. Układzie pdnszenia ciśnienia. 12. Stabilizacja kńcwa jakści wdy na złżu mieszanym Parametry wdy E DI Wymagana jakść jednstka Parametr analizy Wda surwa wdy zasilającej Twardść gólna 220 (RZE: 245) < 1 mgcaco 3 /dm 3 Przewdnść 400 (RZE: 543) < 0,05 µs/cm Odprnść 0,005 > 18,2 MΩ/cm Wydajnść SUW - Q hmax = 0,1 m 3 /h Miejsca dprwadzenia wdy miękkiej i EDI raz wymagany przepływ Wda Urządzenie Przepływ Wda EDI Tube Washer 60 l/min przez 45min 2.7m3/h (1 cykl) Wda miękka Scrubber 80 l/h (pbór ciągły) Glass Saw 10 l/min (w trakcie mycia) Układ musi zapewnić wyknanie c najmniej 2 cykli myjących w tygdniu. 2
3. KANALIZACJA SANITARNA 3.1. Tube Washer Z Tube Washer wda trafia grawitacyjnie d sieci kanalizacji sanitarnej lub d zbirnika zewnętrzneg, bezdpływweg pj. czynnej 3 m 3, z któreg będzie wypmpwywana d neutralizacji. Na kanalizacji zstaną zabudwane dwie zasuwy żeliwne, które pzwalają kierwać ścieki d kanalizacji lub zbirnika. Zasuwy wypsażne będą w wskaźnik twarcia. Średnica 2 FTP, przepływ 20 GPM (galn per minute) Pmiar ścieków zgdnie z warunkami w zewnętrznej studzience. (?) 3.2. Scrubber Odpływ grawitacyjny dn 63 mm ze zbirnika neutralizatra bezpśredni d sieci kanalizacji sanit. 3.3. Glass Saw Zużyta wda kierwana będzie kierwana grawitacyjnie d studzienki (sadnika) na zewnątrz i dalej d kanalizacji sanitarnej 3.4. Zlew pd schdami. 4. SPRĘŻONE POWIETRZE Zaptrzebwanie na zwykłe sprężne pwietrze (CA) Miejsca pdpięcia: - Prf Test 6 bar, fi 10 mm, 9 m3/h. - Tkarka szkła (GWL) 6 bar, - Myjka Tub (Tube Washer) 6 bar, 3/8 FTP - Szafa Gazów (Gas Cabinet) 6 bar, 1/4 Swagelk - Scrubber 6 bar, ½ - Lampy UV wieża 10 bar, fi 12 mm, 125 l/min, wyskść: 300 mm. - Odbiór włókna (Take Up) wieża 6 bar, fi 6mm, 100 l/min, wyskść: -450 mm. - Zawry pneumatyczne w układzie dystrybucji chlrwców: 6 bar Zaptrzebwanie na CA wyskiej jakści Specyfikacja CA wyskiej jakści: - rzmiar cząsteczek: 1.0 um, - kncentracja cząsteczek: 1.0 mg/m3. - zawartść lei: 0.1 mg/m3, - temp. punktu rsy: -20degC Miejsce pdpięcia: - Układ dystrybucji akrylu (na wieży) (wyskść 3200 mm). Przepływ 50 l/min, Ciśnienie 10 bar, Średnica króćca d pdpięcia OD 12 mm. 3
5. WENTYLACJA MECHANICZNA Centrale wentylacyjne nawiewn-wywiewne w wyknaniu higienicznym z filtrami EU9, wymiennikami brtwymi, nagrzewnicą wdną, chłdnicą frenwą, kmrą mieszania. Nagrzewnice zasilane instalacją ciepła technlgiczneg z ktłwni, chłdnice zasilane z agregatów skraplających frenwych. CLEANROOM: Instalację wentylacji pmieszczeń typu Cleanrm bliczn na pdstawie krtnści wymian. W labratrium wydrębnin cztery układy wentylacyjne: - pmieszczenie z wieżą 8 wymian/h - pmieszczenie z FCVD 8 wymian/h - pmieszczenie z Tube Washer 5 wymian/h - pmieszczenie pmiarów 20 wymian/h (??) Nie ma większeg wymagania na czystść standard jak w pzstałych. Ddatkw przedstawin je na pniższym rysunku. Klrem białym znaczn pmieszczenia, gdzie będzie cleanrm. Pmieszczenia gdzie nie będzie cleanrmu (znaczne pwyżej na żółt) muszą być wentylwane. Są t dwa magazynki na szklane tuby i akryl, układ dystrybucji chlrwców raz pmieszczenia scjalne. Ilści pwietrza nawiewaneg i wywiewaneg raz rzmieszczenie wywiewów muszą być dbrane tak, aby wymusić ruch pwietrza ze stref białych d żółtych w warunkach spczynkwych. 4
WIEŻA: Zapewnienie najwyższej jakści pwietrza na wieży, na dcinku między dłem pieca, a pczątkiem strefy nakładania akrylwej pwłki zewnętrznej. Strefa ta zstała pkazana na pniższym rysunku klrem niebieskim. Rbcze strefy wieży będą za drzwiami z przeźrczysteg, absrbująceg ciepł materiału, jak pkazan pniżej. Zapewnienie wyskiej klasy pwietrze będzie następwał przy pmcy bczneg nawiewu, któreg schemat idewy zstał przedstawiny pniżej. Zgdnie z pwyższymi rys. nawiew musi gwarantwać czystść pwietrza w siach pinwych, wzdłuż których jest wyciągane włókn (na rysunku pwyżej znacznych symblem ). Odległść między siami t 1750mm. Nawiew pwierza w górnej części pmieszczenia z wieżą (pd dachem), w celu uniknięcia grmadzenia się tam niebezpiecznych parów raz zachwania bardz wyskiej czystści. 5
Chłdzenie lamp UV W pmieszczeniu z wieżą przewidzian ddatkw zespły wentylacyjne (nawiew i wywiew) wypsażne w filtry i nagrzewnice elektryczne d wentylacji lamp UV znajdujących się na wieży. Zespły wentylacyjne dbran dla parametrów Przepływ pwietrza: min. 2000 m3/h (wartść pprawina z pprzedniej 1602 m3/h), nadciśnienie na lampę: 2800 Pa. Średnice wltu/wyltu pwietrza t 315 mm. Temperatura pwietrza na wlcie: 17 30 C. Wilgtnść pwietrza na wlcie: 0 70% Rh. Temperatura pwietrza na wylcie: 50 60 C. Ważna jest filtracja pwietrza w celu uniknięcia zanieczyszczeń (mgących pwdwać uszkdzenia). Chłdzące pwietrze pwinn być filtrwane przy użyciu filtra z min. średnią wydajnścią ASHRAE 34 %, c dpwiada min wydajnści NIST 60%. Rzmieszczenie układu chłdzenia lamp na wieży zstał przedstawine pniżej. Punkty 01/02 t wlt i wylt pwietrza chłdząceg. Wentylacja układu dystrybucji akrylu Szafa z akrylem psiada fabrycznie wmntwany wentylatr w celu usuwania wszelkich parów akrylu. Wyskść umiejscwienia szafy t 3200 mm. 6
Przepływ parów: 530 m3/h. Średnica krućca 125 mm. Pwietrze t jest czerpane z cleanrmu. Należy je uwzględnić przy całkwitym bilansie pwietrza w pmieszczeniu. Wydech kierwany jest na zewnątrz budynku. Należy zapewnić brak cfania pwietrza z zewnątrz d cleanrmu. FCVD: W pmieszczeniu z FCVD zespół wentylacji gólnej nawiewn-wywiewnej sprzężny zstanie z wyciągami z kapów: FCVD HOOD 2 x 500 m 3 /h i GWL HOOD 1000 m 3 /h (średnice fi 400 mm). Wyciągi kapów Hd zstaną wyknane instalacją z twrzywa. Ddatkw instalacja dprwadzająca zanieczyszczenia z pieców FCVD d Scrubbera zstanie wyknana z twrzywa. Należy zapewnić zapbiec cfaniu się parów z Hdów d pmieszczenia cleanrm. Należy sknfigurwać pracę Hdów z pracą znajdujących się w nich sprzętów (FCVD x2, GWL). Hdy będą pracwać razem z umieszcznych w nich sprzętem raz d 20min p skńczeniu pracy z palnikiem. Wentylatry w instalacji pwinny być dwubiegwe, wyższy bieg włączany autmatycznie p wykryciu wycieku Cl. Muszą być wyknane również ddatkwe rury elastyczne, służące jak dkurzacze awaryjne w przypadku wycieku. TUBE WASHER: W pmieszczeniu Tube Washer wentylacja pmieszczenia Cleanrm sprzężna zstanie z wyciągami z Tube Washer (myjki) jeden wyrzut pwietrza 200 m 3 /h i drugi 1200 m 3 /h. Wyciągi z myjki wyknane zstaną instalacją z twrzywa. Wyciągi będą pracwać 24 h na dbę. Pmieszczenie pmiarów bsługuje niezależna wentylacja nawiewn-wyciągwa. W pmieszczeniach CLEANROOM d nawiewu pwietrza zaprjektwan mdułwe nawiewniki laminarne. Przy nawiewnikach zstaną zamntwane filtry H13. D regulacji ilści pwietrza zastswan regulatry zmienneg wydatku typ TVJ-EASY dla kanałów prstkątnych raz typ TVR-EASY dla kanałów krągłych. Nawiewniki należy zlicwać na gładk z pwierzchnią pdsufitki. Wywiew pwietrza będzie realizwany za pmcą kratek ściennych ze skrzynkami rzprężnymi. Przy wywiewnikach należy zamntwać filtry abslutne H13. Kratki wywiewne należy zamntwać 20 cm nad pdłgą. D regulacji ilści pwietrza raz utrzymywania gradientu ciśnień zastswan regulatry zmienneg typ TVR-EASY. Sieć kanałów wentylacyjnych nawiewnwywiewnych wyknać z blachy stalwej cynkwanej typ A z uszczelkami. Kanały typu Spir są zabrnine. Stswać kanały klasy B szczelnści zgdnie z nrmą PN-B- 76001 i klasy S wyknania, zgdnie z nrmą PN-B-03434. SCRUBBER: Knieczna jest wentylacja dwustpniwa. Pierwszy stpień wentylacja w pracy cdziennej, drugi stpień wentylacja w przypadku awarii (znacznie wydajniejsza). Knieczne jest zbudwanie 7
dpwiednieg kmina dprwadzająceg pary ze Scrubbera na zewnątrz. Przykładwe parametry kmina używaneg w Silitec przedstawin pniżej: Średnica zewnętrzna 270 mm. Całkwita wyskść w Silitec 12.5 m u nas zapewne mniejsza, w zależnści d prjektu. W kminie czujniki HCl/Cl2. Knieczny wymuszny przepływ zapbiegnięcie cfaniu się spalin. Kmin zgdny z wymaganiami lkalnych regulacji prawnych - Współpraca architektów z BDS pzwlenie budwlane. - Temperatura w Scruberze pwinna wynsić 15 20 C. 6. UKŁAD ODPROWADZANIA ODPADÓW Z PROCESU DO SCRUBBERA Prefrmiarki FCVD (prces) Wymagania (na 1 prefrmiarkę): - Plastikwa (PCV) rura ø 60 mm. - Przepływ dpadów: 100 m3/h. - Rura przy stacji FCVD pwinna być wypsażna w klan elastyczne (rzstaw kńcówek tkarki jest ustawiany w zależnści d wielkści mntwanej tuby substratwej), dprne mechanicznie na ruch psuwist zwrtny. - Cała natmiast dprna chemicznie (na Cl2, SiO2, etc.). - Elastyczna rura dkurzacza awaryjneg, w przypadku wycieku chemikaliów - Takie same wymagania dla bydwu prefrmiarek. - WAŻNE: Knfiguracja sterwników PLC Scrubbera z sterwnikiem FCVD. W przypadku awarii Scrubbera, FCVD musi zstać zatrzymane. Gas Cabinet Wymagania: Płączenie AWARYJNE: - plastikwa (PCV) rura ø 90. Płączenia wentylujące Gas Cabinet (x2) dwie linie, b dwie stacje FCVD. - plastikwe rury. - króćce ¼ VCR. - przepływ: 2 l/min (każdy) Układ dystrybucji chlrwców Wymagania: - Płączenie stswane przy przedmuchiwaniu układu - rury dsysające na wyskści zawrów wyltwych z kntenerów na chlrwce, w celu dessania ewentualnych wycieków pdczas zmiany butli UWAGI OGÓLNE: 8
- Rury pwinny być kierwane d Scrubbera pd sufitem w linii prstej. - Należy uniknąć wszelkich syfnów (ryzyk sadzania się krzeminki i twrzenia się zastisk Cl2). - Pwinn się zminimalizwać liczbę zakrętów rur d Scrubbera (pdciśnienie na wyjściu z prefrmiarki nie mże być niższe 150Pa). - Nie ma ptrzeby mntwania wentylatrów napęd będzie zapewniny przez wentylatry w Scruberze (pdciśnienie -150-250 Pa). - W przypadku zgięć rur kąt 90deg pwinn się tak zaprjektwać zgięcie, by uniknąć grmadzenia się w nim dpadów. - Dstęp d rur (kna rewizyjne, dpwiedni uszczelnine) w celu ich kresweg czyszczenia (przede wszystkim w miejscach zagięć). - Rury między labratrium, a pmieszczeniem Scrubbera będą prwadzne estakadą. - Wlt d Scrubbera przedstawin na rys niżej: - Średnica wltu d Scrubbera t fi 180 mm. 7. UKŁAD BEZPIECZEŃSTWA Detekcja H2 Knieczny jest główny zawór wdru elektrzawór nrmalnie zamknięty, sprzęgnięty z czujnikami H2. Knieczny kntakt z Linde. Knieczne są systemy detekcji H2 w pmieszczeniu ze stacjami FCVD. W przypadku wykrycia wycieku autmatyczne zamknięcie główneg zawru. Ilść detektrów zgdnie z lkalnymi wymaganiami i gemetrią budynku. Detektry umieszczne na suficie i w kapach. Detekcja HCl/Cl 2 Detektry w każdy z pmieszczeń gdzie mamy d czynienia z HCl/Cl2 (Scrubber, FCVDx2, szafa gazów, układ dystrybucji chlrwców (SiCl4 i GeCl4)). Ilść detektrów zależna d lkalnych regulacji i gemetrii pmieszczeń. Detektry umieszczne 30cm nad pdłgą. Detekcja HF 9
Detekcja O2 Detektry umieszczne tuż przy Tube Washer. Detektry zapewne umieszczne przy suficie. Czujniki umieszczne przy palnikach i C2F6. Pżar Detektry dymu w każdym z pmieszczeń. Czujniki dymwe, klapy ppż. Niezalecany instalacje tryskaczwe. Wda w płączniu z Cl2 stwrzy HCl, Duże zagrżenie pżarem: duże kawałki kwarcu temp 2000 C, duże piece, palniki H2/O2. Inne Oczmyjki i prysznic w pmieszczeniu Scrubbera, przy układzie dystrybucji chlrwców raz przy myjce tub (HF). PRZYKŁADOWE INSTRUKCJE POSTĘPOWANIA W TRAKCIE AWARII Detekcja H2 Wyświetlenie kmunikatu EWAKUACJA, panele z didami zapalanymi w zależnści d alarmu, w pmieszczeniu z wieżą, przy biurkach na antresli, w pmieszczeniu pmiarwym i przy FCVD. Syreny i lampy strzegawcze, Autmatyczne zamknięcie elektryczneg zasilania w całym LAB. ZAGROŻENIA: Eksplzja, pżar, ZACHOWANIE: Natychmiastwa ewakuacja budynku (wszystkich LAB). Detekcja Cl 2 /HCl / HF Wyświetlenie kmunikatu ALARM CHLORU / HF, panele z didami zapalanymi w zależnści d alarmu, w pmieszczeniu z wieżą, przy biurkach na antresli, w pmieszczeniu pmiarwym i przy FCVD. Syreny i lampy strzegawcze, ZACHOWANIE: Natychmiastwa ewakuacja LAB. Pżar Syreny i lampy strzegawcze we wszystkich labratriach całe jajk. ZAGROŻENIA: Płmienie, utrata przytmnści, brak tlenu, ZACHOWANIE: Natychmiastwa ewakuacja wszystkich LAB. 8. PRZECHOWYWANIE C2F6 Butle z C2F6 będą przechwywane w specjalnie zaprjektwanym i wyknanym małym pmieszczeniu w pmieszczeniu Tube Washer (myjka tub). Pkik ten ma być szczelny, w przypadku wycieku C2F6, czujnik tlenu (umieszczny przy pdłdze w tym pmieszczeniu) twrzy przepustnicę d pmieszczenia chlrwców, przesyłając tam C2F6. Umiejscwienie pmieszczenia na C2F6 przedstawin na rys niżej (czerwny kwadrat). 10
Pwiększenie: 11