Próżnia w badaniach materiałów

Podobne dokumenty
Technika próżni / Andrzej Hałas. Wrocław, Spis treści. Od autora 9. Wprowadzenie 11. Wykaz ważniejszych oznaczeń 13

Spektrometria mas (1)

Masowo-spektrometryczne badania reakcji jonowo-molekularnych w mieszaninach amoniaku i argonu

ZASTOSOWANIA SPEKTROMETRII MAS W CHEMII ORGANICZNEJ I BIOCHEMII WYKŁAD I PODSTAWY SPEKTROMETRII MAS

SPEKTROMETRIA IRMS. (Isotope Ratio Mass Spectrometry) Pomiar stosunków izotopowych (R) pierwiastków lekkich (H, C, O, N, S)

Jonizacja plazmą wzbudzaną indukcyjnie (ICP)

Schemat ideowy spektrometru mas z podwójnym ogniskowaniem przedstawiono na rys. 1. Pierwsze ogniskowanie według energii jonów odbywa się w sektorze

dobry punkt wyjściowy do analizy nieznanego związku

Frialit -Degussit Ceramika tlenkowa Jednostka akceleratora cząstek

Ruch ładunków w polu magnetycznym

Polska Nr referencyjny nadany przez Zamawiającego WPT /1/2013 CZEŚĆ III OPIS PRZEDMIOTU ZAMÓWIENIA

Różne dziwne przewodniki

Podstawy akceleratorowej spektrometrii mas. Techniki pomiarowe

Frialit -Degussit Ceramika tlenkowa Komora próżniowa

Chromatograf gazowy z detektorem uniwersalnym i podajnikiem próbek ciekłych oraz zaworem do dozowania gazów

PVD-COATING PRÓŻNIOWE NAPYLANIE ALUMINIUM NA DETALE Z TWORZYWA SZTUCZNEGO (METALIZACJA PRÓŻNIOWA)

VarioDry SPN

Theory Polish (Poland)

34;)/0/0<97=869>07* NOPQRSPTUVWX QYZ[O\O]^OU_QRYR`O /986/984:* %*+&'((, -1.*+&'((,

Zastosowanie spektroskopii masowej w odlewnictwie

ZASTOSOWANIA SPEKTROMETRII MAS W CHEMII ORGANICZNEJ I BIOCHEMII

Procesowy Spektrometr Masowy

Identyfikacja cząstek

FRIALIT -DEGUSSIT ZAAWANSOWANA CERAMIKA IZOLATOR DO ŹRÓDŁA JONÓW

Wytwarzanie próżni Jakich pomp użyć do uzyskania pożądanej próżni? Ważne kryterium podziału procesów, w których potrzebna jest próżnia: brak lub obecn

Identyfikacja węglowodorów aromatycznych techniką GC-MS

Ćwiczenie 57 Badanie absorpcji promieniowania α

Łukowe platerowanie jonowe

Źródło typu Thonnemena dostarcza jony: H, D, He, N, O, Ar, Xe, oraz J i Hg.

Energetyka konwencjonalna odnawialna i jądrowa

Zawory z gniazdem kątowym VZXF

Opis przedmiotu zamówienia

Wykład FIZYKA II. 3. Magnetostatyka. Dr hab. inż. Władysław Artur Woźniak

2. Metody, których podstawą są widma atomowe 32

Fizyka cząstek elementarnych warsztaty popularnonaukowe

Przegląd technologii produkcji tlenu dla bloku węglowego typu oxy

Karta katalogowa DS34. Przełącznik ciśnieniowy różnicowy DB_PL_DS34 ST4-A 12/15 * *

Budowa prototypu aparatury do prowadzenia reakcji pod zwiększonym ciśnieniem (10 barów).

FIZYKOCHEMICZNE METODY USTALANIA BUDOWY ZWIĄZKÓW ORGANICZNYCH PODSTAWY SPEKTROMETRII MAS

dn dt C= d ( pv ) = d dt dt (nrt )= kt Przepływ gazu Pompowanie przez przewód o przewodności G zbiornik przewód pompa C A , p 1 , S , p 2 , S E C B

Modele atomu wodoru. Modele atomu wodoru Thomson'a Rutherford'a Bohr'a

Analiza aktywacyjna składu chemicznego na przykładzie zawartości Mn w stali.

LABORATORIUM WSPÓŁCZESNYCH TECHNIK EKSPERYMENTALNYCH w FIZYCE

Skaningowy Mikroskop Elektronowy. Rembisz Grażyna Drab Bartosz

Spektrometria mas w badaniu. dr hab. Andrzej Kotarba, prof. UJ mgr Piotr Legutko, inż.

26 Okresowy układ pierwiastków

Pracownia Jądrowa. dr Urszula Majewska. Spektrometria scyntylacyjna promieniowania γ.

Fizyka 3. Konsultacje: p. 329, Mechatronika

Proteomika. Spektrometria mas. i jej zastosowanie do badań białek

Wiązka elektronów: produkcja i transport. Sławomir Wronka

Schemat elektryczny Range Rover Evoque łatwiejsza naprawa dzięki cennym wskazówkom

ET AAS 1 - pierwiastkowa, GW ppb. ICP OES n - pierwiastkowa, GW ppm n - pierwiastkowa, GW <ppb

SPECYFIKACJA TECHNICZNA ZESTAWU DO ANALIZY TERMOGRAWIMETRYCZNEJ TG-FITR-GCMS ZAŁĄCZNIK NR 1 DO ZAPYTANIA OFERTOWEGO

Uniwersalny Spektrometr Masowy UMS

Schemat elektryczny Škoda Fabia

CZĘŚĆ III OPIS PRZEDMIOTU ZAMÓWIENIA

Co to jest spektrometria mas?

UDOSKONALONY SPEKTROMETR MASOWY

Rozpylanie powierzchni - emisja jonów. Emisja jonów a emisja atomów neutralnych. Emisja jonów a emisja atomów neutralnych

Wózek serwisowy B057R.. / B058R.. Seria Compact. Dla łatwej konserwacji w rozdzielnicy wysokiego napięcia B057R.. / B058R.. Wózki serwisowe gazu SF 6

Zestawy pompowe PRZEZNACZENIE ZASTOSOWANIE OBSZAR UŻYTKOWANIA KONCEPCJA BUDOWY ZALETY

Wybrane zagadnienia fizyki jądrowej i cząstek elementarnych. Seweryn Kowalski

Fizyka 1 Wróbel Wojciech

OPIS PRZEDMIOTU ZAMÓWIENIA. Spektrometru ICP MS ze wzbudzeniem w plazmie indukcyjnej sprzężonej z detektorem mas wraz z niezbędnym wyposażeniem UWAGA!

Natężenie prądu elektrycznego

2008/2009. Seweryn Kowalski IVp IF pok.424

Palniki gazowe Palniki 2-paliwowe. Palniki gazowe. Seria RG GG MG. Palniki 2-paliwowe. Seria MK

Seria Mini. Wózek serwisowy. Dla efektywnego postępowania z gazem SF 6 na małych komorach gazowych

II. Kwadropulowy detektor masowy:

FRIALIT -DEGUSSIT ZAAWANSOWANA CERAMIKA KOMORA PRÓŻNIOWA DO MAGNESÓW DIPOLOWYCH

Badanie własności hallotronu, wyznaczenie stałej Halla (E2)

Repeta z wykładu nr 8. Detekcja światła. Przypomnienie. Efekt fotoelektryczny

Wiązania chemiczne. Związek klasyfikacji ciał krystalicznych z charakterem wiązań atomowych. 5 typów wiązań

Czujniki różnicy ciśnienia

Schemat elektryczny Volvo XC 90 II

Schemat pojazdu BMW 3 łatwiejsza naprawa dzięki cennym wskazówkom

Dotyczy: przetargu nieograniczonego powyżej euro Nr sprawy: WIW.AG.ZP na dostawę i montaż urządzeń laboratoryjnych.

Instrukcja obsługi. Model

Podstawy fizyki subatomowej. 3 kwietnia 2019 r.

Stany skupienia materii

ZAPLECZE LABORATORYJNO-TECHNICZNE Wydział Nauk o Ziemi i Gospodarki Przestrzennej UMCS

Fizyka powierzchni. Dr Piotr Sitarek. Katedra Fizyki Doświadczalnej, Wydział Podstawowych Problemów Techniki, Politechnika Wrocławska

Przetworniki ciśnienia typu MBS - informacje ogólne

U R Z Ą D Z E N I A D O R E G E N E R A C J I F I L T R Ó W D P F F A P K A T A L I Z A T O R Y A D B L U E D P F A T E G O A C T R O S

Ramka z prądem w jednorodnym polu magnetycznym

Meraserw-5 s.c Szczecin, ul.gen.j.bema 5, tel.(91) , fax (91) ,

Zjawisko Halla Referujący: Tomasz Winiarski

Metody chromatograficzne w chemii i biotechnologii, wykład 5. Łukasz Berlicki

Podstawy chromatografii i technik elektromigracyjnych / Zygfryd Witkiewicz, Joanna Kałużna-Czaplińska. wyd. 6-1 w PWN. Warszawa, cop.

RAPORT Z POMIARÓW PORÓWNAWCZYCH STĘŻENIA RADONU Rn-222 W PRÓBKACH GAZOWYCH METODĄ DETEKTORÓW PASYWNYCH

Jak działają detektory. Julia Hoffman

CZĄSTECZKA. Do opisu wiązań chemicznych stosuje się najczęściej jedną z dwóch metod (teorii): metoda wiązań walencyjnych (VB)

CZĄSTECZKA. Do opisu wiązań chemicznych stosuje się najczęściej metodę (teorię): metoda wiązań walencyjnych (VB)

Główne lokalizacje w Polsce:

VIGOTOR VPT-13. Elektroniczny przetwornik ciśnienia 1. ZASTOSOWANIA. J+J AUTOMATYCY Janusz Mazan

SPEKTROMETRIA CIEKŁOSCYNTYLACYJNA

Prawa gazowe- Tomasz Żabierek

Zapytanie ofertowe (RfQ) nr. 18/2017/O/JAK1

Transkrypt:

Próżnia w badaniach materiałów Pomiary ciśnień parcjalnych Konstanty Marszałek Kraków 2011

Analiza składu masowego gazów znajduje coraz większe zastosowanie ze względu na liczne zastosowania zarówno w technice próżniowej jak i fizyce, chemii, biologii oraz technologii i wielu innych zastosowaniach w których znajomość składu masowego (chemicznego) gazów ma istotne znaczenie. W 1897 roku Thomson wyznaczył stosunek ładunku do masy dla elektronu i dopiero w latach 50 ubiegłego wieku pojawiła się duża ilość różnorodnych spektrometrów masowych mających zastosowanie w technice próżniowej. Jednym z nich był spektrometr kwadrupolowy opracowany w 1958 przez Paula i Steinwelda. 2

W spektrometrach masowych wykorzystuje się oddziaływanie pola elektrycznego lub magnetycznego na naładowane cząstki w ten sposób aby cząstki różniące się stosunkiem ładunku do masy poruszały się po różnych trajektoriach. W związku z powyższym tylko cząstki naładowane lub zjonizowane mogą być poddane separacji masowej. Wszystkie procesy prowadzące do zmiany stanu ładunkowego cząstki będziemy nazywali jonizacją. 3

Wybór sposobu jonizacji zależy od próbki oraz rodzaju informacji jakie chcemy uzyskać. Możemy wyodrębnić kilka procesów prowadzących do jonizacji takich jak: Jonizacja w fazie gazowej Jonizacja elektronowa Jonizacja przy pomocy mikrofal Jonizacja chemiczna Desorpcyjna jonizacja chemiczna Jonizacja chemiczna jony ujemne Bombardowanie jonowe Jonizacja polowa Desorpcja jonowa Desorpcja laserowa 4

Jonizacja elektronowa jest najstarszym i najlepiej opisanym sposobem jonizacji. Wiązka elektronowa przelatując przez fazę gazową próbki ulega zderzeniom z molekułami powodując wybicie kolejnego elektronu a tym samym zamianę stanu ładunkowego molekuły na dodatni. W trakcie takiego oddziaływania może nastąpić również rozerwanie wiązań molekularnych i zmiana masy jonu w stosunku do pierwotnej molekuły. Potencjał jonizacji odpowiada energii elektronu wystarczającej do jonizacji molekularnej. W większości spektrometrów używa się elektronów o energii 70eV. Zwiększenie energii elektronów redukuje stopień fragmentacji ale zmniejsza również ilość wytworzonych jonów. 5

Kwadrupolowy spektrometr masowy firmy SRS układ jonizatora 6

Energia progowa dla jonów argonu Wydajność jonizacji w zależności od energii elektronów dla różnych gazów 7

Fragmentowanie cząstek przy energii elektronów 75 i 102 ev 8

Względne prawdopodobieństwo jonizacji odniesione do azotu przy energii elektronów 102 ev 9

Porównanie jonizacyjnej głowicy ekstraktorowej ze spektrometrem kwadrupolowym 10

Po lewej kubek Faradaya; po prawej powielacz elektronowy 11

Schemat kwadrupolowego spektrometru masowego 12

Schemat detektora spektrometru kwadrupolowego firmy SRS Detektor spektrometru kwadrupolowego firmy SRS widoczny powielacz elektronowy 13

Kwadrupolowy filtr masowy firmy SRS Schemat ideowy kwadrupolowego filtru masowego 14

Symulacja trajektorii jonów - separator kwadrupolowy 15

Symulacja trajektorii jonów - separator kwadrupolowy 16

Zanieczyszczenia pochodzące od oleju pompy próżni wstępnej Dane biblioteczne 17

Skład gazów resztkowych po czyszczeniu komory próżniowej przy pomocy organicznego rozpuszczalnika trójchloroetanu. 18

Symulacja trajektorii jonów - separator magnetyczny 19

Schemat 180 O magnetycznego separatora masowego PhoeniXL 300 przykład zastosowania magnetycznego separatora masowego 20

L 200 przykład układu pompowego dostosowanego do magnetycznego separatora masowego 21

L 200 przykład układu pompowego dostosowanego do magnetycznego separatora masowego 22

Symulacja trajektorii jonów - separator czasu przelotu - reflektron 23

7610.000-VER2.EASM ToF liniowy 24

1 źródło jonów 2 kolektor jonów Zasada działania cykloidalanego spektrometru masowego (Hubert and Trendelenburg 1961) 25

Omegatron (Alpert, Buritz, 1954) a. Schemat poglądowy b. Przekrój c. Schemat elektryczny 26

Zasada działania przetwornika ciśnienia (stopień B przystosowany do konwersji ciśnienia od 1..10 mbar do ciśnienia pracy spektrometru, stopnie A i B umożliwiają konwersje od ciśnienia atmosferycznego do ciśnienia pracy spektrometru. 27

Wpływ martwej przestrzeni na czas odpowiedzi detektora 28

Przewodność różnych kapilar w funkcji ich długości 29

Otwarty i zamknięty układ jonizatora 30

Zasada przyłączania RGA do układu próżniowego 31

Badanie nieszczelności w urządzeniach UHV 1. Naciek przez nieszczelności 2. Gaz desorbowany z powierzchni 3. Naciek + desorpcja gazu 32

Badanie nieszczelności w urządzeniach UHV 33

34

Badanie nieszczelności w urządzeniach UHV 35

Badanie nieszczelności w urządzeniach UHV Pomiar całkowitej nieszczelności próżnia wewnątrz detalu Pomiar całkowitej nieszczelności detal umieszczony w obudowie gaz pod ciśnieniem wewnątrz detalu Pomiar lokalnej nieszczelności próżnia wewnątrz detalu Pomiar lokalnej nieszczelności gaz pod ciśnieniem wewnątrz detalu 36

Uniwersalny spektrometr masowy przystosowany do analizy gazów resztkowych w zakresie ciśnień od 1000 do 10-8 mbar. 37

Monitorowanie próżni oraz regulacja Schemat blokowy systemu pompowego umożliwiającego pracę pompy dyfuzyjnej lub pompy Roots a

Monitorowanie próżni oraz regulacja Schemat dwu i trójstopniowej regulacji poziomu próżni

Monitorowanie próżni oraz regulacja Schemat dwu stopniowej regulacji poziomu próżni przy pomocy próżniowego zaworu dławiącego

Monitorowanie próżni oraz regulacja Zawór motylkowy sterowany pneumatycznie

Monitorowanie próżni oraz regulacja Schemat dwu stopniowej regulacji poziomu próżni przy pomocy zaworu naciekowego

Monitorowanie próżni oraz regulacja Schemat trójstopniowej regulacji poziomu próżni przy pomocy próżniowego zaworu dławiącego i zaworu naciekowego

Monitorowanie próżni oraz regulacja Zastosowanie regulatora membranowego

Monitorowanie próżni oraz regulacja Przełącznik ciśnieniowy PS 115 wysoka dokładność przełączania (+/- 0.1 mbar) stabilna, długotrwała praca odporny na korozję praca aż do 3 bar

Monitorowanie próżni oraz regulacja Regulator membranowy MR 16 / MR 50 łatwe ustawianie ciśnienia odniesienia wysoka dokładność działania odporny na korozję łatwy do rozmontowania dostosowany do pracy w obszarach zagrożonych wybuchem