Uniwersalny Spektrometr Masowy UMS

Transkrypt

1 Uniwersalny Spektrometr Masowy UMS Instrukcja Obsługi wer. 1.4 Maj 2007

2 SPIS TREŚCI UMS SPIS TREŚCI 1. WSTĘP DANE TECHNICZNE INSTALACJA ROZPAKOWANIE MIEJSCE UŻYTKOWANIA PODŁĄCZENIA FUNKCJE URZĄDZENIA OPIS FUNKCJI PANELU KONTROLNEGO MENU GŁÓWNE I FUNKCJE KLAWISZY OPIS FUNKCJI MENU ZABEZPIECZENIA WARUNKI PROGOWE POMIAR TEMPERATURY UŻYTKOWANIE URZĄDZENIA WŁĄCZENIE ZASILANIA START GRUPY POMPOWEJ ZATRZYMANIE GRUPY POMPOWEJ AUTOMATYCZNE ZAPOWIETRZANIE WYGRZEWANIE SYSTEMU TRYB POMIARU MODE WARUNKI GWARANCJI Instrukcja obsługi wer. 1.4 Strona 2

3 1. WSTĘP UMS 1. WSTĘP Uniwersalny Spektrometr Masowy jest urządzeniem próżniowym do badania składu atomowego i cząsteczkowego gazów resztkowych. Zbudowany jest z turbo-molekularnego układu pompowego, sterownika grupy pompowej PCU14 oraz analizatora gazów resztkowych RGA. W skład układu pompowego wchodzą: pompa sucha próżni wstępnej, pompa turbo-molekularna, głowica próżni niskiej oraz układ zaworów, przewodów i przyłączy próżniowych. Sterownik grupy pompowej PCU14 umożliwia sterowanie oraz monitorowanie stanu wszystkich urządzeń niezbędnych do utrzymania wysokiej próżni w ultra czystej komorze. Analizator gazów resztkowych RGA przeprowadza badanie składu atomowego i cząsteczkowego gazów w komorze próżniowej. Wyniki tych badań są przesyłane do komputera klasy PC gdzie następuje ich analiza i wizualizacja. Przed przystąpieniem do pracy należy zapoznać się z instrukcją obsługi oprogramowania kontrolno-pomiarowego UMS. Rys. 1. Uniwersalny Spektrometr Masowy UMS. PCU14 jest kompleksowym urządzeniem składającym się z panelu kontrolnego z wyświetlaczem graficznym umożliwiających sterowanie następującymi urządzeniami wykonawczymi: - głowice do pomiaru próżni niskiej i wysokiej - pompa próżniowa wstępna - pompa próżniowa turbomolekularna - zawór zabezpieczający Safety Valve - SV (normalnie zamknięty) z kontrolą położenie lub bez - zawór zapowietrzający Vent Valve - VV (typ NO lub NC) - sterowanie wygrzewaniem systemu (komora, kapilara) Stan wszystkich urządzeń jest zobrazowany na wyświetlaczu graficznym w postaci schematu próżniowego umożliwiającego łatwą orientację w logice działania urządzenia oraz odczytania aktualnego stanu poszczególnych urządzeń wykonawczych. Instrukcja obsługi wer. 1.4 Strona 3

4 2. INSTALACJA UMS 1.1. DANE TECHNICZNE Zasilanie główne Obsługiwane głowice próżni niskiej Obsługiwane głowice próżni wysokiej Zakres temperatur pracy 230 V AC TTR90 ITR C Wymiary (wys x szer x głęb) 385 x 635 x 330 mm Przyłącze próżniowe DN 40CF Podłączenie kapilary SWAGELOK ¼ Interfejs podłączenia do PC USB INSTALACJA 2.1. ROZPAKOWANIE Rozpakuj urządzenie od razu po dostarczeniu nawet jeśli urządzenie będzie instalowane później. Sprawdź opakowanie pod kątem jakichkolwiek zewnętrznych uszkodzeń. Całkowicie usuń materiał pakujący. Sprawdź czy urządzenie jest kompletne. Jeśli zostanie stwierdzone jakiekolwiek uszkodzenie niezwłocznie poinformuj firmę kurierską oraz ubezpieczyciela. Jeśli zostanie stwierdzone uszkodzenie należy skontaktować się z działem serwisu MIEJSCE UŻYTKOWANIA UMS nie może być użytkowany w miejscach narażonych na bezpośrednie działanie wody jak również innych cieczy. Nie może być użytkowany w miejscach przekraczających dopuszczalny zakres temperatur podanych w danych technicznych rozdz Instrukcja obsługi wer. 1.4 Strona 4

5 2. INSTALACJA UMS 2.3. PODŁĄCZENIA W celu uruchomienia zestawu pompowego należy podłączyć zasilanie za pomocą dostarczonych przewodów do sieci elektrycznej o napięciu 230VAC 50Hz o wydajności min. 10A. Podłączenie zasilania Główny włącznik Zaworek Gas balast Podłączanie termopary typu K Podłączenie zaworu naciekowego Podłączenie zewnętrznej głowicy pomiarowej Podłączanie kapilary Podłączenie do komory próżniowej DN 40CF Gniazdo USB 2.0 Rys. 2. Podłączenia. Instrukcja obsługi wer. 1.4 Strona 5

6 3. FUNKCJE URZĄDZENIA UMS 3. FUNKCJE URZĄDZENIA 3.1. OPIS FUNKCJI PANELU KONTROLNEGO Główną rolą panelu kontrolnego jest sterowanie procesem pompowania zewnętrznej komory próżniowej w sposób zależny od operatora jednak nie zupełnie dowolny, ponieważ konieczne jest zabezpieczenie podzespołów zestawu przed uszkodzeniem. Aktualny stan i konfiguracja układu próżniowego są dynamicznie przedstawiane na wyświetlaczu LCD. Zmiana stanu włączanie i wyłączanie pompowanie, wentylacja itp. jest realizowanie za pomocą klawiszy panelu kontrolnego znajdujących się pod wyświetlaczem LCD. Aktualne funkcje klawiszy są wyświetlane bezpośrednio nad danym klawiszem. Wszystkie funkcje opisane w tej dokumentacji mogą nie być zaimplementowane w dostarczonym urządzeniu ze względu, że oprogramowanie jest zawsze dostosowywane i ustawiane pod konkretny układ wykonawczy, którym PCU14 steruje. Rys. 3. Panel kontrolny PCU14. Instrukcja obsługi wer. 1.4 Strona 6

7 3. FUNKCJE URZĄDZENIA UMS MENU - Przejście do głównego menu START - Otwarcie/zamknięcie zewnętrznej kapilary VENT - Włączenie / wyłączenie grupy pompowej, zapowietrzanie systemu 3.2. MENU GŁÓWNE I FUNKCJE KLAWISZY Rys. 4. Główne menu panelu kontrolnego PCU14 Instrukcja obsługi wer. 1.4 Strona 7

8 3. FUNKCJE URZĄDZENIA UMS 3.3. OPIS FUNKCJI MENU MENU PODMENU FUNKCJA Sformatowana tabela CIŚNIENIE PRESSURE MODE JEDNOSTKA UNIT PRÓG TRIGGER HISTEREZA HYSTERESIS CAPILARY VALVE Wybór jednostki ciśnienia w komorze próżniowej. mbar, torr, pascal Próg włączenia pompy turbo TMP przy pracy automatycznej fabryczne ustawiony na 5.00E+0 mbar Ustawienie histerezy progu włączania pompy turbo. fabrycznie ustawiony na 2.00E+0 mbar Pomiar przez dołączoną kapilarę Pomiar przez zawór naciekowy WYGRZEWANIE BAKEOUT CHAMBER START/STOP CAPILLARY START/STOP Włączenie / wyłączenie wygrzewania komory Włączenie / wyłączenie wygrzewania kapilary CONTRAST Ustalenie poziomu kontrastu DISPLAY BRIGHTNESS Ustalenie poziomu jasności ZAPIS I ODCZYT SAVE & LOAD SCREENSAVER ZAPIS SAVE ODCZYT LOAD ON / OFF Wyłączenie po 15 minutach podświetlania LCD Zapis aktualnych parametrów sterownika Odczyt parametrów z pamięci nieulotnej DEFAULT Powrót do ustawień fabrycznych INFORMACJA INFO SERWIS SERVICE Logo urządzenia - info o wersji oprogramowania Dostęp do parametrów serwisowych chroniony hasłem producenta Instrukcja obsługi wer. 1.4 Strona 8

9 3. FUNKCJE URZĄDZENIA UMS 3.4. ZNACZENIE SYMBOLI GRAFICZNYCH SV OFF - zawór otwarty SV ON - zawór zamknięty - pompa wstępna - pompa turbomolekularna wyłączona - pompa turbomolekularna załączona (mruganie stan rozpędzania pompy) 1.02 E-1 mbar - pomiar próżni Instrukcja obsługi wer. 1.4 Strona 9

10 3. FUNKCJE URZĄDZENIA UMS 3.5. ZABEZPIECZENIA Oprogramowanie panelu wprowadza zabezpieczenia uniemożliwiające wykonanie operacji mogących uszkodzić pompę turbomolekularną, takie jak : kontrola próżni wstępnej blokada zaworów kontrola parametrów pompy turbomolekularnej kontrola zasilania pompy wstępnej 3.6. WARUNKI PROGOWE W celu kontroli procesu i zabezpieczenia zestawu zostały wprowadzone warunki progowe, które zależne są od wskazań mierników próżni, a ich spełnienie sygnalizowane jest inwersją napisu jednostek ciśnienia np. 'mbar' E+2 mbar - nieaktywny 6.22 E-1 mbar mbar - aktywny 3.7. POMIAR TEMPERATURY Urządzenie wyposażone jest w układ pomiaru temperatury oraz termoparę typu K. Rys. 5. Układ pomiaru temperatury. Instrukcja obsługi wer. 1.4 Strona 10

11 4. UŻYTKOWANIE URZĄDZENIA UMS 4. UŻYTKOWANIE URZĄDZENIA Rys. 6. Menu robocze - urządzenie przygotowane do uruchomienia WŁĄCZENIE ZASILANIA Po podłączeniu zasilania system głównego włącznika następuje automatyczne włączenie grupy pompowej START GRUPY POMPOWEJ Start procesu następuje po naciśnięciu klawisza START. Zostaje włączona pompa wstępna FP i zamknięty zawór wentylujący VV (opcjonalny). Po osiągnięciu warunku progowego dla próżni wstępnej (ustawiony w menu CISNIENIE FG-PROG/ TRIGGER ) następuje włączenie pompy turbomolekularnej TMP. Po osiągnięciu przez TMP nominalnej prędkości następuje włączenie wygrzewania komory (10 min.) a następnie możliwe jest włączenie urządzeń pracujących przy wysokiej próżni (RGA100). System jest gotowy do pracy. Instrukcja obsługi wer. 1.4 Strona 11

12 4. UŻYTKOWANIE URZĄDZENIA UMS 4.3. ZATRZYMANIE GRUPY POMPOWEJ Zatrzymanie następuje po naciśnięciu klawisza VENT ( klawisz aktywny tylko gdy pracuje grupa pompowa). Zawór zabezpieczający SV (opcjonalnie) zostaje zamknięty, następnie pompa wstępna FP oraz pompa turbomolekularna TMP zostają wyłączone. Po wyhamowaniu TMP następuje zapowietrzenie systemu próżniowego AUTOMATYCZNE ZAPOWIETRZANIE Następuje zawsze po zatrzymaniu grupy pompowej WYGRZEWANIE SYSTEMU Wygrzewanie komory próżniowej do ustawionej temperatury następuje automatycznie gdy system osiąga gotowość do pracy, natomiast można je wyłączyć w: MENU->BAKEOUT->CHAMBER STOP Wygrzewanie zewnętrznej kapilary załączamy w: MENU->BAKEOUT->CAPILLARY START 4.6. TRYB POMIARU MODE Wybór trybu pomiarowego dokonujemy w pierwszym menu MENU->MODE 1. CAPILLARY pomiar przez dołączaną kapilarę 2. VALVE pomiar przez zewnętrzny zawór naciekowy automatycznie regulowany w zależności od poziomu ciśnienia mierzonego przed zaworem. Ustawienie poziomu nacieku ustawiane jest jednokrotnie natychmiast po wystartowaniu pomiaru Instrukcja obsługi wer. 1.4 Strona 12

13 5. WARUNKI GWARANCJI UMS 5. WARUNKI GWARANCJI Opisane w tej instrukcji urządzenie zostało wyprodukowane z zachowaniem należytej staranności z pełnowartościowych materiałów. Gwarancja obejmuje dostarczone i zainstalowane urządzenie przez okres jednego roku, od momentu końcowego zaakceptowania poprawności jego działania po instalacji. Urządzenie nie może być używane przez klienta do czasu końcowego zaakceptowania poprawności działania po instalacji. Każda rozbieżność w działaniu jakiejkolwiek części urządzenia musi być zanotowana, a okres gwarancji tej części będzie liczony od czasu zaakceptowania poprawnego jej działania. Warunki gwarancji odpowiadają przepisom w kraju, do którego urządzenie zostaje dostarczone. Firma PREVAC sp. z o.o. zobowiązuje się do naprawy lub wymiany całego urządzenia w przypadku wystąpienia jego uszkodzenia w okresie obowiązywania gwarancji (określonym powyżej). Gwarancja nie obejmuje: a) Elementów i materiałów zużywających się podczas normalnej eksploatacji. b) Elementów nie dostarczonych przez PREVAC. c) Elementów uszkodzonych w wyniku współpracy z wadliwie działającymi urządzeniami nie dostarczonymi przez PREVAC. d) Uszkodzeń wynikających z błędów użytkownika w trakcie eksploatacji. e) Uszkodzeń powstałych w wyniku użytkowania urządzenia w sposób niezgodny z jego przeznaczeniem. f) Uszkodzeń wynikających z zasilania urządzenia z napięcia nie odpowiadającego parametrom technicznym urządzenia. g) Uszkodzeń wynikających z powodu wpływu czynników zewnętrznych (mechanicznych, chemicznych, elektrycznych) innych niż występujące podczas instalacji urządzenia, na jakie urządzenie zostało narażone z winy użytkownika. h) Uszkodzeń powstałych w wyniku pożaru, oraz katastrof naturalnych. Na prośbę klienta, firma PREVAC może zastąpić albo naprawić niedziałające części na miejscu u klienta, nie obciążając go kosztami. Za zgodą firmy PREVAC, klient może wynająć fachowca, który potrafi naprawić dane uszkodzenie. Na zastępowaną lub naprawianą część PREVAC udziela gwarancji na okres jednego roku od daty naprawy tej części u klienta. Firma PREVAC w ramach gwarancji bierze odpowiedzialność materialną za wady lub niepoprawne działanie urządzenia, do wartości nie przewyższającej cenę (wraz z transportem) wadliwej części. Ochrona powierzonych informacji technicznych. Techniczne dokumenty takie jak rysunki, opisy, schematy i tym podobne, oraz wszystkie inne dane, służą tylko przybliżeniu działania urządzenia klientowi. Dostarczane są nawet, jeśli nie są wyszczególnione w umowie. Firma PREVAC rezerwuje sobie prawo do wprowadzania zmian technicznych w urządzeniu, nie ujętych w instrukcji, które są konieczne dla jego poprawnego działania. Obowiązkiem klienta jest: a) Utrzymywać w zamykanych aktach wszystkie techniczne dane i inne szczegółowe opisy dostarczone przez PREVAC, które są własnością firmy PREVAC. b) Udostępniać poufne informacje, które posiada od firmy PREVAC, tylko pracownikom obsługującym posiadaną aparaturę. Klient nie może wykonywać żadnych technicznych dokumentacji przy użyciu informacji dostarczonych przez firmę PREVAC, bez jej wiedzy i zgody. Klient nie może udostępniać osobom trzecim żadnych informacji dostarczonych przez firmę PREVAC, bez jej wiedzy i zgody. Przyjęcie Zamówień. Firma PREVAC przyjmuje zamówienia i/albo dostawy towarów zgodnie z prawem importuj i/albo eksportu. Uszkodzenie albo strata w transporcie. Strata albo uszkodzenie towaru w transporcie będzie relacjonowane przez klienta. Klient podczas odbioru zobowiązany jest badać wszystkie towary dostarczane przez firmę PREVAC. Opis dostawy. Czas dostawy może być rozsądnie rozszerzony, jeśli zdarzą się jakiekolwiek obiektywne przeszkody, powstałe wbrew planom firmy PREVAC, których firma nie mogła uniknąć. Takimi przyczynami mogą być: epidemie, naturalne katastrofy, mobilizacja, wojna, zamieszki, konflikty w pracy, poważne awarie, wypadek, urzędowe przeszkody, brak materiałów, trudność z przewozem. Instrukcja obsługi wer. 1.4 Strona 13