Fizyka powierzchni. Dr Piotr Sitarek. Katedra Fizyki Doświadczalnej, Wydział Podstawowych Problemów Techniki, Politechnika Wrocławska

Transkrypt

1 Fizyka powierzchni 10 Dr Piotr Sitarek Katedra Fizyki Doświadczalnej, Wydział Podstawowych Problemów Techniki, Politechnika Wrocławska

2 Defekty - Mając na myśli rzeczywistą powierzchnię nie można w rozważaniach zapomnieć o defektach. - Defekty: - aktywne centra uczestniczą w reakcjach katalitycznych na powierzchni, - pełnią istotną rolę w czasie wzrostu kryształów (sprzyjają wzrostowi warstw w określony sposób, np. wzdłuż stopni). - Badanie defektów: - poprzez dekorowanie (np. Au) stopni czy też defektów punktowych i późniejsze badanie z zastosowaniem np. mikroskopu elektronowego (martwe defekty), - aktualnie STM (i inne metody) pozwalają na badanie kinetyki defektów, reakcji katalitycznych, wzrostu. Hans Luth, Solid Surfaces, Interfaces and Thin Films, Springer-Verlag Berlin Heidelberg, Harald Ibach, Physics of Surfaces and Interfaces, Springer-Verlag Berlin Heidelberg, Anna Szaynok, Stanisław Kuźmiński, Podstawy fizyki powierzchni półprzewodników, Wydawnictwa Naukowo-Techniczne, Warszawa 2000.

3 Defekty Defekty liniowe - stopnie, - granice pomiędzy domenami zaadsorbowanych struktur, - dyslokacje, - granice pomiędzy magnetycznymi i ferroelektrycznymi domenami, - wszystkie mają wspólną cechę stworzenie defektu wymaga pracy, wymagana praca jest zależna od orientacji,

4 Defekty Defekty liniowe Stopnie - najprostszy sposób na otrzymanie (badanie) stopni o określonej orientacji to wytworzenie powierzchni vicinalnych

5 Defekty liniowe Stopnie Defekty

6 Defekty Defekty liniowe Stopnie wiązania równoległe do stopni wiązania prostopadłe do stopni Stopnie o wysokości 1 ML (blenda cynkowa - np. ZnS)

7 Defekty Defekty liniowe Stopnie Obraz STM z powierzchni Si(100). Sb-steps bardziej szorstkie niż Sa-steps (energia powstawania kinków niższa dla Sb-steps).

8 Defekty liniowe Ściany domen Defekty

9 Defekty Defekty liniowe Ściany domen Domeny superstruktur (2x2) i c(2x2) na powierzchni (001) fcc/bcc ze ścianami domen zorientowanymi wzdłuż kierunków [110] i [100].

10 Defekty Defekty liniowe Dyslokacje pseudomorficzna warstwa epitaksialna podłoże Wektor Burgersa b jest równoległy do interfejsu i prostopadły do linii dyslokacji.

11 Defekty Defekty liniowe Dyslokacje - defekty objętościowe (występujące w niedopasowanych sieciowo warstwach epitaksjalnych) mogą być przyczyną nierówności powierzchni, - naprężenie ściskające w Cu (wynikające z 2.6% niedopasowania stałych sieci) zostaje zniesione poprzez wprowadzenie błędu do pierwszej warstwy Cu błąd ten powiela się w kolejnych warstwach,

12 Defekty Defekty punktowe Kinki (kinks) - są chyba najważniejszymi defektami punktowymi na powierzchni, - występują na stopniach jako wzbudzenia termiczne, - koncentracja równowagowa zależy od energii niezbędnej do powstania kinku

13 Defekty punktowe Kinki (kinks) Defekty

14 Defekty Defekty punktowe Adatomy, wakansje Klastry, wyspy

15 - Jeśli umieścimy dodatni ładunek punktowy w lokalnie neutralnej plazmie elektronów (elektrony występują w towarzystwie jąder atomowych) to elektrony w pobliżu tegoż ładunku będą się przemieszczać starając się go skompensować będą go ekranować. - W pewnej odległości od ładunku wartość pola elektrycznego, którego jest on źródłem spadnie do zera. - Im większa gęstość elektronów tym ekranowanie jest bardziej efektywne skraca się droga ekranowania; - w metalach (koncentracja elektronów cm -3 ) są to odległości porównywalne do odległości międzyatomowych - w ch (10 17 cm 3 ) długości ekranowania są rzędu setek A - Te obszary z redystrybuowanymi ładunkami nazywają się obszarami ładunku przestrzennego (space charge regions).

16 - W zależności od typu stanów powierzchniowych (donorowe lub akceptorowe) i położenia poziomu Fermiego, stany mogą być - naładowane wtedy ładunek jest ekranowany przez ładunek przeciwnego znaku wewnątrz, lub - nienaładowane - w zależności od położenia poziomu Fermiego przy powierzchni, donory mogą dostarczać ładunek dodatni a akceptory ujemny, - położenie poziomu Fermiego wynika z warunku neutralności, ładunek powierzchniowy Q SS (gęstość powierzchniowa ładunku) jest kompensowany przez ładunek przeciwnego znaku wewnątrz ładunek przestrzenny Q SC (space charge) i Q SS = -Q SC

17 ładunek powierzchniowy obszar zubożony zakrzywienie pasma ładunek przestrzenny Układ pasm dla typu n w niskiej temperaturze (donory nie są zjonizowane)

18 - Obszar zubożony (warstwa zubożona) wynika ze zmniejszenia gęstości nośników większościowych (dla typu n są to elektrony) i zwiększania gęstości nośników mniejszościowych (dziur).

19 - Większa gęstość N SS powierzchniowych stanów akceptorowych może wywołać jeszcze większe zakrzywienie pasm powstaje warstwa inwersyjna (inversion layer); półprzewodnik typu n przy powierzchni zmienia typ na p.

20 - Energia efektywna gęstość stanów - dla samoistnego E i = E F - dla E F < E i półprzewodnik jest typu p - dla E F > E i typu n (elektrony są nośnikami większościowymi)

21 - Warstwa akumulacyjna (accumulation space charge layer) wymaga obecności na powierzchni stanów typu donorowego. - Stan taki może być częściowo opróżniony (naładowany dodatnio). - Ekranowanie (kompensacja) odbywa się przy wykorzystaniu swobodnych elektronów (z pasma przewodnictwa), które gromadzą się przy powierzchni pasma zakrzywiają się w dół. - W przypadku silnej akumulacji pasmo przewodnictwa może przecinać poziom Fermiego na powierzchni półprzewodnik staje się zdegenerowany w obszarze warstwy akumulacyjnej. - Ze względu na to, że warstwa wytwarzana jest przy udziale elektronów swobodnych (które można ściskać ) jest dużo węższa od warstwy zubożonej.

22 zakrzywienie pasma obszar zubożony ładunek powierzchniowy ładunek przestrzenny Układ pasm dla typu p w niskiej temperaturze (akceptory nie są zjonizowane)

23 - Zakrzywienie pasm z rozkładem ładunku wiąże równanie Poisson a - Proste rozwiązanie równania Poisson a można otrzymać np. w przypadku silnie zubożonych warstw, czyli zakrzywienie pasm przewyższa poszerzenie temperaturowe. - Przybliżenie Schottky ego warstwy zubożonej ładunku przestrzennego.

24 Przybliżenie Schottky ego warstwy zubożonej ładunku przestrzennego - Ze względu na duże zakrzywienie pasm można zaniedbać elektrony z pasma przewodnictwa - Zgodnie ze statystyką Fermiego zapełnienie stanów donorowych zmienia się od 1 do zera na przestrzeni 4kT. - Rozkład gęstości ładunku można zapisać jako koncentracja donorów objętościowych niezjonizowane przybliżenie Schottky ego

25 Przybliżenie Schottky ego warstwy zubożonej ładunku przestrzennego - Podstawiając powyższe dostajemy - całkowanie daje nam rozkład pola elektrycznego - kolejne całkowanie - rozkład potencjału - i zakrzywienie pasm przy powierzchni

26 Przykład - przygotowana poprzez łupanie w UHV powierzchnia GaAs(110) ma zwykle płaskie (nie zagięte) pasma przy powierzchni, - jeśli jednak pojawią się np. defekty zmierzono, że zagięcie pasm dochodzi zwykle do 0.7 ev dla typu n o koncentracji cm 3 (300 K), - wynika to z obecności na powierzchni stanów akceptorowych odpowiedzialnych za powstawanie obszaru ładunku zubożonego, - gęstość tych stanów jest jednak na tyle mała, że nie da się jej zmierzyć standardowymi metodami (HREELS, fotoemisja), - wynika z tego, że ich gęstość N SS jest mniejsza niż cm 2, - zakładając taką właśnie gęstość stanów akceptorowych na powierzchni i szerokość obszaru ładunku zubożonego około 1000Å dostajemy zakrzywienie pasm właśnie rzędu 0.7 ev, - dla materiału typu p zwykle otrzymuje się zakrzywienie pasm rzędu kilkuset mev 0.7 ev

27 Słaba akumulacja, słabe zubożenie - maksymalne zakrzywienie pasm ev s jest mniejsze niż kt ( n s < 1, n s = ev s /kt), - kształt potencjału wynika z obecności mogących się poruszać elektronów i dziur (a nie zlokalizowanych zjonizowanych impurities), - całkowita gęstość ładunku ρ(z) (swobodne elektrony n(z) i zjonizowane donory N D+ (z) - ostatecznie - i dla n << 1 gdzie n(z) znormalizowane zakrzywienie pasm

28 Słaba akumulacja, słabe zubożenie - dostajemy równanie Poiison a postaci gdzie jest długością Debye a - rozwiązaniem jest zanikające zakrzywienie pasm - czyli w tym przypadku obszar ładunku przestrzennego determinowany jest poprzez długość Debye a (np. koncentrację elektronów objętościowych n b )

29 - Ogólnie równanie Poisson a w funkcji zredukowanego potencjału można zapisać jako - lub stosując efektywną długość Debaye a - przekształcając dostajemy - gdzie (F funkcja Kingstona) - można numerycznie rozwiązać równanie

30 Potencjał na powierzchni n s = 20. Kształt znormalizowanego zagięcia pasm przy powierzchni n = ev (z)/kt w funkcji znormalizowanej odległości od powierzchni z/l dla różnych wartości potencjału objętościowego u b. L efektywna długość Debaye a.

31 Pinning poziomu Fermiego - zagięcie pasm nasyca się gdy poziom Fermiego przecina stan powierzchniowy, - przy odpowiednio dużej gęstości poziom Fermiego przykleja się do stanów powierzchniowych, - dalsze wygięcie pasm następuje bardzo powoli wraz ze wzrostem N SS,

32 Stany skwantowane w warstwie akumulacyjnej i inwersyjnej - szerokość warstwy akumulacyjnej (inwersyjnej) może być niewielka np. 10 A), co prowadzi do silnego zagięcia pasm, - w przypadku typu n taka warstwa akumulacyjna zawiera zdegenerowany gaz swobodnych elektronów, - elektrony te wykazują własności metaliczne,

33 Stany skwantowane w warstwie akumulacyjnej i inwersyjnej

34 Stany skwantowane w warstwie akumulacyjnej i inwersyjnej - stany te można badać korzystając z efekty Halla, - ich gęstość jest niezależna od temperatury (jak w przypadku metali), - przykład: - powierzchniowa gęstość swobodnych elektronów dla ZnO (1010), - warstwa akumulacyjna wytworzona poprzez adsorpcję atomowego wodoru, - krzywe odpowiadają wzrostowi całkowitej gęstości nośników (wzrostowi zakrzywienia pasm),

35 Przykłady

36 Przykłady

37 - najważniejsze zastosowania przestrzennych warstw ładunku są w urządzeniach wykorzystujących efekt polowy, np. MOSFET (Metal- Oxide Semiconductor Field-Effect Transistor),