Metody pomiaru grubości powłok

Transkrypt

1 Anna Lewińska-Romicka Metody pomiaru grubości powłok 1. Przegląd metod Przedstawiony zostanie cykl artykułów, dotyczących zagadnień pomiarów grubości powłok, warstw wierzchnich i taśm. W niniejszym artykule zostanie przedstawiony przegląd metod pomiarów grubości powłok. Szczegółowy opis metod pomiarów, przetworników, warstwomierzy i ich zastosowań podano w książce A. Lewińskiej-Romickiej, pt.: Pomiary grubości powłok, wydanej przez Biuro Gamma z Warszawy [15]. Pomiary grubości warstw wierzchnich, powłok oraz taśm mają zastosowanie w przemyśle rakietowym, metalowym, samochodowym (np. do pomiarów grubości pokryć chromu, pokryć grafitowanych i stopami niklu - na cylindrach, tłokach i łożyskach), w zakładach nakładających powłoki galwaniczne i powłoki malarskie, w przemyśle tworzyw sztucznych (pomiary grubości folii), w przemyśle elektrotechnicznym i elektronicznym (np. pomiary grubości pokryć złotem, srebrem i rodem złącz, pomiary grubości solder - maski i ścieżek miedzi, również poprzez solder - maskę ), w przemyśle komputerowym (kontrola cienkich pokryć złotych, cynowych, cynowo - ołowiowych, miedzianych, pomiar grubości solder - maski i pokryć foto - ochronnych), w przemyśle pracującym na potrzeby telekomunikacji, w przemyśle chemicznym, w przemyśle opakowań oraz w zakładach wytwarzających takie dobra konsumpcyjne, jak np. ozdoby jubilerskie, naczynia i nakrycia stołowe (kontrola grubości pokryć dekoracyjnych i emalierskich). Dalej używany głównie będzie stosowany termin powłoka. Może być mierzona: grubość powłok jedno-, dwu- i trójwarstwowych. Może być mierzona grubość powłok jednoskładnikowych oraz grubość powłok, wykonanych ze stopów dwu- i trój-składnikowych. Grubości powłok zawierają się zwykle od setnych części milimetra do kilku (lub więcej) milimetrów [5]. Pomiary grubości powłok mogą być wykonywane: metodami badań nieniszczących: - magnetyczną, - elektromagnetyczną, - prądów wirowych, - spadku potencjału, - β - odbiciową (metoda radiometryczna), - fluorescencji promieniowania (metoda radiometryczna), metodami badań niszczących: - kulometryczną, - mikroskopową, - mikroskopową z zastosowaniem mikroskopu skaningowego, - profilometryczną, - interferencyjną Fizeau, - wagowymi (całkowitego rozpuszczania).

2 Przykłady zastosowań najczęściej stosowanych metod nieniszczących pomiarów grubości powłok i metody kulometrycznej pomiarów niszczących podano w tablicy 1. W tablicy 1 podano szczegółowe zestawienie aplikacji metod badań nieniszczących: magnetycznej, elektromagnetycznej, prądów wirowych, β - odbiciowej i fluorescencji promieniowania oraz metody kulometrycznej w ich przykładowych zastosowaniach do pomiaru grubości powłok z różnych materiałów, naniesionych na podłoża z różnorodnych materiałów. Tablica 1 Wybrane przykłady aplikacji najczęściej stosowanych metod nieniszczących pomiarów grubości powłok i metody kulometrycznej pomiarów niszczących Rodzaje / materiały powłok - Metale nieferromagnetyczne, - Nikiel (elektroosadzany), złoto Rodzaje materiałów podłoża Metody badań nieniszczących: - Ferromagnetyczne (stal) - Nieprzewodzące lub nieferromagnetyczne albo ferromagnetyczne Magnetyczna ( ± 10 %) Metoda badań (dokładność pomiaru1 ) - Nieferromagnetyczne - Ferromagnetyczne Elektromagnetyczna ( ± 3 %) - Nieprzewodzące prądu elektrycznego, - Metalowe nieferromagnetyczne - Powłoki metalowe nieferromagnetyczne, - Metalowe nieferromagnetyczne Prądów wirowych ( ± 10 %, ew. ± 6 %) - Powłoki metaliczne źle przewodzące - Dobrze przewodzące nieferromagnetyczne - Miedź - Wielowarstwowe, np. laminaty - Nieprzewodzące prądu - Metale i niektóre elektrycznego: malarskie, niemetale ceramiczne, z tworzyw sztucznych, - Metalowe, w tym powłoki o - Inne metale, niemetale zbyt dużych grubościach, które nie mogą być mierzone metodą fluorescencji promieniowania Spadku potencjału β - odbiciowa ( ± 6 %, gdy Z a - Z b 20); ( ± 10 %, gdy Z a - Z b < 20) (Z a liczba atomowa powłoki; Z b - podłoża) 1 Wymagana przez normy. Dokładność pomiaru, z błędem wzorca nie większym niż...

3 - Powłoki jedno-, dwu- i trójwarstwowe, powłoki ze stopów dwu- i trójskładnikowych, np. - Zn, Ni, Cr, Cu, Ag, Au, Sn, - SnPb, ZnNi i NiP, - Cr/Ni/Cu - Powłoki jedno-, dwu- i trójwarstwowe (powłoki prawie ze wszystkich metali), - np. powłoki Cr/Ni/Cu - Stal, mosiądze, brązy, tworzywa sztuczne - np. stal, - stal, - tworzywa sztuczne lub stal Metoda badań niszczących: - stal, nikiel, aluminium, cynk, miedź, niemetale Kulometryczna - na stali lub tworzywie sztucznym Fluorescencji promieniowania ( ± 6 % przy różnicy liczb atomowych 20; ± 10 % przy różnicy liczb atomowych < 20 Przy pomiarach grubości powłok, zależnie od przyjętej metody pomiaru, są istotne takie parametry podłoża, jak: przenikalność magnetyczna, przewodność elektryczna, współczynnik odbicia lub współczynnik pochłaniania promieniowania jonizującego oraz cechy geometryczne: wielkość powierzchni, grubość, promień krzywizny, chropowatość i kształt. Materiały powłok i materiały podłoży (obiektów) mogą mieć bardzo różne własności fizykochemiczne. Obiekty z powłokami mogą mieć różne kształty i wymiary. Pomiary grubości powłok są wykonywane dla powierzchni płaskich i zakrzywionych: wklęsłych i wypukłych, w tym w odniesieniu do obiektów o kształcie walcowym (np. rur) i dla obiektów o skomplikowanych kształtach. Pomiary grubości powłok mogą być prowadzone w otworach i we wgłębieniach obiektów. Pomiary te są wykonywane dla obiektów o gładkiej lub o chropowatej powierzchni. Pomiary grubości powłok są prowadzone przy ręcznym prowadzeniu przetwornika (pomiary wyrywkowe) lub w sposób zautomatyzowany, przy kontroli masowej (pomiary 100 %), on line. Metody: magnetyczna, elektromagnetyczna, prądów wirowych i spadku potencjału należą do grupy metod elektromagnetycznych. Metody te polegają na użyciu i na pomiarach parametrów odpowiednio: otrzymywanego pola magnetycznego lub na pomiarach parametrów wyjściowych sygnałów przetworników. Warstwomierze, pracujące z wykorzystaniem tych metod, różnią się: - rodzajem wzbudzenia (rodzajem pól magnetycznych), - częstotliwością pola wzbudzającego, - wielkością wyjściową (wielkościami wyjściowymi), - stosowanymi przetwornikami. W przypadku aplikacji metody magnetycznej i metody elektromagnetycznej powłoka stanowi tzw. szczelinę w obwodzie magnetycznym, jaki jest tworzony przez: podłoże, powłokę i źródło pola. W przypadku aplikacji metody prądów wirowych powłoka powoduje oddalenie przetwornika od podłoża. Właściwie obecność szczeliny, czy też oddalenie przetwornika, od podłoża, są to podobne czynniki. Wyróżniono te pojęcia, ze względu na terminologię, przyjętą w dotychczasowej literaturze.

4 W przypadku aplikacji metody spadku potencjału powłoka wprowadza rezystancję pomiędzy odpowiednimi biegunami sondy pomiarowej. Pole, wzbudzające przetworniki, może być stałe, jak to ma miejsce przy zastosowaniach metody magnetycznej lub zmienne - przy aplikacjach metody elektromagnetycznej, metody prądów wirowych i metody spadku potencjału. Przy aplikacjach metody magnetycznej i metody elektromagnetycznej, pomiarom podlegają parametry pola magnetycznego rozproszenia (tj. pola magnetycznego w powietrzu, nad obiektem), odpowiednio stałego lub zmiennego. Przy aplikacjach metody spadku potencjału pomiarowi podlega spadek napięcia pomiędzy odpowiednimi elektrodami przetwornika. Przy aplikacjach metody prądów wirowych pomiarom podlegają parametry sygnałów (składowych impedancji lub składowych napięcia) przetworników wiroprądowych, wywołanych przez oddalenie przetwornika, od materiału podłoża. Przy aplikacjach metod magnetycznej, elektromagnetycznej, prądów wirowych oraz metody spadku potencjału do pomiaru grubości powłok - wymagany jest jednostronny dostęp do obiektu (tj. do powłoki). Przy pomiarach grubości powłok metodą magnetyczną, metodą elektromagnetyczną i metodą prądów wirowych materiały powłok muszą istotnie różnić się od materiału podłoża, pod względem przewodności elektrycznej i / lub przenikalności magnetycznej. Ograniczeniami, w pomiarach grubości powłok metodą magnetyczną, a szczególnie metodą elektromagnetyczną i metodą prądów wirowych są: minimalna grubość podłoża, minimalna średnica miejsca obiektu, na którym przeprowadza się pomiar oraz kształt i chropowatość powierzchni obiektów. Metody radiometryczne, w ich zastosowaniach m. in. do pomiarów grubości obiektów, dzielą się ogólnie na metody: - Absorpcyjną. Źródło i detektor promieniowania są umieszczane po przeciwnych stronach obiektu. Mierzone są parametry promieniowania pierwotnego, - β - odbiciową ( rozproszeniową ). Źródło i detektor promieniowania są umieszczane po tej samej stronie obiektu. Mierzone są parametry rozproszonego promieniowania pierwotnego, - Fluorescencji promieniowania. Źródło i detektor promieniowania są umieszczane po tej samej stronie obiektu. Mierzone są parametry promieniowania wtórnego (fluorescencyjnego promieniowania ). Przy pomiarach grubości powłok, z wykorzystaniem metod radiometrycznych, mierzy się właściwie tzw. masę powierzchniową (gramaturę). Radiometryczne warstwomierze do powłok mogą być uważane za mierniki grubości powłok w przypadku, gdy 1/ są znane liczba atomowa i gęstość mierzonych materiałów lub gdy 2/ warstwomierze są skalowane z użyciem wzorców z powłokami, wykonanych z materiałów o liczbie atomowej i gęstości identycznej, jak dla materiału mierzonego. Wynik pomiaru grubości powłok jest podawany w jednostkach

5 grubości lub w jednostkach masy powierzchniowej. Masa powierzchniowa (gramatura) jest to iloczyn gęstości (tj. masy jednostki objętości) materiału i jego grubości. W przypadku pomiarów grubości powłok metodą β - odbiciową cząstki powracają do obszaru, z którego zostały wyemitowane. Następuje rozproszenie wsteczne (odbicie promieniowania) [3, 28]. Przy stosowaniu metody beta - odbiciowej istotne są relacje pomiędzy natężeniem promieniowania rozproszonego przez materiał mierzonej powłoki lub materiał, stanowiący jego bezpośrednie podłoże. W przypadku pomiarów grubości powłok metodą fluorescencji promieniowania istotne jest to, że zależnie od metody badań, promieniowanie jonizujące powoduje wzbudzanie promieniowania fluorescencyjnego w powłoce lub odpowiednio w podłożu, przy czym promieniowanie to ulega osłabieniu w powłoce. Ogólnie, pomiary parametrów promieniowania jonizującego mogą być wykonywane z użyciem komór jonizacyjnych, liczników Geigera-Müllera, liczników scyntylacyjnych i detektorów półprzewodnikowych [3]. W niektórych przypadkach badań diagnostycznych, polegających na pomiarach, poprzez np. pokrycia malarskie, pozostałej grubości ścianki obiektów, jakie uległy korozji lub erozji, jest stosowana metoda ultradźwiękowa badań nieniszczących. Przy okazji może być wówczas mierzona grubość tych pokryć. Metoda ultradźwiękowa jest też np. stosowana w przypadku pomiaru grubości warstw zoksydowanych, w rurach systemów grzewczych [21]. Do pomiaru grubości cienkich warstw (półprzewodniki, tlenki azotu, warstwy nakładane chemicznie) może być stosowana refraktometria ultradźwiękowa. Przy aplikacjach metod magnetycznej, elektromagnetycznej, prądów wirowych, spadku potencjału, β - odbiciowej i fluorescencji promieniowania oraz ultradźwiękowej do pomiaru grubości powłok - wymagany jest jednostronny dostęp do obiektu (tj. do powłoki). Natomiast przy aplikacjach radiometrycznej metody absorpcyjnej, w jej zastosowaniach do pomiaru grubości obiektów, jest konieczny dostęp dwustronny. W szczególności dotyczy to pomiaru grubości obiektów, w przypadku występowania w nich ubytków korozyjnych. Przy pomiarach grubości powłok metodami radiometrycznymi materiały powłok muszą różnić się od materiału podłoża, pod względem liczby atomowej. Pomiary grubości powłok, z wykorzystaniem opisanych w artykułach metod, są pomiarami względnymi, porównawczymi. Przed przystąpieniem do pomiarów konieczne jest wzorcowanie warstwomierzy. W większości przypadków wzorcowanie jest dwupunktowe: dla początku i końca zakresu pomiarowego, np. na materiale podłoża tj. bez pokrycia oraz dla określonej grubości powłoki (stosownie do zakresu pomiarowego) lub dla dwóch grubości danej powłoki, na określonym podłożu. Czasami wykonuje się wzorcowanie wielopunktowe. Wzorcowanie warstwomierzy jest często wykonywane na danym obiekcie. Używa się w tym celu folii o wzorcowych grubościach, umieszczanych na określonym podłożu, na którym naniesiona jest powłoka o interesującej grubości. Dzięki tak przeprowadzanemu wzorcowaniu, w znacznym stopniu, jest zmniejszany wpływ parametrów, związanych z geometrią obiektów i z własnościami fizykochemicznymi materiałów podłoży. Po przeprowadzonym wzorcowaniu wskazania warstwomierzy są w zasadzie zależne tylko od grubości mierzonych powłok. Pomiary grubości powłok są oczywiście tym dokładniejsze, im dokładniejsze jest wzorcowanie warstwomierzy.

6 Pomiary grubości cienkich powłok mogą być wykonywane metodą elipsometryczną. W elipsometrii wykorzystuje się analizę polaryzacyjną światła odbitego [30]. Przedmiotem analizy jest stan polaryzacji liniowo spolaryzowanej monochromatycznej wiązki światła, w wyniku jej padania na badany obiekt. Analizowane są parametry, opisujące stan polaryzacji światła odbitego od powierzchni lub światła wnikającego przez granicę ośrodków do warstwy, w tym do warstwy przejściowej znajdującej się pomiędzy dwoma materiałami i następnie załamanego oraz odpowiednio załamanego / odbitego od kolejnych granic ośrodków. Alternatywą nieniszczących pomiarów grubości powłok metalowych, na podłożach metalowych i niemetalowych, są, jak już zaznaczono, pomiary niszczące. Metoda kulometryczna pomiarów niszczących pozwala na przeprowadzanie pomiarów grubości powłok jedno-, dwu- i trójwarstwowych. Pomiary kulometryczne polegają na elektrolitycznym oddzielaniu materiału powłoki od podłoża, przy zapewnionej kontroli prądu. W ten sposób mogą być m. in. mierzone grubości powłok srebrnych i cynowych na niklu, stali i miedzi, powłok niklu, chromu, miedzi i cynku na stali, aluminium i niemetalach oraz powłok cynku, cyny, niklu, miedzi i srebra, np. na drutach, a także np. pokryć potrójnych: chrom/nikiel/miedź na podłożu ze stali lub na podłożu z tworzywa sztucznego. Z wykorzystaniem metody kulometrycznej jest możliwe przeprowadzanie szybkich pomiarów grubości powłok wielowarstwowych. Niektóre warstwomierze kulometryczne pozwalają na pomiar grubości warstw w zakresie od 0,015 µm do 7 µm. Według normy PN-EN ISO 2177: 1997 aparatura i metodyka pomiarów grubości powłok metodą kulometryczną powinny zapewniać uzyskanie dokładności pomiarów ±10 %. Do metody kulometrycznej odnoszą się normy PN-EN ISO 2177: 1997, DIN EN 2177 i ASTM B504. Pomiary grubości powłok wielowarstwowych mogą być także przeprowadzane metodą fluorescencji promieniowania badań nieniszczących. Zakres pomiaru grubości powłok metodą kulometryczną, przy zapewnieniu dużych dokładności pomiaru, zawiera się w granicach od 0,05 µm do 40 µm. Mają miejsce przypadki, gdy wdrażaniu nieniszczących pomiarów grubości niektórych powłok, np. powłok z niklu na stali metodą magnetyczną, wzorcowanie grubościomierzy wymaga zastosowania metody nadrzędnej, np. metody kulometrycznej (badań niszczących) lub metody fluorescencji promieniowania (badań nieniszczących). Metody optyczne są w szczególności stosowane do pomiaru grubości powłok przezroczystych lub są realizowane z wykonaniem zgładów metalograficznych. Pomiary grubości powłok metodą mikroskopową (według PN-EN ISO 1463: 1997) polegają na pomiarach, na odpowiednio przygotowanych zgładach, z użyciem mikroskopów o powiększeniach x 100, x 500, x 1000, z integralnymi skalami. Wymagane są dokładności pomiaru wynoszące co najmniej ± 10 % lub ± 1 µm. Metoda mikroskopowa, z użyciem mikroskopu skaningowego (SEM) pozwala na uzyskanie zdolności rozdzielczej przy pomiarach grubości powłok, 50 nm lub lepszej. Konieczne jest przygotowanie próbek, analogicznie, jak przy typowych badaniach metalograficznych [ISO 9220: 1998].

7 Metoda profilometryczna jest wykorzystywana w pomiarach miejscowej grubości powłok jedno- lub wielowarstwowych [EN ISO 4518: 1995]. Metoda interferencyjna2 Fizeau [BS EN ISO 3868: 1995] może być stosowana do pomiarów grubości powłok metalowych i innych powłok nieorganicznych. Metoda ta polega na całkowitym rozpuszczeniu małego obszaru powłoki, bez naruszenia podłoża. Uformowany zostaje w ten sposób stopień powłoka podłoże. Na odsłonięty fragment podłoża i na powłokę nakładana jest warstwa odbijająca światło. Wysokość tak uformowanego stopnia jest mierzona przy wykorzystaniu interferometru o wielu (konkretnie dwóch) wiązkach. Stosowane jest przy tym źródło światła monochromatycznego. Nakładanie wiązek światła zachodzi z użyciem lustra, stanowiącego płytkę odniesienia. Przy odpowiednim ustawieniu lustra, względem powierzchni obserwowanej, uzyskuje się prążki interferencyjne, mające postać równoległych linii. Mierzy się przesunięcie pomiędzy prążkami i odległość między nimi. Dokładność pomiaru grubości powłok, w zakresie 0,002 µm 0,01 µm, wynosi zwykle ± 0,001 µm. Pomiary grubości powłok metodami wagowymi (całkowitego rozpuszczania) polegają na chemicznym rozpuszczaniu powłok metalowych i na pomiarze ubytku masy, z odpowiednio wybranej powierzchni, z użyciem wag analitycznych. Metody te pozwalają na określanie średniej grubości powłok jednowarstwowych. Metody wagowe są stosowane do pomiaru grubości powłok konwersyjnych (fosforanowych na podłożach z żelaza i ze stali, cynku i kadmu, aluminium i jego stopów oraz chromianowych na podłożach z cynku i kadmu, aluminium i jego stopów). Dokładność pomiaru powinna wynosić co najmniej ± 5 %. Dla uzyskania takiej dokładności konieczny jest pomiar powierzchni próbek pomiarowych, z dokładnością co najmniej ± 1 % [PN-EN ISO 3892: 1997]. Ogólne wytyczne odnośnie do pomiarów grubości powłok zawarto w normie PN-EN ISO 2064: W artykułach, za normą PN-EN ISO 2177:1997, używany jest termin warstwomierz, na określenie miernika grubości powłok. 2. Zestawienie zastosowań metod pomiaru grubości powłok W tablicy 2 podano zestawienie możliwości i zastosowań najbardziej rozpowszechnionych metod badań nieniszczących i badań niszczących metodą kulometryczną do pomiaru grubości powłok z różnych materiałów, naniesionych na podłoże z różnorodnych materiałów. 2 Interferencja jest to zjawisko oddziaływania na siebie (interferowania) dwóch fal świetlnych. Zależnie od różnicy faz obu fal, w niektórych miejscach fala wynikowa jest wzmocniona, a w innych osłabiona. Interferometry są to przyrządy optyczne, w których wykorzystuje się zjawisko interferencji światła do różnych pomiarów, przede wszystkim do dokładnych pomiarów wielkości geometrycznych, np. długości, a także grubości powłok. Zasada pomiaru interferometrem polega na rozdwajaniu wiązki światła, wychodzącej z jednego źródła, na dwie wiązki, które są doprowadzane do interferometru. Obserwuje się prążki, powstające w wyniku interferencji fal.

8 Tablica 2 Zestawienie typowych zastosowań metod badań nieniszczących i badań niszczących metodą kulometryczną do pomiaru grubości powłok z różnych materiałów, naniesionych na podłoża z różnorodnych materiałów (na podstawie materiałów firmy Helmut Fischer GmbH + Co) Podłoże Aluminium Ołów Chrom Eloksalowane, chromianowane, fosforanowane Emalia, farba, guma, tworzywo sztuczne Złoto Kadm Miedź Soldermaska Powłoka Mosiądz Nikiel (ferromagn.) Nikiel (osadzany bezprądowo) Pallad Powłoki osadzane metodami: PVD 1 i CVD 2 Rod Srebro Cynk Cyna Aluminium i jego stopy * B, Q, B, E, Q, E B, E B, Q, B, Q, B, Q, B, B, N, Q, B, Q, B,, E B, Q, B, B, Q, B, Q, B, Q, Szkło, ceramika, tworzywa B, E, Q B, Q, B, Q, - * B, B, Q, B, E, Q, B, Q, B, B, N, Q, B, Q, B, B, B, B, Q, B, Q, B, Q, sztuczne Złoto - - B, Q, - B * B, - B, B, - - Wolfram, B, Q, B, - B (B), B, B, B, N, B,, E (B), (B), (B), (B), B, B, molibden, itp. Kowar B, M, Q, B, M, Q, M, Q, - B, M B, B, M, Q, M, Q, B, M, Q, M, Q, N, Q, Q, B, M, B, M, B, M, B, M, Q, M, Q, B, M, Q, Miedź i jej stopy B, B, Q, E, Q, E B, E B, B, Q, (Q, ) B, Q, N, Q,, E B, B, B, B, B, B, Magnez i jego * B, B, E, E B, E B, B, B, B, B, B, N, B, B, B, B, B, B, stopy Nikiel B, Q, B, Q, B, Q, - B, E B, B, Q, Q, B, Q, * * B, B, B, B, Q, B, B, Q, Srebro B, E B, E - * - - Stal, żeliwo B, M, Q, B, M, Q, M, Q, M B, M B, M, B, M, Q, M, Q, B, M, Q, M, Q, (E), Q, Q,, M B, M, B, M, B, B, M, Q, M, Q, B, M, Q, Stale austenityczne B, Q, B, Q, Q, - B, E B, B, Q, Q, B, Q, Q, N, Q, Q, B, B, B, B, Q, Q, B, Q, Tytan i jego B, E B, E B, B, B, Q, B, Q, B, B, N, B, * B, B, B, B, stopy Cynk i jego stopy B, B, E, E B, E B, B, Q, B, N, B, B, B, B, * B, * niemierzalne - powłoki nie spotykane w praktyce ( ) metoda o ograniczonych zastosowaniach Metody: B β - odbiciowa, E prądów wirowych, M elektromagnetyczna, N magnetyczna, Q kulometryczna, fluorescencji promieniowania. 1: PVD ang.: Physical Vapour Deposition - fizyczne osadzanie z fazy gazowej, 2: CVD ang.: Chemical Vapour Deposition - osadzanie warstw z fazy gazowej z udziałem reakcji chemicznej

9 3. Bibliografia 1. Antoniak W., Kowalska E., Krawczyńska B., Zakrzewska D.: Nowe radiometryczne mierniki grubości warstw. Materiały I Krajowej Konferencji Badań Nieniszczących, Szczyrk Besztak K., Jezierski G.: Radiometryczne metody pomiary grubości powłok. Czasopismo internetowe Badania nieniszczące, nr 10, Biestek T., Sękowski S.: Metody badań powłok metalowych, WNT Warszawa Brudzewski K.: Wstęp do elipsometrii. Wyd. Politechniki Warszawskiej, Warszawa Burakowski T., Wierzchoń T.: Inżynieria powierzchni metali. WNT, Warszawa Cost H., Deutsch V., Ettel P., Platte M.: Pomiar głębokości pęknięć aktualna technika pomiarowa. Publikacja firmy Karl Deutsch. 7. Dybiec C.: Nieniszcząca kontrola warstw utwardzonych metodą prądów wirowych. Materiały IV Krajowej Konferencji Badań Nieniszczących, Kiekrz Dybiec C., Włodarczyk S.: Zakres zastosowania metody prądów wirowych w praktyce. Materiały VI Krajowej Konferencji Badań Nieniszczących, Szczyrk Dziczkowska M.: Analiza błędów wyznaczania konduktywności i grubości cienkiej niemagnetycznej folii metodą wiroprądową. Zeszyty Naukowe Politechniki Śląskiej. Automatyka. Technika wiroprądowa w badaniach nieniszczących. Gliwice, Z. 111, Jezierski G.: Radiografia przemysłowa. WNT - Fundacja Książka Naukowo - Techniczna, Warszawa Kowalska E., Sękowski S., Urbański P., Zawadzka M.: Fluorescencyjne metody pomiaru grubości powłok, oznaczania składu stopów i analizy kąpieli galwanicznych. Powłoki ochronne, nr 4-5, 42, Lewińska - Romicka A.: Badania magnetyczne. Podręcznik, t. I, t. II. Biuro Gamma, Warszawa Lewińska - Romicka A.: Defektoskopia wiroprądowa. Poradnik. Biuro Gamma, Warszawa Lewińska - Romicka A.: Badania nieniszczące. Podstawy defektoskopii. WNT, Warszawa Lewińska - Romicka A.: Pomiary grubości powłok. Biuro Gamma, Warszawa Lewińska - Romicka A.: Wykrywanie nieciągłości i ocena własności materiałów metodą wiroprądową. Dozór Techniczny, nr 6, 1998 i Materiały Seminarium Nieniszczące badania materiałów, Zakopane 1998, org. Seminarium Pracownia Ultradźwiękowych Badań Materiałów IPPT PAN i Biuro Gamma, Warszawa 17. Nondestructive Testing. Eddy current. Vol. I, vol. II. Applications, PH Diversified, Inc., Harrisburg, Nondestructive Testing Handbook. Vol. 3. Radiography & Radiation Testing. Bryant L.E., McIntire P. - editors. Wyd. American Society for Nondestructive Testing, Second Edition, Nondestructive Testing Handbook. Vol. 4. Electromagnetic Testing. McMaster R. C., McIntire P., Mester M. L. editors. Wyd. American Society for Nondestructive Testing, Second Edition, Nondestructive Testing Handbook. Vol. 7. Ultrasonic Testing. Birks A. S., Green R. E., Jr., McIntire P. editors. Wyd. American Society for Nondestructive Testing, Columbus, Ohio Novak V.: Dokładne pomiary grubości warstw zoksydowanych w rurach systemów grzewczych w elektrowniach klasycznych. Badania materiałów, nr 1 (13), Oleś A.: Metody doświadczalne fizyki ciała stałego. WNT, Warszawa 1998

10 23. Rudnicki K., Langer A.: Kwalifikacja jakości warstwomierzy wiroprądowych i elektromagnetycznych produkcji Z.A.E. i W.M. INCO. Materiały VI Krajowej Konferencji Badań Nieniszczących, Szczecin Sękowski S.: Nieniszczące metody pomiarów grubości powłok ochronnych. Instytut Mechaniki Precyzyjnej. Branżowy Ośrodek Informacji Naukowo Technicznej, Warszawa Szummer A. (red.), Sikorski K., Kaczyński Ł., Paduch J., Stróż K.: Podstawy ilościowej mikroanalizy rentgenowskiej. WNT, Warszawa Szymandera E.: Ocena efektów obróbki cieplno chemicznej metodą prądów wirowych. Materiały III Krajowej Konferencji Badań Nieniszczących, Porąbka - Kozubnik Urbański P.: Metody instrumentalne w diagnostyce technicznej. Postępy Techniki Jądrowej, 24, 825, Urbański P.: Radiometryczne metody pomiarów grubości powłok. Instytut Chemii i Techniki Jądrowej, Warszawa 29. Urbański P., Antoniak W.: Izotopowy miernik grubości powłok sterowany mikrokomputerem. Zeszyty Naukowe Pol. Śląskiej, Seria Automatyka, 289, 76, Urbański P., Sękowski S.: Konkurencyjność metod radiometrycznych w nieniszczących pomiarach grubości powłok. Powłoki ochronne, nr 5-6, 44, Zastawnik P.: Wiroprądowy miernik grubości nieferromagnetycznych warstw przewodzących. Materiały I Krajowej Konferencji Badań Nieniszczących, Szczyrk 1990 W artykule wykorzystano materiały następujących instytucji i firm: 1. AZ Industry Supplier z Warszawy 2. HELMUT FISCHER GmbH + Co.KG, RFN 3. Instytut Chemii i Techniki Jądrowej z Warszawy 4. JOBIN YVON SPE Groupe HORIBA 5. Karl Deutsch, RFN 6. Krautkrämer GmbH & Co. ohg, RFN