ROZDZIAŁ IV OPIS PRZEDMIOTU ZAMÓWIENIA Definicje legalne: Laboratorium wszędzie gdzie w specyfikacji technicznej pojawia się sformułowanie laboratorium należy przez to rozumieć Laboratorium CryoSEM Mikroskop wszędzie gdzie w specyfikacji technicznej pojawia się sformułowanie mikroskop należy przez to rozumieć mikroskop elektronowy typu SEM Wymagane parametry dla systemu motoryzacji stolika do systemów mikroskopów elektronowych typu SEM System motoryzacji stolika do skaningowego mikroskopu elektronowego typu SEM musi spełniać następujące parametry: system musi być wyposażony w eucentryczny stolik, zmotoryzowany w 2 osiach, sterowany za pośrednictwem systemu komputerowego oraz przy pomocy joysticka i panelu sterującego system musi być kompatybilny z mikroskopami zainstalowanymi w laboratorium zakres prędkości ruchu musi wynosić minimum od 20 nm/s do 5 mm/s minimalny ruch stolika musi być nie większy niż 20 nm dokładność stolika musi być lepsza niż 1 mikrometr musi istnieć możliwość wyboru jednej z 3 predefiniowanych prędkości przesuwu musi posiadać możliwość zapamiętywania pozycji stolika i powrotu do zapisanych położeń kontroler stolika musi być wyposażony w interfejs RS-232 umożliwiający integrację z komputerem sterującym pracą EDS i komputerem sterującym pracą mikroskopu musi posiadać joystick umożliwiający poruszanie stolika w osiach X i Y kontroler musi być wyposażony w wyświetlacz elektroniczny musi posiadać możliwość automatycznego przesuwu stolika według zaprogramowanego wzoru musi posiadać możliwość programowego ograniczenia ruchu stolika w osiach X i Y zasilanie systemu musi być kompatybilne z mikroskopami w laboratorium instalacja systemu zostanie wykonana przez autoryzowany serwis gwarancja minimum 12 miesięcy od momentu odbioru i zainstalowania dostawca zapewnia serwis pogwarancyjny Strona1
Wymagane parametry dla systemu dekontaminacji do komory mikroskopu elektronowego typu SEM System dekontaminacji służy do efektywnego usuwania zanieczyszczeń węglowodorowych powstałych w trakcie wykonywania badań w mikroskopie typu FE SEM i FIB-CryoSEM. Resztki materii, które nie zostały usunięte przez układ próżniowy, w wyniku kontaminacji osadzają się na elementach wewnątrz komory mikroskopu, w tym również na elementach układu próżniowego jak również na próbkach. System dekontaminacji usuwa wszelkie zanieczyszczenia i pozwala na utrzymanie optymalnych warunków pracy mikroskopu, układu próżniowego, a szczególnie uzyskiwanie dobrej jakości obrazów przy dużych powiększeniach. Ponadto system dekontaminacji chroni szczególnie delikatne części mikroskopu, między innymi okna detektorów EDS i EBSD przed zanieczyszczeniem i pozwala na uzyskiwanie prawidłowych wyników analiz. System dekontaminacji działa przy użyciu tzw. techniki czyszczenia plazmowego. Wytworzona plazma przemieszcza się przez komorę mikroskopu i chemicznie reaguje z cząsteczkami węglowodorów rozbijając je na prostsze związki chemiczne, np. CO, CO 2 i H 2O. Zdegradowane w ten sposób węglowodory w łatwy sposób zostają usunięte przez system próżniowy z komory mikroskopu. Zakup dodatkowego systemu dekontaminacji pozwoli na bezawaryjną pracę systemów mikroskopów FE SEM i CryoSEM-FIB, a szczególnie detektorów SE, BSE, EDS, EBSD i delikatnych części działa elektronowego i jonowego. Jest niezbędnym narzędziem, które musi w sposób ciągły zabezpieczać mikroskopy przed nadmiernym zanieczyszczeniem komory. Cechy jakimi musi charakteryzować się system dekontaminacji: musi mieć możliwość zainstalowania do mikroskopu typu FE SEM i FIB-CryoSEM oraz musi w pełni współpracować z takimi mikroskopami zainstalowanymi w laboratorium nie może uszkodzić wrażliwych części mikroskopu musi mieć możliwość montażu w jednym z portów komory mikroskopu tak, aby jego praca w stosunku do systemu próżniowego i innych elementów znajdujących się w komorze była optymalna musi działać na zasadzie wzbudzania energią fal radiowych plazmy wolnych rodników musi usuwać, a nie maskować zanieczyszczenia węglowodorami i węglem powstałe w komorze mikroskopu musi posiadać zaprogramowane i automatyczne czyszczenie bez potrzeby manualnych poprawek proces czyszczenia musi mieć możliwość łączenia z czynnością wymiany próbki i odpompowania (uzyskiwania próżni) komory mikroskopu proces czyszczenia musi być wykonywany w zakresie ciśnienia od minimum 0.05 torr (7 Pa) do maksimum 0,6 torr (80 Pa) musi posiadać źródło tworzenia plazmy wolnych rodników tlenowych musi posiadać możliwość użycia powietrza lub innych gazów jako źródła tworzenia wolnych rodników tlenowych Strona2
musi wykonywać całkowite czyszczenie komory mikroskopu w czasie nie dłuższym niż 10 min musi zawierać oddzielny panel sterowania w komputerze, który kontroluje pracę systemu dekontaminacji panel sterowania musi pracować w systemie cyfrowym panel sterowania musi posiadać co najmniej następujące elementy kontrolujące: włączanie/wyłączanie napięcia, włączanie/wyłączanie źródła plazmy, pomiar i regulacja mocy źródła plazmy, wskaźnik poziomu próżni, wskaźnik błędów musi posiadać szeregowy port USB umożliwiający połączenie panelu kontrolującego z komputerem do sytemu dekontaminacji musi być dołączona płyta CD zawierająca interfejs graficzny do sterowania przy pomocy komputera klasy PC musi posiadać wszystkie niezbędne elementy do podłączenia systemu dekontaminacji do portu mikroskopu musi być wyposażony w butle o pojemności minimum 40 dm 3 z tlenem oraz w dwustopniowy reduktor musi posiadać wszelkie niezbędne rodzaje podłączeń i kabli do prawidłowego funkcjonowania urządzenia w laboratorium musi spełniać normy związane z wszelkimi podłączeniami, w tym również elektrycznymi, które są przyjęte w obszarze UE musi posiadać moc RF w zakresie minimum 0-20 Watów i o częstotliwości minimum 13.56 MHz musi posiadać zasilacz plazmy RF o wymiarach nie większych niż 30 cm x 30 cm x 30 cm musi posiadać elektronicznie sterowany zawór umożliwiający regulację ciśnienia dopływającego powietrza (lub innych gazów) jako źródła tworzenia wolnych rodników tlenowych musi posiadać manualne i automatyczne sterowanie systemem za pomocą oprogramowania lub przycisków na panelu sterowania LCD z możliwością programowania musi być wyposażony w filtr cząstek stałych na wlocie musi posiadać czujnik typu MicroPirani dla pomiaru próżni musi być wyposażony w płytę CD zawierającą oprogramowanie z bezterminową licencją musi posiadać instrukcję obsługi w języku angielskim w wersji elektronicznej musi posiadać przynajmniej 2 lata gwarancji gwarancja musi obejmować wymianę zepsutych elementów na nowe; wymianie podlegają tylko te elementy, które są niezużywalne wymiana elementów zużywalnych oraz materiałów eksploatacyjnych w okresie gwarancji nastąpi nieodpłatnie; za materiały i elementy zużywalne zapłaci użytkownik w przypadku awarii aparatury czas reakcji serwisu gwarancyjnego i pogwarancyjnego nie może być dłuższy niż 48 godzin a naprawa nie może być dłuższa niż 14 dni wymienione elementy muszą podlegać gwarancji na okres nie krótszy niż 2 lata Strona3
Dostawca po zainstalowaniu systemu dekontaminacji musi: przeprowadzić testy sprawdzające prawidłowość działania wszystkich jego elementów przeprowadzić testy sprawdzające usuwanie zanieczyszczeń i ich efektywność zapewnić materiały niezbędne do przeprowadzenia testów i szkolenia zapewnić szkolenie w zakresie budowy, obsługi i jego użytkowania przeszkolić minimum 2 osoby w okresie nie dłuższym niż 1 miesiąc od momentu podpisania protokołu odbioru Strona4
Wymagane parametry dla śluzy transferowej do mikroskopu elektronowego typu FE SEM Śluza transferowa umożliwia ładowanie preparatów do mikroskopu elektronowego w znacznie krótszym czasie (kilkadziesiąt sekund) niż przy otwieraniu całej komory (nawet do kilkunastu minut). Podczas wymiany preparatu przy pomocy śluzy transferowej komora główna mikroskopu jest w stanie wysokiej próżni. Tym samym ograniczone jest dostawanie się do komory potencjalnych zanieczyszczeń (pyłów, wilgoci itp.). Taki sposób wymiany próbki wpływa na wydłużenie bezawaryjnego czasu pracy mikroskopu i chroni przed kontaminacją wszystkie elementy znajdujące się wewnątrz mikroskopu. Szczególnie są chronione detektory obrazowania SE, BSE oraz detektory analizy składu chemicznego EDS. Ich czułe elementy detekcji elektronów i promieniowania rentgenowskiego są narażone najbardziej na kontaminacje, a tym samym na pogorszenie warunków pracy i skrócenie czasu ich żywotności. Ponadto wymiana preparatów przez śluzę transferową powoduje zmniejszenie zużycia gazów technicznych potrzebnych do operacji wymiany próbek przez otwarcie całej komory. Biorąc pod uwagę wysokie koszty zakupu gazów o dużej czystości potrzebnego do tej operacji, których koszt jest wysoki, w długiej perspektywie czasowej, użycie śluzy transferowej będzie dawało obniżenie kosztów eksploatacyjnych laboratorium. Zakup zapasowej śluzy transferowej do mikroskopów elektronowych pozwoli na polepszenie komfortu pracy (przyspieszenie operacji wymiany próbek), zmniejszy koszty eksploatacyjne oraz pozwoli na bezawaryjną oraz bez długich przestojów pracę aparatury w laboratorium CryoSEM. Zakładając dużą przepustowość badań wykonywanych w laboratorium, jakakolwiek awaria tego elementu nie spowoduje opóźnień w ich przeprowadzeniu. Podstawowe cechy śluzy transferowej: musi być w pełni kompatybilna z mikroskopami elektronowymi FE SEM i CryoSEM/FIB zainstalowanymi w laboratorium musi posiadać możliwość sterowania pracą z poziomu oprogramowania dedykowanego do mikroskopów musi posiadać niezależny układ sterowania pracą na panelu zewnętrznym musi być wyposażony w bezolejowy układ pompowania musi posiadać bramkę transferową prostokątną, umożliwiającą transfer standardowego, 9-pozycyjnego stolika mikroskopów i preparatów do maksymalnej średnicy 100 mm dostawca śluzy transferowej musi zapewnić transport, montaż i szkolenie oraz minimum 12 miesięcy gwarancji na całość instalacji, licząc od dnia uruchomienia urządzenia Strona5
Wymagane parametry dla systemu kompensacji zewnętrznych pól magnetycznych dla mikroskopu elektronowego typu FE SEM Dla zapewnienia odpowiedniej rozdzielczości mikroskopu FE SEM, pomieszczenie, w którym zostanie zamontowany mikroskop, musi być wyposażone w system kompensacji lokalnych pól magnetycznych. System tłumiący pole magnetyczne ma zapewnić odpowiednią stabilność przestrzennego położenia wiązki elektronowej i jonowej oraz musi obejmować zarówno detekcję jak i kompensację zewnętrznych pól magnetycznych. Cechy jakimi musi charakteryzować się system kompensacji zewnętrznych pól magnetycznych: musi eliminować pole magnetyczne pochodzące zarówno z urządzeń pracujących w laboratorium jak i z innych źródeł zewnętrznych takich jak urządzenia pracujące w pobliżu laboratorium, windy, tramwajowe sieci trakcyjne, prądowe linie przesyłowe i inne źródła mogące zakłócić pracę mikroskopu typu FE SEM zainstalowanego w laboratorium musi pracować w taki sposób, aby nie zakłócał pracy mikroskopów elektronowych znajdujących się w laboratorium musi eliminować pole magnetyczne jednocześnie w trzech wzajemnie prostopadłych kierunkach X, Y, Z musi kasować zewnętrzne pole magnetyczne w zakresie zmiennego pola magnetycznego pochodzącego od prądu zmiennego (AC alternating current) pomiary mszą być podawane w dwóch jednostkach: Gauss i Tesla, do wyboru przy pomocy przełącznika musi mieć wyjścia typu BNC umożliwiające obserwację w czasie rzeczywistym pola magnetycznego na oscyloskopie musi posiadać funkcje automatycznego ustawiania i wykonywania operacji musi tłumić i monitorować pole magnetyczne musi monitorować sieć internetową wymagany okres gwarancji na poprawne działanie systemu zapewniającego pracę mikroskopu bez zakłóceń pochodzących od zewnętrznych pól magnetycznych oraz spełniającego wszystkie parametry techniczne musi wynosić co najmniej 2 lata gwarancja musi obejmować wymianę zepsutych elementów na nowe w przypadku awarii aparatury czas reakcji serwisu gwarancyjnego i pogwarancyjnego nie może być dłuższy niż 48 godzin, a naprawa nie może trwać dłużej niż 14 dni wymienione elementy muszą podlegać gwarancji na okres nie krótszy niż 2 lata musi posiadać wydrukowaną instrukcję obsługi Strona6
System kompensacji zewnętrznych pól magnetycznych musi spełniać następujące parametry: musi tłumić zewnętrzne pole magnetyczne o wysokiej częstotliwości, dochodzącej do maksimum 9 khz musi dokonywać tłumienia zewnętrznego pola magnetycznego dla częstotliwości 9 khz co najmniej 12 razy lub więcej musi dokonywać tłumienia zewnętrznego pola magnetycznego przez sensor pola typu AC dla częstotliwości od 25 Hz do 6 khz co najmniej 20 razy lub więcej musi reagować na zmiany pola magnetycznego w czasie nie dłuższym niż 10 µs musi posiadać zakres tłumienia powyżej 20 mg (2,0 µt) pk-pk lub więcej sensor pola typu AC musi posiadać następujące parametry: ma tłumić pole w kierunku X, Y, Z ma mieć zakres dynamiki w kierunku X, Y, Z min. 20 mg (2 µt) pk-pk ma mieć wskaźnik redukcji pola min. 25 razy przy 50/60 Hz oraz min. 12 razy przy 9 khz ma mieć przepustowość w zakresie 1 Hz 60 khz wartość dopuszczalna hałasu dla sensora 1/f (zakres 0,05 do 1Hz) <50 µg (5 nt) pk-pk wartość dopuszczalna hałasu w miejscu sensora (przy 50 Hz) 0,1 µg/ Hz (10 pt/ Hz) pomiar pola musi spełniać następujące warunki: typy mierzonych pól: pole mierzone w czasie rzeczywistym, pole typu AC prawdziwa amplituda RMS wyświetlanie wartości mierzonych pól na min. 3,5 panelu LED zakres dynamiczny sensora powyżej 24 mg pk-pk (2,4 µt) zakres miernika 0-19.99 mg (1,999 µt) dla RMS dokładność pomiarów musi wynosić ± 1,0% odczytu ± 20 µg (± 2 nt) sensory są kalibrowane przy 50 Hz, 10 mg dla fali RMS system musi dawać w czasie rzeczywistym następujące sygnały: sygnały dla kierunków X, Y, Z skalowanie 1,0 V/mG zakres powyżej ± 12 V oporność źródła 1 kω (bez zwarcia) sygnały z kierunków X, Y, Z wychodzące każdy osobno z gniazda typu BNC przepustowość dla sensora typu AC 25 Hz - 200 khz sensor typu AC muszą być regulowane w zakresie 0-2,0 mg (200 nt) Strona7
System kompensacji lokalnych pól magnetycznych musi być zintegrowany z komputerem klasy PC w następujący sposób: musi posiadać podłączenie do komputera klasy PC w celu zdalnego monitorowania i rejestracji pola magnetycznego typu AC we wszystkich trzech kierunkach w panelu kompensatora musi znajdować się wyjście do komputera połączenie panelu kompensatora z komputerem musi odbywać się przez sieć LAN w technologii Ethernet oprogramowanie do zdalnego monitorowania i rejestracji pola magnetycznego musi pracować w systemie Windows oprogramowanie musi zawierać dwa moduły: moduł zarządzania panelem kompensatora moduł zdalnego monitorowania i rejestracji pola magnetycznego Dostawca po zainstalowaniu systemu kompensacji musi: przeprowadzić testy sprawdzające prawidłowość działania wszystkich jego elementów przeprowadzić testy sprawdzające usuwanie zewnętrznych pól magnetycznych typu AC zapewnić warunki niezbędne do przeprowadzenia testów i szkolenia zapewnić szkolenie w zakresie budowy, obsługi i jego użytkowania szkolenie ma być przeprowadzone dla minimum 2 osób w okresie nie dłuższym niż 1 miesiąc od momentu podpisania protokołu odbioru Strona8