Opracowanie nowych koncepcji emiterów azotkowych (380 520 nm) w celu ich wykorzystania w sensorach chemicznych, biologicznych i medycznych. (zadanie 14) Piotr Perlin Instytut Wysokich Ciśnień PAN 1
Do chwili obecnej japońskie firmy takie jak Nichia, Sony, Sanyo, Sharp koncentrowały się na uruchomieniu produkcji laserów do zastosowań w nowej generacji DVD Obudowa 5.6 mm Lub w miniaturowych wyświetlaczach laserowych np. Osram Obudowa 3.8 mm 2
Optical power (mw) Voltage (V) IWC PAN kontynuuje prace nad rozwojem laserów średniej i dużej mocy o długości fali około 405 nm 350 7 300 6 250 5 200 4 150 3 100 2 50 1 0 0 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1.0 1.1 1.2 Current (A) Przykład lasera o mocy optycznej 340 mw (IWC PAN + TopGaN) J thr =3 ka/cm 2, V thr =5.5V Uzyskaliśmy ostatnio lasery o gęstości progowej prądu 2 ka/cm 2 3
Diody laserowe emitery krawędziowe Metal oxide 3-5µm Active layer oxide Processing laserów: Depozycja tlenków i metali Trawienie jonowe Fotolitografia klasyczna i laserowa Montaż, lutowanie eutektyczne wire bonding Testy i lifetesty 4
5 5
Nowe aplikacje koherentnych źródeł światła (w tym sensorowe) wymagają nowych rozwiązań konstrukcyjnych Systemy emitujące wysoką moc optyczną Linijki laserowe d L Jednowymiarowa matryca diod laserowych Możliwość osiągnięcia mocy optycznych znacznie powyżej 1 W Potencjalna możliwość równoległego działania w przypadku linijek adresowanych Ten typ przyrządu nie występuje na światowych rynkach! 6
Linijki laserowe problemy do rozwiązania 1. Maksymalizacja sprawności lasera. 2. Rozwiązanie problemu odprowadzania ciepła i montażu 3. Fizyka oddziaływania emiterów - sprzężenia 7
Intensity (cps) Nowe długości fali Uzyskanie przyrządów o optymalnych parametrach pracujących w zakresie 380 520 nm poszerzy możliwość stosowania emiterów w różnych aplikacjach w tym sensorowych. Do tej pory w IWC PAN uzyskano emisję laserową w zakresie 380 430 nm, ale optymalne parametry były uzyskane w zakresie 390-415 nm. 100000 90000 LD117 402 nm 80000 70000 LD 151 393 nm LD116-416 nm 60000 50000 40000 30000 LD 416-430nm 20000 10000 0 360 380 400 420 440 460 480 Emission wavelength (nm) 8
380 405 500 nm Problemy do rozwiązania 1. Konstrukcja studni kwantowych, szczególnie barier. Stopy o niskim składzie In. Utrzymanie właściwej głębokości studni. 2. Minimalizacja absorpcji w rezonatorze. 3. Problemy niezawodnościowe duża energia fotonu. 1. Duży kwantowy efekt Starka. Naprężenia prowadzące do generacji defektów 2. Efekt Auger lub inny o zależności n 3 3. Wysokie straty w falowodzie 4. Słaby confinement optyczny modów. Milestony: 31.03.2010 - Demonstracja emisji laserowej w długości fali 460 nm 9
Diody superluminescencyjne (SLED) Przyrząd oparty o mechanizm emisji wymuszonej ale bez sprzężenia zwrotnego Cechy: Dobra koherencja przestrzenna, ale brak koherencji czasowej. Bardzo dobra wiązka (typu laserowej). Dość wysokie moce optyczne. Zastosowania: Tomografia laserowa, obrazowanie fluorescencyjne SLED azotkowe do tej pory nie zademonstrowane. 10
Diody superluminescencyjne (SLED) Trzy sposoby procesowania przyrządów 1. Warstwy antyrefleksyjne Pasek kontaktu Warstwy antyrefleksyjne 2.Dezorientacja paska laserowego 11
Diody superluminescencyjne (SLED) Diody z biernym obszarek absorbującym. 12
Diody superluminescencyjne (SLED) Opracowano podstawy processingu tego typu przyrządów Pierwsze próby zostaną przeprowadzone w ciągu miesiąca. Milestones: -30.09.2009 Demonstracja emisji ze struktury typu SLED o długości fali 405 nm - 30.09.2011 Osiągnięcie mocy 20 mw z diody superluminescencyjnej 13
Uzyskane wyniki matryce laserowe-mini linijki Wykonaliśmy następujące struktury: 3, 7 m szerokośd paska 20,40, 60 m stała linijki 500-700 m długośd rezonatora 14
Linijki struktura epitaksjalna Struktury epitaksjalne MOCVD Wyjsciowa ilośd dyslokacji rzędu 10 2 cm -2 Koocowa ilośd dyslokacji 10 4-10 5 15
Azotkowe minilinijki - trójpaskowe MINI Linijki Photo of our structure Procesowana jako oxide isolated ridge waveguide chipsy(300 m x 500 m) montowane p-do dołu na heat spreaderach diementowych Paski są połączone równolegle Cladding: 0.35 m Al 0.08 Ga 0.92 N EBL: Mg-doped Al 0.2 Ga 0.8 N 3 quantum wells Cladding: 0.55 m, Al 0.08 Ga 0.92 N InGaN- 1.9 % (3.5 nm) Si: InGaN- 10 % (8 nm) P-AlGaN GaN (0.1 m) P + AlGaN (20 nm) MQW GaN (0.1 m) N-AlGaN N-GaN Praca CW w Temp ~ 20 C 16
optical power (W) Intensity [arb. units] Parametry przyrządów 3 x 3 m, pitch 40 m Maksymalna moc optyczna 250 mw Bardzo wąskie widmo (1.5 Å) Quasi-jedno modowy 0.25 stripe 3 m x 3 m 9 I=1030 ma 0.20 6 0.15 0.10 3 0.05 0.00 0.0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 1.2 1.4 Current (A) 0 380 400 420 440 Wavelength (nm) 17
Parametry przyrządów 3 x 3 m, pitch 40 m Pomiary pola dalekiego Bezpośrednia projekcja na matrycę CCD. Pod progiem Około progu Nad progiem T T T L L L T - TRANSVERSAL L - LATERAL direction 18
Supermod? Nagła zamiana obrazu pola dalekiego sugeruje tworzenie supermodu. Efekt dziwny dla relatywnie dużej odległości między paskami 40 m Dlaczego efektywność sprzężenia jest tak wysoka: Dwa mechanizmy: Bezpośrednie sprzężenie przez zanikające fale Pośrednie sprzężenie przez mod podłożowy Substrate mode 19
obraz pola bliskiego przyrząd 3 x 7 m, pitch 20 m Propagacja 3 fal odpowiada wersji koherentnej 20
Milestones: 31.03.2009 - Demonstracja 10 emiterowej linijki laserowej (nieadresowanej). 30.09.2010 - Osiągnięcie mocy optycznej > 1 W dla linijki laserowej 31.03.2011 - Demonstracja adresowalnej, 10 emiterowej linijki laserowej dla długości fali z przedziału 400-430