Warszawa, dnia 17.11.2015r. WYJAŚNIENIE TREŚCI SIWZ Dotyczy przetargu nieograniczonego na: Dostawa stołowego skaningowego mikroskopu elektronowego wraz z wyposażeniem dla Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych w Warszawie. Zamawiający Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych z siedzibą w Warszawie uprzejmie informuje, że w trakcie postępowania o udzielenie zamówienia publicznego na: Dostawa stołowego skaningowego mikroskopu elektronowego wraz z wyposażeniem dla Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych w Warszawie. znak ZP/019/2015 prowadzonego w trybie przetargu nieograniczonego zgodnie z ustawą z dnia 29 stycznia 2004 r Prawo zamówień publicznych (Dz. U. z 2013 r poz. 907 z późniejszymi zmianami) Wykonawcy na podstawie art. 38 ust. 1 ww. ustawy zwrócili się o wyjaśnienie treści specyfikacji istotnych warunków zamówienia. PYTANIA WYKONAWCÓW: Pyt. 1 dot. SIWZ Tabela nr 1Tabela nr 1 3 Rozdzielczość obrazu w modzie BSE lub SE przy energii elektronów osiągających próbkę 10keV Nie gorsza niż 15 nm (gwarantowana w miejscu instalacji) 4 Rozdzielczość obrazu w modzie BSE lub SE przy energii elektronów osiągających próbkę 5keV Nie gorsza niż 25 nm (gwarantowana w miejscu instalacji) Czy Zamawiający dopuszcza mikroskop o parametrach: 3 Rozdzielczość obrazu w modzie SE przy energii elektronów osiągających próbkę 30 kev Nie gorsza niż 15 nm (gwarantowana w miejscu instalacji) 4 Rozdzielczość obrazu w modzie BSE przy energii elektronów osiągających próbkę 30 kev Nie gorsza niż 20 nm (gwarantowana w miejscu instalacji) Uzasadnienie: Oferowany system jest wyposażony w oba detektory obrazujące BSE oraz SE, pozwala na uzyskanie rozdzielczości 15nm dla detektora SE oraz 20nm dla detektora BSE (gwarantowane w miejscu instalacji). Zakres 5keV-30keV jest najwyższym dostępnym na rynku dla nastołowych SEM. Powyższe parametry czynią ten mikroskop uniwersalnym narządzeniem obrazującym, dodatkowo stosowanie wysokich napięć przyspieszających pozwala na otrzymywanie informacji z większych głębokości próbki i uzyskanie widma charakterystycznego promieniowania rentgenowskiego cięższych pierwiastków. Producent urządzenia nie specyfikuje, ani nie bada w teście akceptacyjnym maksymalnych rozdzielczości dla określonych(5,10 kev) wartości energii elektronów osiągających próbkę. Pyt. 2 dot. SIWZ Tabela nr 1Tabela nr 1 8 Minimalny zakres powiększeń elektronowych i kamery CCD z wykluczeniem powiększenia cyfrowego. Od 20x do 120 000x (w odniesieniu do formatu ekranu 19 ) 1
15 Wstępny podgląd próbek w komorze mikroskopu kolorową kamerą CCD z układem powiększającym obraz w zakresie co najmniej 20x -120x Wymagana co najmniej jedna kamera CCD z podświetlaniem do podglądu próbki w komorze Obraz z kamery wyświetlany na monitorze LCD. Czy Zamawiający dopuszcza mikroskop o parametrach: Minimalny zakres powiększeń elektronowych z wykluczeniem powiększenia cyfrowego. Od 30x do 120 000x (w odniesieniu do formatu ekranu 19 ) Wstępny podgląd próbek w komorze mikroskopu za pomocą czarno-białej kamery CCD Wymagana co najmniej jedna kamera CCD z podświetlaniem do podglądu próbki w komorze Obraz z kamery wyświetlany na monitorze LCD. Pyt. 3 dot. SIWZ Tabela nr 1Tabela nr 1 Oprogramowanie mikroskopu Oprogramowanie musi umożliwiać: -automatyczną korekcję astygmatyzmu, -automatyczne ustawienie ostrości obrazu, -automatyczne ustawienie jasności i kontrastu obrazu, - Cyfrowy obrót obrazu elektronowego -ustawienie parametrów urządzenia takich jak: powiększenie, energia elektronów, - wybór trybu obrazowania, -akwizycję, zapamiętywanie i obróbkę obrazu o rozdzielczości minimum 2048 x 2048 pikseli w co najmniej następujących przyjętych standardach: TIFF, BMP i JPEG - możliwość łączenia automatycznego serii zdjęć elektronowych w jeden obraz (image mapping) - interaktywne pomiary odległości, bezpośrednio na ekranie monitora z zapisem rezultatów pomiaru, w co najmniej jednym z następujących przyjętych standardów: TIFF, BMP i JPEG - zapamiętywanie wszystkich parametrów pracy mikroskopu podczas zapamiętywania obrazuzapewniając kontrolę parametrów pracy systemu; -Oprogramowanie musi umożliwiać rozbudowę o kolejne o co najmniej następujące opcje: pomiar pól powierzchni cząstek lub wielkości porów, rekonstrukcję obrazów 3D z opcją pomiaru geometrii 2D i chropowatości. Wykonawca przeprowadzać będzie bezpłatną aktualizację oprogramowania sterującego mikroskopem w ciągu co najmniej 5 lat od daty instalacji w miejscu instalacji mikroskopu. Czy Zamawiający dopuszcza oprogramowanie o poniższych parametrach? Oprogramowanie umożliwia: -automatyczna korekcja astygmatyzmu, -automatyczne ustawienie ostrości obrazu, -automatyczne ustawienie jasności i kontrastu obrazu, -ustawienie parametrów urządzenia takich jak: powiększenie, energia elektronów - wybór trybu obrazowania, -akwizycję, zapamiętywanie i obróbkę obrazu o rozdzielczości minimum 2048 x 2048 pikseli w następujących przyjętych standardach: TIFF, BMP i JPEG 2
- interaktywne pomiary odległości, bezpośrednio na ekranie monitora z zapisem rezultatów pomiaru, w co najmniej jednym z następujących przyjętych standardów: TIFF, BMP i JPEG -Oprogramowanie musi umożliwiać rozbudowę o kolejne o co najmniej następujące opcje: pomiar pól powierzchni cząstek lub wielkości porów, rekonstrukcję obrazów 3D z opcją pomiaru geometrii 2D i chropowatości. Wykonawca przeprowadzać będzie bezpłatną aktualizację oprogramowania sterującego mikroskopem w ciągu 5 lat od daty instalacji w miejscu instalacji mikroskopu. Pyt. 4 dot. SIWZ Tabela nr 1 19 Zoom cyfrowy obrazów elektronowych Co najmniej 10X Czy Zamawiający umożliwia realizację powiększeń cyfrowych z poziomu dodatkowego oprogramowania, zainstalowanego na jednostce sterującej? Pyt. 5,6 dot. SIWZ Tabela nr 1 21 System próżniowy sterowany automatycznie Wyposażony w bezolejową pompę próżni wstępnej, pompę turbomolekularną. Czy Zamawiający dopuszcza System próżniowy sterowany automatycznie Wyposażony w olejową pompę próżni wstępnej, pompę turbomolekularną? Pyt. 7 dot. SIWZ 25 Zasilanie awaryjne mikroskopu Do Urządzenia musi zostać dołączony automatyczny układ zabezpieczeń mikroskopu na wypadek awarii zasilania, spadku napięcia, w postaci UPS a z filtrami, zapewniający podtrzymanie zasilania urządzenia w czasie niezbędnym do bezpiecznego i bezawaryjnego wyłączenia urządzenia i nie krótszym niż 15 min. Układ zasilania awaryjnego musi posiadać zestaw wszystkich potrzebnych przewodów do połączeń, o długości wystarczającej do podłączenia mikroskopu. Czy Zamawiający dopuszcza system, który jest w standardzie wyposażony w zabezpieczenia na wypadek awarii zasilania i nie wymaga dodatkowego zabezpieczenia w postaci UPS? Uzasadnienie: W przypadku urządzeń wyposażonych we własny system zabezpieczeń, gdzie odłączenie zasilania nie powoduje żadnych zakłóceń w pracy mikroskopu, zakup urządzenia UPS jest bezzasadny i niepotrzebnie podniesie cenę mikroskopu. Czas przywrócenia mikroskopu do pracy po awarii zasilania trwa kilka minut(tak jak w przypadku włączenia mikroskopu bez wcześniejszej awarii zasilania). Pyt. 8 dot. SIWZ Tabela nr 1 W ramach testu akceptacyjnego w miejscu instalacji Urządzenia zostaną przeprowadzone następujące testy: 3
1. Sprawdzenie poprawności działania wszystkich układów i elementów Urządzenia poprzez przeprowadzenie testów sprawdzających według norm producenta. 2. Test rozdzielczości obrazowania wiązką elektronową. a. Zdolność rozdzielcza mikroskopu definiowana jako rozdzielczość obrazów elektronów wstecznie rozproszonych przy energii elektronów osiągających próbkę 5keV i 10keV na standardowej próbce ziaren złota na węglu nie powinna być gorsza 15 nm. Test : Pomiar rozdzielczości na próbce złota na podłożu węglowym (preparat dla potrzeb testu zapewnia Wykonawca) b. Zdolność rozdzielcza mikroskopu definiowana jako rozdzielczość obrazów elektronów wstecznie rozproszonych przy energii elektronów osiągających próbkę 5 kev na standardowej próbce ziaren złota na węglu nie powinna być gorsza niż 25 nm. Test : Pomiar rozdzielczości na próbce złota na podłożu węglowym (preparat dla potrzeb testu zapewnia Wykonawca) 3. Test obrazowania za pomocą układu detekcji elektronów wstecznie rozproszonych BSE: a. Obrazowanie w kontraście kompozycyjnym na próbce heterostruktury AIIBV przy użyciu detektora BSE lub SE (preparat dla potrzeb testu zapewnia Zamawiający) Test: zobrazowanie warstwy materiału o grubości 50 nm w heterostrukturze AIIIBV. 5. Test rozdzielczości energetycznej systemu EDS: Pomiar rozdzielczości na próbce Cu (preparat dla potrzeb testu zapewnia Wykonawca) Wykonawca musi zapewnić warunki i materiały niezbędne do przeprowadzenia testów. Czy Zamawiający dopuszcza poniższe testy akceptacyjne? W ramach testu akceptacyjnego w miejscu instalacji Urządzenia zostaną przeprowadzone następujące testy: 1. Sprawdzenie poprawności działania wszystkich układów i elementów Urządzenia poprzez przeprowadzenie testów sprawdzających według norm producenta. 2. Test rozdzielczości obrazowania wiązką elektronową. a. Zdolność rozdzielcza mikroskopu definiowana jako rozdzielczość obrazów elektronów wtórnych przy energii elektronów 30 kev na standardowej próbce lateksowe kulki pokryte złotem, na węglu nie powinna być gorsza 15 nm. Test : Pomiar rozdzielczości na próbce pokrytej złotem na podłożu węglowym (preparat dla potrzeb testu zapewnia Wykonawca) b. Zdolność rozdzielcza mikroskopu definiowana jako rozdzielczość obrazów elektronów wstecznie rozproszonych przy energii elektronów osiągających próbkę 30 kev na standardowej próbce lateksowe kulki pokryte złotem, na węglu nie powinna być gorsza niż 20 nm. Test : Pomiar rozdzielczości na próbce złota na podłożu węglowym (preparat dla potrzeb testu zapewnia Wykonawca) 4
3. Test obrazowania za pomocą układu detekcji elektronów wstecznie rozproszonych BSE: a. Obrazowanie w kontraście kompozycyjnym na próbce heterostruktury AIIBV przy użyciu detektora BSE lub SE (preparat dla potrzeb testu zapewnia Zamawiający) Test: zobrazowanie warstwy materiału o grubości 50 nm w heterostrukturze AIIIBV. 5. Test rozdzielczości energetycznej systemu EDS: Pomiar rozdzielczości na próbce Cu (preparat dla potrzeb testu zapewnia Wykonawca) Pyt. 9 dot. SIWZ Tabela nr 1 Lp. Oceniany parametr Wypełnia wykonawca, (czy urządzenie spełnia podane poniżej parametry niepotrzebne skreślić*) Liczba punktów 1. Mikroskop wyposażony w działo elektronowe z emisją elektronów z katody typu LaB6 lub CeB6 zapewniające bezawaryjną pracę w czasie nie mniejszym niż 2000 godzin. Tak/Nie* 0 lub 100 pkt. Czy Zamawiający dopuści do parametrów punktowanych mikroskop wyposażony w działo elektronowe z emisją elektronów z katody wolframowej, zapewniające pracę w czasie nie mniejszym niż 3400h(17 katod, czas pracy jednej 200h), katody w prosty sposób są wymieniane przez użytkownika po krótkim szkoleniu. Czas, na jaki mikroskop jest wyłączony z pracy to jedynie kilka minut. Lp. Oceniany parametr Wypełnia wykonawca, (czy urządzenie spełnia podane poniżej parametry niepotrzebne skreślić*) Liczba punktów 1. Mikroskop wyposażony w działo elektronowe z emisją elektronów z katody typu LaB6 lub CeB6 zapewniające bezawaryjną pracę w czasie nie mniejszym niż 2000 godzin. Lub Tak/Nie* 0 lub 100 pkt. Mikroskop wyposażony w działo elektronowe z emisją elektronów z katody wolframowej, zapewniające pracę w czasie nie mniejszym niż 5
3400h(17 katod, czas pracy jednej 200h) Uzasadnienie: Korzyścią zakupu mikroskopu z katodą wolframową jest bardzo niski koszt eksploatacji mikroskopu w okresie pogwarancyjnym wymiana jednego źródła elektronów(na czas pracy 200h) to około 300 PLN netto. Wymianę katody może przeprowadzić każdy użytkownik po 5-cio minutowym szkoleniu. Pyt. 10 dot. SIWZ Tabela nr 1 Detektor typu SDD: -powierzchnia aktywna minimum 25 mm2, -bez konieczności chłodzenia ciekłym azotem, -rozdzielczość minimum 140 ev, -co najmniej 300 000 zapamiętywanych zliczeń na sekundę, -oprogramowanie zapewniające wykonanie analizy jakościowej i ilościowej, punktowej, liniowej, oraz mapy składu pierwiastkowego, -możliwość uzyskania pełnego widma promieniowania rentgenowskiego dla każdego punktu mapy, Wzorzec do kalibracji detektora EDS Czy Zamawiający wyraża zgodę na detektor o poniższych parametrach: Detektor typu SDD: -powierzchnia aktywna minimum 30 mm2 -detekcja pierwiastków w zakresie: bor (5) - ameryk (95) -bez konieczności chłodzenia ciekłym azotem -rozdzielczość 133 ev, -co najmniej 150 000 zliczeń na sekundę -oprogramowanie zapewniające wykonanie analizy jakościowej i ilościowej, punktowej, liniowej, oraz mapy składu pierwiastkowego, -możliwość uzyskania pełnego widma promieniowania rentgenowskiego dla każdego punktu mapy, Wzorzec do kalibracji detektora EDS Uzasadnienie: Proponowany detektor EDS pozwala na detekcję pierwiastków w bardzo szerokim zakresie bor (5) - ameryk (95), cechuje się także bardzo wysoką rozdzielczością 133 ev. WYJAŚNIENIA, JAKICH UDZIELIŁ ZAMAWIAJĄCY: W odpowiedzi na powyższe zapytania, Zamawiający zgodnie z art. 38 ust 1. ustawy P.z.p wyjaśnia, iż: 6
Pyt. 1 i 8. Odp. Zamawiający nie dopuszcza mikroskopu o podanych przez Państwa parametrach oraz proponowanych testów akceptacyjnych. W ITME pracujemy z wieloma z materiałami nieprzewodzącymi lub słabo przewodzącymi, które muszą być badane przy napięciach poniżej 10 KV (w niskiej próżni - materiały nie przewodzące, które nie mogą być napylane warstwami przewodzącymi). Dla zapewnienia odpowiedniej funkcjonalności mikroskopu, konieczna jest wysoka rozdzielczość przy określonych w tabeli napięciach. Pyt. 2. Odp. Zamawiający nie dopuszcza mikroskopu o podanych przez Państwa parametrach. Obszary próbek do badań przy użyciu SEM mają różne kształty, wymiary i kolory. Dlatego konieczna jest kolorowa, cyfrowa kamera CCD o max dużym zakresie powiększeń. Pyt. 3. Odp. TAK - pod warunkiem, że urządzenie alternatywnie zapewnia mechaniczny obrót analizowanego materiału o kąt co najmniej +- 360 st. Pyt. 4. Odp. TAK - pod warunkiem, że oprogramowanie zapewni możliwość pomiarów geometrycznych, uwzględniając automatycznie zastosowane powiększenie. Pyt. 5 i 6. Odp. Zamawiający nie dopuszcza zaproponowanego przez Państwa systemu próżniowego. Urządzenie będzie zainstalowane w pomieszczeniu o podwyższonej klasie czystości i niedopuszczalne jest emisja nawet resztkowych par oleju do atmosfery w pomieszczeniu oraz do wnętrza komory. Nie ma możliwości wykonania dodatkowych instalacji wyciągu par oleju. Pyt. 7. Odp. TAK Zamawiający dopuszcza system, który jest w standardzie wyposażony w zabezpieczenia na wypadek awarii zasilania i nie wymaga dodatkowego zabezpieczenia w postaci UPS Pyt. 9. Odp. NIE 7
ITME dopuszcza jako jedną z opcji, możliwość dostawy mikroskopu z działem elektronowym z emisją elektronów z katody wolframowej, zapewniającej pracę w czasie nie mniejszym niż 2000h (w zestawie minimum 10 katod zapasowych, czas pracy jednej minimum 200h) ITME preferuje stabilność pracy katody w długim okresie czasu. Preferowana jest minimalna średnica wiązki stabilność średnicy wiązki umożliwiające maksymalną rozdzielczość szczególnie w niskiej próżni, przy niskich napięciach co zapewniają katody LaB6 i CeB6. Jasność źródła LaB6 i CeB6 jest ok 10-krotnie większa niż źródeł wolframowych, co dla potrzeb aplikacji ITME jest preferowane. Koszt eksploatacji katody po okresie gwarancji przy zastosowaniu zarówno katod wolframowych jak LaB6 i CeB6 są porównywalne i wynoszą ok. 1.5 zł/1 godz. pracy mikroskopu. Pyt. 10. Odp. Nie W SWIZ zawarto minimalne dla potrzeb ITME wymagania dla detektora SDD oraz systemu BSE. SWIZ został przygotowany w oparciu o wiedzę i doswiadczenie kilku fachowców zajmujących się profesjonalnie w ITME mikroskopią SEM. Zamawiający informuje jednocześnie, że przedłuża termin na składanie ofert o 2 dni z obecnego (18.11.2015r.) do 20.11.2015r. 8