Skaningowy mikroskop elektronowy

Transkrypt

1 Skaningowy mikroskop elektronowy SH-5000M / SH-4000 / SH-3500 / detektor EDS

2 Mikroskop elektronowy skaningowy z serii Hirox SH to najwyższej klasy system nastołowy, umożliwiającym szybkie obrazowanie w zakresie powiększeń x z zachowaniem rzeczywistej rozdzielczości sięgającej 5nm. Zakres napięć przyśpieszających(5-cio stopniowy: 5/10/15/20/30kv), detektory SE(obrazowanie topografii powierzchni) i BSE(obrazowanie prezentujące zróżnicowanie fazowe/chemiczne powierzchni próbki), a także zmienna próżnia czynią mikroskop najbardziej zaawansowanym nastołowym SEM na rynku. Mikroskopy Hirox SH są szybkie i proste w obsłudze. Dzięki rozbudowanej automatyzacji mikroskopu (automatyczna regulacja ostrości, kontrastu i jasności) oraz wyeliminowaniu potrzeby wstępnego przygotowania próbek, mikroskop jest dostępny dla wielu użytkowników. Źródło elektronów - katody wolframowe w postaci łatwych do samodzielnej wymiany kartridży redukują koszty serwisowe do zera, a także potwierdzają prostotę użytkowania i utrzymania mikroskopu. Dzięki rozbudowie o detektor EDS marki Bruker mikroskop zyskuje dodatkowe narzędzia analityczne, umożliwiające analizę składu chemicznego: o widmową ze zdefiniowanego punktu o analizę wielopunktowego obszaru o analizę obszaru liniowego o mapę widmową (mapowanie składu atomowego) o wyświetlanie histogramów, wykresów dwu i trójwymiarowych

3 - zakres powiększeń: x - max. zdolność rozdzielcza: 5 nm - źródło elektronów: włókno wolframowe - detektor: SE (możliwość rozbudowy o detektor BSE) - napięcie przyspieszające: 5-30kV (5/10/15/20/30 5 kroków) - funkcje automatyczne: automatyczne uruchamianie automatyczna regulacja ostrości automatyczna regulacja kontrastu i jasności - maksymalny rozmiar próbki: średnica 80mm, wysokość 35mm - uchwyt na próbki, 5 stopni swobody: osie X,Y: zakres 40mm, obrót 360 stopni, oś Z: 0-35mm, pochylenie: 0-45 stopni - zakres powiększeń: x - max. zdolność rozdzielcza: 15 nm - źródło elektronów: włókno wolframowe - detektor: BSE, SE - napięcie przyspieszające: 5-30kV (5/10/15/20/30 5 kroków) - funkcje automatyczne: o automatyczne uruchamianie o automatyczna regulacja ostrości o automatyczna regulacja kontrastu i jasności - tryby wysokiej i niskiej próżni: pompy rotacyjna i turbomolekularna - maksymalny rozmiar próbki: średnica 70mm, wysokość 30mm - stopnie swobody ruchu próbki: X (20mm), Y (20mm), obrót (360 stopni)

4 - zakres powiększeń: x - max. zdolność rozdzielcza: 20 nm - źródło elektronów: włókno wolframowe - detektor: BSE - napięcie przyspieszające: 5-30kV (5/10/15/20/30 5 kroków) - funkcje automatyczne: o automatyczne uruchamianie o automatyczna regulacja ostrości o automatyczna regulacja kontrastu i jasności - tryby wysokiej i niskiej próżni: pompy rotacyjna i turbomolekularna - maksymalny rozmiar próbki: średnica 70mm, wysokość 30mm - stopnie swobody ruchu próbki: X (20mm), Y (20mm), obrót (360 stopni) SE tryb topograficzny BSE - zróżnicowanie fazowe/chemiczne powierzchni próbki Doskonała rozdzielczość liczby atomowej 0,1Z dla liczby 30

5 Detektor EDS badanie składu chemicznego próbki Typ SDD - bez konieczności chłodzenia LN2 Detekcja pierwiastków w zakresie: bor (5) - ameryk (95) Rozdzielczość energii <=133 ev Analiza widmowa ze zdefiniowanego punktu, Analiza wielopunktowego obszaru, Analiza obszaru liniowego Mapa widmowa (mapowanie składu atomowego) Wyświetlanie histogramów, wykresów dwu i trójwymiarowych Akwizycja obrazu SEM Analiza pierwiastkowa Analiza ilościowa Analiza wielopunktowa Analiza obszaru liniowego Mapowanie składu chem.

6 Przykłady zastosowań Inżynieria Materiałowa: Metale/ceramika, włókna Rozkład cząstek i pomiary Badania zmęczeniowe, przełomy Półprzewodniki: Wafle krzemowe, LED, CNT Biologia/Farmacja: Jedzenie, bakterie, proszki Branża energetyczna: Ogniwa Słoneczne, elektrody, katalizatory Edukacja / Medycyna