CZĘŚĆ 1 PIEC PRÓŻNIOWY OPIS PRZEDMIOTU ZAMÓWIENIA Przedmiotem zamówienia jest: dostawa pieca próżniowego do wygrzewania nanomateriałów węglowych wraz z: wyposażeniem, instalacją, uruchomieniem, szkoleniem. Wszystkie elementy wchodzące w skład przedmiotu zamówienia muszą być fabrycznie nowe i muszą pochodzić z seryjnej produkcji. Piec wyposażony w układ próżniowy zawierający dwie pompy próżni wysokiej (pompa turbomolekularna i pompa dyfuzyjna) oraz jedną pompę rotacyjną, olejową o wydajności niezbędnej do współpracy z pompami wysokiej próżni. Piec składający się z komory (wewnątrz której znajduje się rusztowanie dla kilku metalowych półek), elementów grzejnych i chłodzących, filtra przed pompami wysokiej próżni i filtra oleju pompy rotacyjnej, armatury próżniowej, w tym zawory kątowe, mieszki (węże), uszczelki, klamry, śruby itp. Cały zestaw pieca próżniowego (tj. komora + pompy) wraz z panelem sterowania zawierającym włączniki pomp próżniowych, wyświetlacz do odczytu ciśnienia z głowicy z możliwością dołożenia jeszcze jednego punktu pomiaru ciśnienia, zamontowana jest na stoliku/wózku z profili duraluminiowych. 1. Piec próżniowy 1.1 przestrzeń robocza w kształcie walca 1.2 średnica wewnętrzna nie mniejsza niż 250 mm, długość nie mniejsza niż 300 mm 1.3 wewnątrz przestrzeni roboczej muszą znajdować co najmniej cztery swobodnie wyjmowane półki o płaszczyznach równoległych do osi komory 1.4 komora pieca musi być wyposażona w drzwi umieszczone prostopadle do osi komory o średnicy nie mniejszej niż 250mm 1.5 drzwi zawieszone na podwójnym solidnym zawiasie domykane co najmniej trzema śrubami z pokrętłami umożliwiającymi ich obrót gołą ręką 1.6 drzwi uszczelnione vitonowym ringiem o grubości wałka co najmniej 4 mm 1.7 wykonany ze stali kwasoodpornej typu 304 lub 304L 1.8 możliwość nagrzania przestrzeni roboczej do temperatury co najmniej 600 C, 1.9 możliwość pracy ciągłej w temperaturze pieca nie mniejszej niż 600 C, 1.10 układ musi zapewniać użytkownikowi płynną regulację temperatury przestrzeni roboczej 1.11 pomiar temperatury przestrzeni roboczej przy pomocy termopary 1.12 komora wyposażona ma być w wymienialny filtr utrudniający migrację cząstek stałych do układu pompowego, zaworów oraz głowicy próżniowej 1.13 możliwość chłodzenia pieca wodą w cyklu otwartym 1.14 piec próżniowy musi automatycznie wyłączać grzanie w przypadkach: braku przepływu wody chłodzącej, przekroczenia temperatury wody chłodzącej powyżej 90 C, przekroczenia maksymalnej temperatury wnętrza pieca, rozszczelnienia układu próżniowego 1.15 automatyczne zatrzymanie pomp próżniowych w przypadku rozszczelnienia układu próżniowego 1.16 średnica i wylot pompowy pieca zapewniać musi kompatybilność z flanszą ISO100 1.17 cały piec próżniowy wraz z układem pompowym zamontowany być musi na mobilnym stoliku 1.18 stolik roboczy nie wyższy niż 800 mm 1.19 blat stolika powinien większy niż 800 mm x 800 mm 2. Panel sterowania 1.20 zawierający włączniki pomp próżniowych, 1.21 wyświetlacz do odczytu ciśnienia z głowicy 1.22 możliwość dołączenia dodatkowego punktu pomiaru ciśnienia Strona 1 z 5
3. Pompa turbomolekularna 3.1 pompa turbomolekularna z bezobsługowymi łożyskami mechanicznymi umiejscowionymi od strony wylotu pompy co gwarantuje wysoki stopień czystości próżni 3.2 średnica i rodzaj wlotu pompy: ISO 100 3.3 średnica wylotu pompy: KF25 3.4 siatka ochronna na wlocie pompy 3.5 zawór zapowietrzający kontrolowany przez układ elektroniczny zestawu pompowego 3.6 zawór realizuje automatyczną procedurę bezpiecznego zatrzymania pompy turbomolekularnej 3.7 prędkość pompowania pompy turbomolekularnej: nie gorsza niż 250 l/s (azot), 255 l/s (hel), 220 l/s (wodór) niezależnie od rodzaju i wielkości flanszy wlotowej 3.8 wydajność pompowania dla N 2 : nie gorszy niż 170 sccm (niezależnie od flanszy wejściowej) 3.9 współczynnik kompresji nie gorszy niż: 1x10 11 (azot), 1x10 8 (hel), 1,5x10 6 (wodór), 1x10 11 (argon) 3.10 próżnia końcowa pompy (z odpowiednią pompą wstępną): < 1x10-10 mbar 3.11 czas rozruchu nie dłuższy niż 3 minuty 3.12 prędkość obrotowa pompy: nie gorsza niż 60000 rpm (maks. 1010 Hz) 3.13 pozycja pracy pompy turbomolekularnej: każda 3.14 poziom hałasu w odległości 1 m: < 50 db (A) 4. Pompa dyfuzyjna 4.1 pompa dyfuzyjna chłodzona wodą 4.2 prędkość pompowania nie gorsza niż: 160-200 l/s przy zasilaniu 240V, 50 Hz 4.3 próżnia końcowa pompy nie gorsza niż: 6,5 x 10-8 mbar 4.4 wbudowany standardowy cold cap ograniczający strumień wsteczny par oleju 4.5 pełnozakresowa głowica próżniowa zawierająca moduł Pirani oraz IMG 4.6 zakres wskazań głowicy nie gorszy niż: od atmosfery do 5x10-9 mbar 4.7 średnica i rodzaj podłączenia głowicy: KF25 4.8 kabel do podłączenia głowicy do kontrolera nie krótszy niż 3 m 5. Pompa rotacyjna, olejowa 5.1 prędkość pompowania nie gorsza niż 8,3 m 3 /h 5.2 próżnia końcowa pompy nie gorsza niż 2 x10-3 mbar 6. Generator arbitralny 6.1. Co najmniej 2 kanały wyjściowe 6.2. Częstotliwość próbkowania nie mniej niż 100 MSa/s 6.3. Rozdzielczość pionowa: nie gorsza niż 14 bitów 6.4. Pamięć: co najmniej 4 000 punktów 6.5. Wymagane przebiegi wyjściowe: sinus, prostokąt, piła, impulsy, szum 6.6. Możliwość definiowania przebiegów przez użytkownika 6.7. Wewnętrzny licznik częstotliwości o zakresie co najmniej do 200 MHz 6.8. Wyświetlacz LCD o rozdzielczości co najmniej 256 x 64 6.9. Interfejs USB do współpracy z pamięcią zewnętrzną 6.10. Minimalna szerokość zbocza: 35 ns 7. Aparatura powinna być kompletna tak, by po zmontowaniu i instalacji była gotowa do użycia zgodnie z jej przeznaczeniem bez potrzeby dodatkowych zakupów. 8. Uruchomienie urządzenia oraz przeszkolenie 2 pracowników Zamawiającego w jego siedzibie zrealizowane przez podmiot uprawniony przez producenta urządzenia lub jego dystrybutora. 9. Warunki gwarancji i serwisu gwarancyjnego i pogwarancyjnego 9.1. Wykonawca udzieli dla przedmiotu zamówienia gwarancji na okres co najmniej 12 miesięcy 9.2. Techniczny serwis gwarancyjny winien być prowadzony przez producenta oferowanego urządzenia 9.3. Czas reakcji Wykonawcy od momentu zgłoszenia telefonicznego, faksem lub pocztą elektroniczną przez Zamawiającego, wady, awarii, bądź usterki nie może przekroczyć 2 dni roboczych. Strona 2 z 5
9.4. Wykonawca zobowiązuje się do usunięcia wady, awarii, bądź usterki, w terminie 10 dni roboczych od chwili zawiadomienia o którym mowa w pkt. 8.3 Termin ten może ulec przedłużeniu do 2 tygodni, jeśli wymagane jest sprowadzenie części zamiennych. 9.5. Bieg terminu gwarancji rozpoczyna się w dniu dokonania przez Zamawiającego odbioru przedmiotu zamówienia bez zastrzeżeń. 9.6. Maksymalna liczba napraw powodująca wymianę podzespołu na nowy: 3 9.7. Wykonawca zapewni dostępność części zamiennych przez okres minimum 10 lat od daty zrealizowania zamówienia Do oferty należy dołączyć karty katalogowe, specyfikacyjne lub inną dokumentację parametrów technicznych producenta potwierdzające podane parametry w oryginale (Zamawiający dopuszcza dokumentację w języku angielskim) Strona 3 z 5
CZĘŚĆ 2 KOMORA PLAZMOWA Przedmiotem zamówienia jest: dostawa urządzenia do niskociśnieniowej aktywacji powierzchni plazmą mikrofalową wraz z: wyposażeniem, instalacją, uruchomieniem, szkoleniem. Wszystkie elementy wchodzące w skład przedmiotu zamówienia muszą być fabrycznie nowe i muszą pochodzić z seryjnej produkcji. 10. Mikrofalowy generator plazmy 10.1. częstotliwość 2,45 GHz 10.2. moc nie mniejsza niż 200 W, regulowana bezstopniowo 11. Komora aktwacyjna 11.1. wykonana ze szkła borokrzemowego o średnicy co najmniej 130 mm i długości co najmniej 300 mm, o poj. co najmniej 4 litry 11.2. obudowa komory aktywacyjnej wykonana ze stali nierdzewnej 11.3. drzwi komory mocowane na zawiasach o średnicy co najmniej 130 mm 11.4. co najmniej jedna połka szklana 11.5. możliwość doprowadzenia co najmniej 3 roboczych gazów reaktywnych do komory 12. Sterowanie 12.1. wbudowany panel sterujący 12.2. możliwość ustawienia czasu pracy urządzenia z automatycznym wyłącznikiem generatora 12.3. przepływ gazu roboczego przez komorę 13. Wyposażenie 13.1. co najmniej 3 zawory iglicowe do regulacji przepływu roboczych gazów reaktywnych 13.2. co najmniej 3 przepływomierze do gazów roboczych 13.3. miernik ciśnienia gazu w komorze 13.4. zintegrowana pompa rotacyjna, o wydajności nie mniejszej niż 2,5 m³/h, przeznaczona do pracy z gazami reaktywnymi 14. Wymiary urządzenia 14.1. nie większe niż 600x800x1000 mm (sz x wys x gł), 14.2. waga nie większa niż 50 kg 15. Zasilanie 15.1. 3 x 380 420 V, 50 60 Hz 16. Aparatura powinna być kompletna tak, by po zmontowaniu i instalacji była gotowa do użycia zgodnie z jej przeznaczeniem bez potrzeby dodatkowych zakupów. 17. Uruchomienie urządzenia oraz przeszkolenie 2 pracowników Zamawiającego w jego siedzibie zrealizowane przez podmiot uprawniony przez producenta urządzenia lub jego dystrybutora. 18. Warunki gwarancji i serwisu gwarancyjnego i pogwarancyjnego 18.1. Wykonawca udzieli dla przedmiotu zamówienia gwarancji na okres co najmniej 12 miesięcy 18.2. Techniczny serwis gwarancyjny winien być prowadzony przez producenta oferowanego urządzenia 18.3. Czas reakcji Wykonawcy od momentu zgłoszenia telefonicznego, faksem lub pocztą elektroniczną przez Zamawiającego, wady, awarii, bądź usterki nie może przekroczyć 2 dni roboczych. 18.4. Wykonawca zobowiązuje się do usunięcia wady, awarii, bądź usterki, w terminie 10 dni roboczych od chwili zawiadomienia o którym mowa w pkt. 9.3 Termin ten może ulec przedłużeniu do 2 tygodni, jeśli wymagane jest sprowadzenie części zamiennych. Strona 4 z 5
18.5. Bieg terminu gwarancji rozpoczyna się w dniu dokonania przez Zamawiającego odbioru przedmiotu zamówienia bez zastrzeżeń. 18.6. Maksymalna liczba napraw powodująca wymianę podzespołu na nowy: 3 18.7. Wykonawca zapewni dostępność części zamiennych przez okres minimum 10 lat od daty zrealizowania zamówienia Do oferty należy dołączyć karty katalogowe, specyfikacyjne lub inną dokumentację parametrów technicznych producenta potwierdzające podane parametry w oryginale (Zamawiający dopuszcza dokumentację w języku angielskim) Strona 5 z 5