Podręcznik ESD Ochrona przed rozładowaniami statycznymi w środowisku elektronicznym

Podręcznik ESD Ochrona przed rozładowaniami statycznymi w środowisku elektronicznym Podręcznik ESD Strona 1

Wstęp Ta publikacja została stworzona, aby pomóc wszystkim użytkownikom w zrozumieniu i zapobieganiu zjawisku wyładowań elektrostatycznych. Podręcznik nie może zastępować zaleceń dot. ochrony przed ESD oraz standardów bezpieczeństwa. Podręcznik oparty jest na CEI/IEC 61340-5-1: 1998 oraz CEI/IEC 61340-5-2/TS: 1999 publikowanych przez International Electrotechnical Commission z siedzibą w Genewie (Szwajcaria) http://www.iec.ch Standardy IEC 61340-5-1 IEC 61340-5-2 Ochrona urządzeń elektronicznych przez zjawiskiem elektrostatyczności Zalecenia Ogólne (1999) Ochrona urządzeń elektronicznych przez zjawiskiem elektrostatyczności Zalecenia dla użytkowników (1999) IEC 61340-4-1 ANSI/ESD S20.20-1999 ANSI/ESD S541-2003 Rezystancja elektryczna powłoki podłogi oraz montaż podłóg Ochrona elektronicznych i elektrycznych elementów, montażu i urządzeń USA 1999 (darmowy dostęp do norm na www.esda.org) Materiały do pakowania elementów wrażliwych na ESD USA 2003 (darmowy dostęp do norm na www.esda.org) Podręcznik ESD Strona 2

Co to jest ESD (Electro Static Discharge)? ESD, czyli rozładowanie elektrostatyczne jest definiowane jako transfer ładunków między obiektami o różnych potencjałach elektrycznych. Ładunki elektrostatyczne powstają, gdy dwa różne materiały są wzajemnie pocierane lub oddalane. Np.: - chodzenie po syntetycznej podłodze, - pocieranie syntetycznych części ubrań, - przesuwanie plastikowych pojemników, - rozwijanie taśmy samoprzylepnej, Elektryczność statyczna charakteryzuje się wysokim poziomem napięcia, poziom powyżej 10kV jest powszechny w tradycyjnym środowisku pracy, ale może sięgnąć 30 kv przy wilgotności poniżej 20%. Zbliżenie dwóch obiektów o różnych potencjałach powoduje przeskok ładunku w kierunku od potencjału ujemnego do potencjału dodatniego. Rozładowanie elektrostatyczne może również wystąpić w silnym polu elektrycznym przy zbliżaniu dwóch obiektów. Podręcznik ESD Strona 3

Zjawisko ESD powoduje: - wzrost kosztów, - obniżenie jakości, - niezadowolenie klientów. Poziomy ładunków generowane w typowych sytuacjach 10-25% RH 65-90% RH Chodzenie po dywanie 35000 V 1500 V Chodzenie po winylowej wykładzinie 12000 V 250 V Pracownik przy biurku 6000 V 100 V Krzesło z pianki uretanowej 18000 V 1500 V Typ komponentu VMOS MOSFET GaAsFET EPROM JFET CMOS OP-AMP BI-POLAR TRANSISTORS SCHOTTKY DIODES SCHOTTKY TTL Wrażliwość ESD 30-1800 V 100-200 V 100-300 V 100 V 140-7000 V 250-3000 V 190-2500 V 380-7000 V 300-2500 V 1000-2500 V Rodzaje kosztów wynikające z uszkodzeń ESD: awarie domowe (wyładowania atmosferyczne) uszkodzenia elementów elektronicznych łatwe do oszacowania i wykrycia uszkodzenia - ukryte, odroczone w czasie kilkukrotny wzrost kosztów (utrata klientów i reputacji) Podręcznik ESD Strona 4

Materiały Dla zastosowań ochrony przed ESD zalecanych jest wiele materiałów klasyfikowanych według ich rezystancji i charakterystyki rezystywności. Materiały osłaniające od rozładowań ESD (SHELDING materials) Pełną ochronę tego typu dostarcza klatka Faradaya. Ważnym materiałem osłaniającym od rozładowań statycznych jest przewodzący metal (mniej niż 10^3 Ω) lub węgiel, który tłumi oraz osłabia energię pola elektrycznego. Materiały przewodzące (Conductive materials) Charakteryzują się niską rezystancją (mniej niż 10^5 Ω), pozwalają na szybkie przemieszczanie się ładunku przez materiał. Jeśli materiał przewodzący jest uziemiony, to szybko pozbędziemy się ładunków z materiału. Przykłady materiałów przewodzących: węgiel, metale przewodniki, pot ludzki. Materiały rozpraszające ładunki (Static-dissipative materials) Są definiowane jako takie, których rezystancja powierzchniowa jest większa od 10^5, ale mniejsza niż 10^12 Ω. Ładunki spływają wolniej do uziemienia niż w przypadku materiałów przewodzących, redukowany jest ich niszczący potencjał. Materiały izolacyjne (Insulative materials) Są definiowane jako te, których rezystancja powierzchniowa jest wyższa od 10^12 Ω. Materiały izolacyjne mają wysoką rezystancję i są trudne do uziemienia. Ładunki statyczne przez długi czas pozostają w materiale tego typu. Przykłady materiałów izolacyjnych: szkło, powietrze, powszechnie stosowane opakowania plastikowe. Podręcznik ESD Strona 5

Uszkodzenia spowodowane ESD mogą wystąpić na każdym etapie: - produkcji - testów - składowania - pakowania - transportu - użytkowania Podstawy kontroli ESD to: - uziemianie - osłanianie - neutralizacja (jonizacja) 4 złote reguły: Załóż, że wszystkie aktywne komponenty są wrażliwe na ESD Chwytaj komponent tylko w strefie EPA przy odpowiednim własnym uziemieniu Przechowuj i transportuj komponenty wrażliwe na ESD w specjalnych pojemnikach antystatycznych Sprawdzaj regularnie system ochrony przed ESD, poprzez system wewnętrznego i zewnętrznego audytu Podręcznik ESD Strona 6

Symbole Podstawowy symbol składa się z żółtej dłoni na czarnym trójkącie. Tak jest oznaczany sprzęt i montaż wrażliwy na ESD. Wszystkie torebki, pudełka i odzież powinny być oznakowane symbolem ochrony antystatycznej. Litera umieszczona pod symbolem ochrony przed ESD oznacza funkcję ochronną: * C conductive (materiał przewodzący ładunki) D dissipative (materiał rozpraszający ładunki) S shielding (materiał osłaniający od ładunków) L low charging (materiał o słabych właściwościach ładowania) Symbol oznaczający strefę EPA - umieszczany na regałach, wózkach, krzesłach Podręcznik ESD Strona 7

Napisy zostały tak zaprojektowane, aby zwracały uwagę i przekazywały jasne instrukcje dla personelu i osób wizytujących przed wejściem do EPA. W przypadku, gdy mamy do czynienia z napięciem większym od 250VAC lub 500VDC dodatkowo umieszczane są napisy ostrzegawcze. Tabliczka ostrzegawcza EPA informuje o przebywaniu w strefie ochronnej Tabliczka ostrzegawcza EPA informuje o przebywaniu w strefie z wysokim napięciem Tabliczka ostrzegawcza EPA informuje o opuszczeniu strefy ochronnej Podręcznik ESD Strona 8

Uziemienie ludzi W celu eliminacji dużych ładunków statycznych konieczne jest zastosowanie przewodzących i rozpraszających materiałów, które mają mniejszą tendencję do generowania ładunków statycznych. System uziemienia powinien być użyty do zapewniania komponentom oraz personelowi tego samego potencjału elektrycznego. Właściwe i bezpieczne uziemienie musi łączyć stanowisko z potencjałem ziemi. Sprzęt do osobistego uziemienia Najważniejszym elementem uziemienia osoby na stanowisku jest opaska nadgarstkowa. Jest bezpiecznym i skutecznym sposobem na odprowadzenie ładunków z ciała ludzkiego. Opaska powinna być oczywiście połączone przewodem miedzianym z uziemieniem lub punktem uziemiania tzw. EBP (earth bonding points) Podręcznik ESD Strona 9

W wielu przypadkach, używane jest przewodzące obuwie lub opaski na buty. Taki sposób uziemienia powinien zapewniać dobry kontakt z uziemioną podłogą lub matą antystatyczną na podłogę. Niestety nie spełni swoich funkcji, jeżeli powierzchnia podłogi nie będzie właściwie uziemiona lub będzie wykonana z materiału izolacyjnego. Fartuch Przewodzące włókna zaszyte w materiale, z którego zrobiony jest fartuch, tworzą swoistą klatkę Faradaya. Dzięki temu otrzymujemy ochronę w postaci tłumienia statycznych pól elektrycznych. Połączone elektrycznie wszystkie części fartucha są dobrym sposobem na odprowadzenie niebezpiecznych ładunków. Rękawiczki Właściwe uziemienie pracownika nie zawsze wystarcza aby uniknąć niebezpiecznych uszkodzeń elementów. W przypadku szczególnie wrażliwych elementów, niestety nieuzbrojona dłoń nie zapewnia odpowiednio szybkiego rozładowania groźnych ładunków. Dobrym sposobem w tym przypadku jest zastosowanie rękawiczek antystatycznych. Krzesło Rezystancja między ziemią a jakąkolwiek częścią krzesła na której siedzi pracownik musi być nie mniejsza niż 1x10^10 Ω Przynajmniej dwa kółka muszą mieć kontakt z uziemionym podłożem. Podręcznik ESD Strona 10

Strefa EPA EPA (ESD Protected Area) jest definiowana jako przestrzeń, w której nie ma przedmiotów lub działań, które powodują uszkodzenia wrażliwych na ESD urządzeń. Maksymalne, dopuszczalne pole elektrostatyczne to: 100V/cm 1. Uziemione koła 2. Uziemiona powierzchnia 3. Tester opasek nadgarstkowych 4. Tester opasek na obuwie 5. Płyta do testowania obuwia 6. Opaska nadgarstkowa z okablowaniem 7. Przewód uziemienia 8. Uziemienie 9. EBP (Earth bonding point) 10. Gniazdo uziemienia na wózku 11. Opaska na obuwie 12. Jonizator 13. Powierzchnia rozpraszająca 14. Krzesło 15. Podłoga z powierzchnią rozpraszającą ładunki 16. Fartuch 17. Regał z uziemionymi powierzchniami półek 18. Tablica informacyjna EPA Podręcznik ESD Strona 11

Stanowisko pracy Ważną kwestią w przypadku każdego biurka roboczego jest to, aby było ono wykonane z materiału przewodzącego i aby było połączone właściwym okablowaniem z punktem uziemienia. Opaska z rezystorem 1 MΩ Niezbędne jest uziemienie wszystkich końcówek i grotów w stacjach lutowniczych Rg max 1x 10^7 Ω Mata podłogowa z powierzchnią rozpraszającą połączona z EBP (Earth bonding point) System okablowania łączący opaskę z uziemieniem powinien zapewniać rezystancję dłoń ziemia mniejszą niż 3,5 x 10^7 Ω Usuń wszystkie zbędne przedmioty ze stanowiska pracy (np. jedzenie, torby, napoje)! Przetestuj codziennie opaskę nadgarstkową! Dokonaj cotygodniowego przeglądu okablowania i poprawności połączenia mat z uziemieniem! Dbaj o czystość powierzchni mat antystatycznych, używając specjalistycznych środków. Nie używaj powszechnie stosowanych środków czystości, ponieważ pozostawiają one niewidoczną warstwę izolacyjną na powierzchni maty! Regularnie sprawdzaj swój osprzęt antystatyczny! Podręcznik ESD Strona 12

SPRAWDZAJ REGULARNIE SYSTEM OCHRONY PRZED ESD System ochrony przed ESD składający się z opaski nadgarstkowej, przewodzącego obuwia oraz mat antystatycznych wymaga regularnego sprawdzania. To jest podstawowe i bardzo ważne zalecenie standardu IEC 61340-5-1. Testy dla personelu Każda osoba przed wejściem do EPA powinna sprawdzić za pomocą testera opasek i/lub obuwia swoje osobiste wyposażenie uziemiające. Sprawdzaj opaski i obuwie antystatyczne dwa razy dziennie!!! Materiał antystatyczny użyty do wykonania powierzchni podłogi antystatycznej, musi spełniać bardziej restrykcyjne założenia i przynajmniej jeden z warunków: - rezystancja między osobą a uziemieniem musi być mniejsza niż 3,5 x 10^7 om. - max. poziom napięcia generowany przez dowolne ciało na powierzchni nie może przekraczać 100V Jest to łatwe do sprawdzenia. Proponujemy użycie megaomomierza z jedną elektrodą połączona z uziemieniem i drugą połączoną z osobą wyposażoną w obuwie antystatyczne i stojącą na właściwej podłodze. Sprawdzaj podłogę antystatyczną dwa razy w roku!!! Fartuch: Rękawiczki: Rs<1 x10^12 om 7.5 x 10^5 < Rg < 1 x 10^12 om Podręcznik ESD Strona 13

Metody stałego monitoringu Metoda pojemnościowa Metoda podwójnych opasek/ pętli prądowej Metoda detekcji zniekształceń pomiar zmiany pojemności dokładny, ale bardzo drogi system, konieczne zastosowanie specjalnych opasek bardzo dobry system nie wpływający na interferencje Testowanie strefy EPA Sprawdź biurko, matę podłogową, połączenia kablowe do uziemienia oraz jonizatory co miesiąc, a przyrządy pomiarowe co rok!!! Poziomy rezystancji względem potencjału ziemi: Powierzchnia blatu: Podłoga: Siedzisko: Narzędzia: 7.5 x 10^5 < Rg < 1 x 10^9 om Rg < 1 x 10^9 om Rg < 1 x 10^10 om Rg < 1 x 10^12 om Jonizatory Jonizatory neutralizują ładunki elektrostatyczne poprzez nawiewanie dużej ilości dodatnich i ujemnych jonów. Ilościowo liczba jonów dodatnich i ujemnych jest w równowadze. Istotne jest to, aby jonizator umieszczony był nad przedmiotem lub powierzchnią, która gromadzi ładunki. Sprawdzaj jonizator w okresach comiesięcznych!!! Podręcznik ESD Strona 14

Praca w terenie Praca w terenie jest najbardziej ryzykowną sytuacja dla zachowania bezpieczeństwa urządzeń pod względem czułości na ESD. Jest również często zaniedbywaną kwestią w zachowaniu pełnej ochrony przed ESD. W otaczającym środowisku mamy do czynienia z wieloma źródłami ładunków. Części zapasowe powinny być transportowane w kontenerach i pojemnikach antystatycznych. W przypadku pracy na odkrytym terenie powinna być użyta mata rozpraszająca połączona z opaską zawierającą 1 MΩ rezystor, a całość uziemiona również poprzez 1 MΩ rezystor. Narzędzia Narzędzia nie powinny być używane izolowaną dłonią. Grzejnik stacji lutowniczej służącej do montażu i demontażu komponentów elektronicznych również powinien być uziemiony oraz zasilany z napięcia bezpiecznego tzn. 6-24V Podręcznik ESD Strona 15

Najważniejszą jednak kwestią w bieżącej kontroli ESD jest bezpieczeństwo pracowników. W zakładzie gdzie przebiega linia napięcia zmiennego, sprzęt do osobistego uziemienia może stanowić potencjalne niebezpieczeństwo. Sprzęt do osobistego uziemienia nie powinien być używany przy napięciach większych od 250 VAC. W sytuacji, gdy występuje napięcie większe od 250 VAC lub 500VDC powinna być użyta odpowiednia tablica ostrzegawcza. (patrz str.9) KONFIGURACJA STREFY EPA Podręcznik ESD Strona 16

Transport i magazynowanie Do transportu komponentów najczęściej używane są przewodzące pianki. Zapobiegają one powstawaniu różnic potencjałów większych niż kilka Voltów pomiędzy wyprowadzeniami komponentów. Laski rozpraszające są używane do przechowywania wielu komponentów potrzebnych do montażu liniowego. Rozpraszające lub przewodzące kuwety, tacki lub uchwyty na PCB używane są do magazynowania pakietów. Torebki Powinny posiadać dwie funkcje: - generować niski poziom ładunku, - powinny być zrobione z materiału rozpraszającego lub przewodzącego. Podręcznik ESD Strona 17

Każde przemieszczanie pakietów elektronicznych powoduje generowanie ładunków statycznych. Bezpieczne pod względem ESD wózki powinny być wykonane z materiałów rozpraszających lub przewodzących oraz powinny być wyposażone w rozpraszające lub przewodzące koła. Jeżeli koła są wykonane z materiału izolacyjnego wózek powinien być uziemiony do podłogi poprzez specjalny metalowy łańcuch. Jeżeli podłoga w strefie EPA nie jest uziemiona, wtedy wózki powinny być uziemione poprzez stacjonarne połączenie z punktem uziemiającym EBP. Raki, karty i półki Każda powierzchnia, która jest wrażliwa na ESD powinna być uziemiona, a rezystancja punktpunkt powinna kształtować się na poziomie pomiędzy 1 x 10^4 a 1 x 10^10 Ω, a rezystancja do uziemienia pomiędzy 7,5 x 10^5 a 1 x 10^10 Ω. W przypadku powierzchni (np. stali pokrytej chromem), której rezystancja jest mniejsza od 1 x 10^4 Ω, użyj właściwych pudełek i mat rozpraszających. Podręcznik ESD Strona 18

Pakowanie Celem ochrony przed ESD w procesie pakowania jest zapobieganie rozładowaniom elektrostatycznym między elementami ESDS (ESD-sensitive) oraz umożliwienie rozproszenia ładunków na wszystkich powierzchniach zewnętrznych. Materiał przeznaczony do pakowania powinien zapewniać odpowiednia ochronę mechaniczną oraz ochronę przed zanieczyszczeniem kurzem i wilgotnością. IEC 61340-5-1 definiuje trzy poziomy pakowania: 1. bliski w kontakcie z elementami ESDS 2. pierwszorzędny nie ma kontaktu z elementami ESDS, ale styka się z jednym lub więcej elementem ESDS 3. drugorzędny głównie używany do fizycznej ochrony, jest przechowywany oddzielnie od elementów ESDS, poza strefą EPA Podręcznik ESD Strona 19

Torebki Antystatyczne Przeznaczenie: Koszt: do pakowania nie wrażliwych na ESD elementów wewnątrz strefy EPA niski Wygląd: przezroczyste lub srebrne (różowe, niebieskie, zielone) Materiał: Charakterystyka: polipropylen jedno lub wielowarstwowy Rs = 1 x 10^10 1 x 10^12 Ω T1000 < 2 sec przy 50%RH, 22 st.c Okres przechowywania: 1 rok Przewodzące: Przeznaczenie: dobry poziom ochrony dla wielu wrażliwych na ESD elementów, nie używać do pakowania elementów mocy Koszt: Wygląd: Materiał: Charakterystyka: średni czarne polipropylen z dodatkiem węgla Rs = 1 x 10^3 1 x 10^5 Ω Okres przechowywania: 5 miesięcy Ochronne: Przeznaczenie: Koszt: do pakowania wszystkich elementów wrażliwych na ESD wysoki Wygląd: metalizowane, z jednej strony przezroczyste Materiał: aluminiowo poliestrowe Charakterystyka: spełniają dwa wymagania: niskie ładunki i bariera dla rozładowania elektrostatycznego Okres przechowywania: ponad 2 lata Podręcznik ESD Strona 20

Podłoga Wykładzina podłogowa z warstwą odprowadzającą ładunki połączona z obuwiem antystatycznym lub odpowiednimi opaskami antystatycznymi na obuwie tworzy doskonały system odprowadzania niebezpiecznych ładunków. Wykładzina antystatyczna powinna być wykonana z dwóch warstw, dolnej - przewodzącej, połączonej z uziemieniem oraz górnej - rozpraszającej. Zalecenia wybierz podłogę o Rg mniejszej niż 3,5 x 10^7 Ω, która umożliwia uziemienie personelu poprzez system uziemienia podłogi i obuwia, jest to korzystna alternatywa uziemienia poprzez opaskę nadgarstkową, wybierz podłogę o właściwościach odpowiadającym warunkom ciągów komunikacyjnych np. częstotliwość przemieszczania wózków, ich waga oraz rodzaj zastosowanych kół, weź pod uwagę takie własności jak: zużycie powierzchni wykładziny, właściwości antypoślizgowe oraz wygłuszające, zapytaj dostawcę o okres gwarancji podłogi a szczególnie o okres w którym wykładzina będzie zachowywała swoje pierwotne właściwości rezystancyjne Podręcznik ESD Strona 21

Zalecenia dotyczące sposobów instalowania podłóg antystatycznych wyszczególniają trzy grupy: Wykładziny podłogowe zainstalowane za stałe Płytki winylowe montowane na paskach miedzianych i łączone specjalnym spoiwem właściwości: atrakcyjna estetyka, odporne na wzrost temperatury, odporne na środki chemiczne Płytki gumowe montowane na paskach miedzianych i łączone specjalnym spoiwem Wykładziny dywanowe właściwości: odporne na wzrost temperatury, odporne na środki chemiczne właściwości: atrakcyjna estetyka, możliwość zastosowania w biurach, trudny do osiągnięcia dobrych własności rozpraszających Podłogi żywiczne (epoxydowe, winylowe, poliuretanowe) właściwości: zmienna grubość w zależności od warunków w ciągach komunikacyjnych odporne na środki chemiczne łatwe w utrzymaniu czystości powierzchnia narażona na otarcia i zarysowania Wykładziny podłogowe zainstalowane okresowo właściwości: niższy koszt wykładziny trudny do osiągnięcia dobrych własności rozpraszających nietrwały i wymagający częstego montażu Podręcznik ESD Strona 22

Maty podłogowe położone na istniejącym podłożu Maty winylowe właściwości: możliwość dowolnej lokalizacji odporne na wzrost temperatury i na środki chemiczne ograniczone rozmiary Maty gumowe właściwości: możliwość dowolnej lokalizacji odporne na wzrost temperatury i na środki chemiczne ograniczone rozmiary Maty typu grid (polipropylenowe, polietylenowe) właściwości: możliwość dowolnej lokalizacji dobry komfort dla pracownika, izoluje od zimnego podłoża ograniczone rozmiary Wilgotność Bardzo ważnym czynnikiem środowiskowym w bieżącej kontroli ESD jest względna wilgotność relative humidity (Rh), dlatego istotnym elementem systemu ochrony przed ESD jest bieżący pomiar temperatury i względnej wilgotności powietrza. W przypadku niskiej wilgotności poniżej 30%, wszelkie izolatory bardzo łatwo gromadzą ładunki na swojej powierzchni. W takiej sytuacji rekomenduje się zastosowanie jonizatorów. Podręcznik ESD Strona 23

Jonizatory W przypadku, gdy nie możliwe jest tradycyjne zastosowanie uziemienia tzn. poprzez system okablowania odprowadzający ładunki lub gdy to okablowanie uniemożliwia bądź utrudnia pracę, konieczne jest zastosowanie jonizatorów. System jonizacji powietrza oparty jest na rozpraszaniu w atmosferze dodatnich i ujemnych jonów. Jony te wchodzą w kontakt z powierzchniami, na których znajdują się dodatnie i ujemne ładunki. Każdy ładunek przyciąga jon o przeciwnej polaryzacji i dzięki temu neutralizujemy niebezpieczne ładunki. Podział jonizatorów: jądrowe - wymaga bardzo skomplikowanego utrzymania AC - zapewnia szybką neutralizację przy użyciu dużego strumienia powietrza DC - zapewnia szybką neutralizację Rodzaje ochrony jonowej: lokalna (mała strefa) jonizatory nabiurkowe jonizatory pistoletowe kompletna (całe pomieszczenie) manuala kontrola środowiska automatyczna kontrola środowiska Każdy jonizator wytwarza określoną ilość ozonu. Maksymalny, akceptowalny poziom wytwarzanego ozonu nie może przekraczać: 0,2 mg/m^3 (0.1 ppm) Podręcznik ESD Strona 24

Podstawowe typy jonizatorów: Jonizator biurkowy Jonizator do montażu nad blatem roboczym, powyżej głowy pracownika. Jonizator pistoletowy Podręcznik ESD Strona 25

Pomiar rezystancji Rezystancja punkt-punkt Jest to rezystancja mierzona między dwoma dowolnymi punktami, przy użyciu megaomomierza i dwóch elektrod. Pomiar musi odbywać się przy zmierzonej temperaturze i względnej wilgotności, ponieważ pomiar rezystancji zależy od tych dwóch parametrów. Rezystancja względem uziemienia Jest to rezystancja mierzona między dowolnym punktem i potencjałem ziemi. Do tego celu używamy megaomomierza i jednej elektrody. Tak zmierzona rezystancja powinna być w przedziale: 7,5 x 10^5 Ω i 1 x 10^9 Ω W przypadku wielu materiałów pomiar rezystancji zależy od przyłożonego napięcia. Wg IEC61340-4-1 zależność ta przedstawia się następująco: Rx (Ω) Napięcie w otwartym obwodzie (V) Rx < 1 x 10^5 Ω < 10 1 x 10^5 Ω < Rx < 1 x 10^12 Ω 100 Podręcznik ESD Strona 26

Rezystywność powierzchniowa Rezystywność powierzchniowa definiowana jest jako rezystancja elektryczna powierzchni danego materiału (Ω/m^2). Pomiar wykonywany jest na zwymiarowanej powierzchni pomiarowej z użyciem dwóch równoległych elektrod lub jednej, koncentrycznej okrągłej sondy (concentric ring probe). Pomiar musi odbywać się przy zmierzonej temperaturze i względnej wilgotności, ponieważ pomiar rezystancji zależy od tych dwóch parametrów. Wartość rezystancji Jest definiowana jako stosunek napięcia stałego do prądu płynącego pomiędzy dwoma elektrodami. Między elektrodami umieszczony jest badany materiał. Wartość rezystancji wyrażona jest w Ω. Jest to powszechnie stosowana metoda pomiaru rezystancji mat z użyciem cylindrycznej i płaskiej elektrody. Rezystancja między osobą a uziemieniem Pomiar rezystancji osoby względem uziemienia szczegółowo specyfikuje zalecenie IEC61340-4-5. Odbywa się poprzez zmierzenie rezystancji w obwodzie miedzy dłonią osoby, poprzez obuwie antystatyczne i uziemiona podłogę. Podręcznik ESD Strona 27

Pomiar bezkontaktowy Możliwe jest również dokonywanie pomiarów takich parametrów elektrycznych jak: pole elektrostatyczne lub napięcie elektrostatyczne. W tym celu używamy miernika pola elektrostatycznego lub miernika napięcia elektrostatycznego, zbliżając sondy tych mierników na odległość wynikającą ze specyfikacji tych urządzeń (rys.) Pomiar pola elektrostatycznego Pomiar napięcia Podręcznik ESD Strona 28

Sprawdzenie skuteczności jonizatorów Pomiar skuteczności działania jonizatorów odbywa się poprzez zestaw składający się z miernika pola elektrycznego i urządzenia ładującego (charger) lub specjalistycznego miernika naładowanej płyt (charger plate monitor). Podręcznik ESD Strona 29

Raport Elektronik Kwiecie 2010 39