INSTRUKCJA OBSŁUGI PCU16

Transkrypt

1 INSTRUKCJA OBSŁUGI PCU16 POWER CONTROL UNIT

2

3 INSTRUKCJA OBSŁUGI PCU16 POWER CONTROL UNIT Rev. 1 Wersja Oprogramowania 1.0 Listopad 2013 Precision and Vacuum Technology

4

5 PCU16 Power Control Unit UŻYTKOWANIE PCU16 W TRYBIE NORMALNYM 1 UŻYTKOWANIE PCU16 W TRYBIE NOR- MALNYM Poniżej znajduje się opis jak używać PCU16 w trybie normalny. Zawiera on opis kroków które należy wykonać aby uruchomić lub zatrzymać pompowanie oraz procedurę wentylacji. 1.1 KONFIGURACJA C NORMALNY TRYB PRACY W normalnym trybie pracy otwieranie(włączanie) i zamykanie (wyłączenia) elementu odbywa się automatycznie. Oprogramowanie PCU16 uniemożliwia wykonywanie czynności, które mogą spowodować uszkodzenia pompy turbo molekularnej START POMPOWANIA Przebieg procesu pompowania różni się w zależności od stanu zaworu SV2 oraz poziomu próżni w komorze. Ze względu na te parametry rozróżniamy 3 przypadki pompowania dla tej kon iguracji: Jeżeli SV2 jest otwarty: to pompowanie przebiega dokładnie tak jak opisano w procedurze poniżej. Jeżeli zawór SV2 jest zamknięty oraz w komorze panuje wysoka próżnia to należy włączyć pompowanie zgodnie z procedurą poniżej. Zawór SV2 można otworzyć w momencie gdy TMP przejdzie w tryb NORMAL OPERATION. Jeżeli zawór SV2 jest zamknięty oraz różnica ciśnień między komorą a częścią poniżej zaworu SV2 jest mniejsza od 100mbar, to można otworzyć zawór SV2 i włączyć pompowanie. W przeciwnym wypadku należy wyrównać ciśnienia przez włączenie pompowania zgodnie z procedurą poniżej a następnie otworzyć zawór SV2. 1. Zainstaluj urządzenie - przez podłączenie niezbędnych elementów(zasilanie, głowice próżniowe, zawory, przewody komunikacyjne). 2. Włącz urządzenie za pomocą włącznika znajdującego się na panelu tylnym. 3. Skon iguruj głowicę próżni wstępnej oraz głowicę próżni wysokiej. Wybrany typ głowicy musi się zgadzać z typem głowicy izycznie dołączonej do danego kanału PCU W celu uruchomienia pompowania należy nacisnąć przycisk Start znajdujący się na panelu głównym. Jeżeli przycisk nie jest widoczny oznacza to, że wystąpiły błędy uniemożliwiające uruchomienie pompowania. 5. Po naciśnięciu Start zostaje włączona pompa wstępna. Zawór SV pozostaje zamknięty. Na ekranie jest wyświetlana informacja Pumping... Wait. 6. Pompowanie przy włączonej tylko pompie wstępnej trwa do momentu aż poziom próżni na głowicy próżni wstępnej osiągnie poziom Setpoint Po otwarciu zaworu SV urządzenie czeka 3s na wyrównanie ciśnień(przez ten czas wartość późni nie jest kontrolowana) Skrócona instrukcja obsługi rev. 1.0 Strona 5

6 8. Po ponownym spompowaniu do poziomu Setpoint 1 zostaje uruchomiona pompa trubomolekularna. 9. Pompa zaczyna się rozpędzać jeżeli poziom próżni wstępnej jest powyżej Setpoint 1. Jeżeli wartość próżni spadnie poniżej Setpoint 1, to pompa turbo zostaje zatrzymana od momentu aż poziom próżni wstępnej ponownie osiągnie wartość Setpoint Kiedy pompa turbomolekularna zostanie rozpędzona(przejdzie do stanu pracy "normal") i wartość próżni wysokiej osiągnie poziom Setpoint 2, to oznacza że system został poprawnie spompowany. Na główny ekranie PCU16 pojawia się informacja System Ready. 11. Jest możliwe włączenie wyjścia electronics(na panelu tylnym urządzenia) przez naciśnięcie przycisku Elec. On. 12. Zanik sygnału Setpoint 1, kiedy system został poprawnie spompowany powoduje zatrzymanie całego systemu pompowego i wyświetlenie komunikatu błędu ZATRZYMANIE POMPOWANIA I URUCHOMIENIE WENTYLOWANIA SYSTEMU W celu ruchomienia procedury wentylowania należy: 1. Będąc na głównym ekranie urządzenia PCU16 wybrać w prawym dolnym rogu okna przycisk "Show menu". 2. Po rozwinięciu "belki" należy wybrać przycisk "Device setup". 3. Z listy w "Setup" wybrać opcję "Venting". 4. Odpowiednio określić czas Wentylacji ( Venting Time ), jeżeli chcesz, aby system wykonywał automatyczną wentylację po zatrzymaniu systemu pompowego ustaw opcję "Auto Venting" na "On", dodatkowo musisz określić po jakim czasie od zatrzymania otworzy się zawór VV opcja "Auto Venting Time". 5. Nastepnie należy wrócić na główny ekran urządzenia. 6. Jeżeli chcesz zwentylować system przy otwartym zaworze SV2, musi być on otwarty, aby go otworzyć system musi być w stanie "Standalone" a Setpoint próżni wysokiej NIE jest osiągnięty lub w stanie "System Ready" - gdy pompa turbo uzyskała stan "Normal Operation". 7. Jeżeli system pompowy jest w trakcie pracy lub osiągnął stan "System Ready" na głównej formatce należy go zatrzymać naciskając przycisk "STOP", 8. Zawór SV pozostaje otwartym, pompy zostają zatrzymane. 9. Po wyhamowaniu pompy turbo będzie można uruchomić procedurę wentylacji naciskając na głównej formatce na zawór VV. 10. Zawór VV zostaje otworzony i w przypadku braku błędów zostaje rozpoczęta procedura wentylowania. 11. Po upłynięciu czasu Venting Time. 12. Procedura wentylowania może być uruchomiona automatycznie jeżeli została wybrana opcja auto venting. 13. Procedura automatycznego wentylowania nie zostanie uruchomiona jeżeli nie są spełnione warunki wymagane dla zwykłej wentylacji.

7 STEROWANIE ZAWOREM SV2 W zależności od kon iguracji sytemu, zawór SV2 może być typu 2-pozycyjnego lub 3-pozycyjny. Sterowanie zaworem odbywa się z poziomu Setup menu, gdzie można zmienić stan zaworu. W przypadku zaworu 2-pozycyjnego są to stany open oraz close, w przypadku zaworu 3-pozycyjnego są to stany open, part.open oraz close. Szczegółowe informacje na temat instalacji i kon iguracji PCU16 można znaleźć w instrukcji użytkownika: "PCU16. Power control unit. Operating manual"