MODEL MODUŁOWEGO SYSTEMU IMPLEMENTACJI INLETÓW RFID

Transkrypt

1 4/2010 TECHNOLOGIA I AUTOMATYZACJA MONTAŻU MODEL MODUŁOWEGO SYSTEMU IMPLEMENTACJI INLETÓW RFID Tomasz SAMBORSKI, Andrzej ZBROWSKI, Stanisław KOZIOŁ Systemy zabezpieczeń obiektów technicznych i dokumentów identyfikatorami elektronicznymi są coraz szerzej wykorzystywane zarówno w ochronie obiektowej, ochronie danych, bezpieczeństwie publicznym, jak i w komercyjnych dziedzinach gospodarki związanych z ochroną marki, ochroną autentyczności produktu czy też ochroną wizerunku producenta. Poszerzany jest zakres zastosowań przemysłowych, w których identyfikatory elektroniczne znajdują zastosowanie w kontroli procesów technicznych i technologicznych, automatycznej dystrybucji i w systemach magazynowych [1]. Metoda ta polega na przesyłaniu drogą radiową informacji zakodowanej w układzie elektronicznym i potocznie jest nazywana RFID (Radio Frequency Identification) [2]. Szybki postęp technologii wytwarzania układów RFID jest determinowany powiększaniem ilości informacji przechowywanych w ich pamięci oraz pojawiającymi się technikami fałszowania danych zawartych w nośnikach elektronicznych, jak również nowymi możliwościami podrabiania samych nośników. Niezbędne jest zatem stałe doskonalenie technik zabezpieczania dokumentów zawierających układy RFID i zawartych w nich danych [3, 4]. Na konieczność dalszego rozwoju i wykorzystania elektronicznych zabezpieczeń zarówno pod względem doskonalenia jakości, jak i coraz szerszego zastosowania wskazują tendencje światowe widoczne w postaci upowszechnienia tych rozwiązań w wielu dziedzinach życia i gospodarki oraz wprowadzanych nowych międzynarodowych uregulowań prawnych [5]. Jednym z nich jest zwiększenie bezpieczeństwa publicznego przez możliwość szybkiej i skutecznej identyfikacji osób [6]. Służą temu paszporty biometryczne [7] oraz dowody osobiste (national ID) w postaci kart plastikowych. Karty z elektronicznym układem scalonym służą także weryfikacji uprawnień dostępu do kont bankowych, pomieszczeń i urządzeń. Laboratoria naukowe [8] intensywnie rozwijają prace nad technikami zapisu, odczytu i transmisji danych biometrycznych [9] zawartych w identyfikatorach elektronicznych, np. zawierających układy RFID. Na rynku światowym istnieją nieliczne rozwiązania w postaci wysokonakładowych maszyn i specjalistycznych urządzeń do masowego wytwarzania układów RFID i ich implementacji w różnego rodzaju wyrobach [10]. Przeznaczenie do produkcji wielkoseryjnej sprawia, że prowadzenie prac badawczo-rozwojowych z zastosowaniem tych systemów jest nieefektywne ekonomicznie i organizacyjnie. Artykuł prezentuje opracowaną w Instytucie Technologii Eksploatacji PIB w Radomiu koncepcję oraz model modułowego systemu implementacji inletów RFID przeznaczonego do niskonakładowej i niskobudżetowej produkcji umożliwiającej tanie prototypowanie nowych generacji produktów z udoskonalonymi technikami zabezpieczeń. STRUKTURA SYSTEMU Przyjęta koncepcja ciągu technologicznego zakłada, że komponentami wejściowymi do produkcji będą: materiał nośny w postaci jednostronnie zadrukowanej wstęgi papieru lub folii, inlety RFID w postaci arkuszy, materiał zakrywający w postaci arkuszy, klej w postaci cieczy na zimno lub granulek termotopliwy. Produkt finalny (rys. 1) stanowią: karty, bilety, etykiety i inne dokumenty składające się z dwóch sklejonych warstw materiału (papieru syntetycznego itp.) z umieszczonym wewnątrz układem RFID, spersonalizowane elektronicznie (odpowiedni zapis w pamięci układu) oraz graficznie (indywidualny nadruk na powierzchni zewnętrznej) o podwyższonej trwałości, niezawodności, odporności na zniszczenie i zwiększonym poziomie ochrony przechowywanych informacji. Rys. 1. RFID Przykładowy wyrób z zabezpieczeniem w technologii Koncepcja modułowego systemu implementacji zakłada cykliczną, taktowaną i szeregową pracę układu technologicznego, z zatrzymywaniem wstęgi przewijanego materiału nośnego, w celu naklejenia inletów RFID i materiału zakrywającego oraz wykonania kolejnych zabiegów technologicznych. Moduły systemu stanowią odrębne zespoły funkcjonalne, przeznaczone do realizacji określonych zabiegów, zintegrowane w ramach ciągu technologicznego ze wspólnym układem sterującym. Procesy operacyjne realizowane są jednocześnie w odpowiednich gniazdach technologicznych. Położenie 30

2 TECHNOLOGIA I AUTOMATYZACJA MONTAŻU 4/2010 poszczególnych modułów w układzie technologicznym regulowane jest w zależności od parametrów konstrukcyjnych produkowanych wyrobów. Modularyzacja stwarza możliwości elastycznej aranżacji, powielania, usuwania i przemieszczania modułów funkcjonalnych, wzdłuż linii tworzącej główną oś ciągu technologicznego, w miejsca wynikające z podziału wstęgi przetwarzanego materiału na poszczególne użytki. Struktura systemu umożliwia uzupełnianie ciągu technologicznego o moduły potrzebne do produkcji szerokiego asortymentu wyrobów z zastosowaniem różnych technik wytwarzania (rys. 2). Układ sterowania (rys. 3) ciągiem technologicznym tworzy trójpoziomową hierarchię zarządzania. W poziomie pierwszym znajduje się sterownik PLC jako jednostka centralna układu. Rys. 2. Schemat ciągu technologicznego implementacji inletów RFID: 1 odwijak, 2 naprężacz, 3 układ pozycjonujący z kamerą, 4 moduł przyklejający inlet RFID (a zasobnik na inlety RFID, b siłownik o ruchu poziomym, c siłownik o ruchu pionowym, d podklejarka), 5 moduł przyklejający materiał pokrywający (a zasobnik na materiał przykrywający, b siłownik o ruchu poziomym, c siłownik o ruchu pionowym, d podklejarka), 6 moduł prasujący, 7 moduł kontrolno-programujący, 8 moduł personalizacji graficznej, 9 moduł wykrawający (a zasobnik na wyroby gotowe, b siłownik o ruchu poziomym, c siłownik o ruchu pionowym), 10 bęben zwijający odpad, 11 tunel suszący Schemat blokowy układu sterowania (linią przerywaną zaznaczono możliwości rozbudowy systemu o dodatkowe ele- Rys. 3. menty) 31

3 4/2010 TECHNOLOGIA I AUTOMATYZACJA MONTAŻU Drugi poziom sprzęgnięty bezpośrednio ze sterownikiem PLC obejmuje: komputer PC (zarządzający częścią obszaru sprzętowego znajdującego się w trzecim poziomie), serwomechanizmy (odpowiedzialne za przemieszczanie wstęgi materiału nośnego), panel operatorski (do kontaktu z operatorem), naprężacze (sprzęgnięte sygnalizacją z krańcowych czujników optycznych), moduły przyklejające inlety RFID i nakładki (realizujące procesy łączenia komponentów), układ podgrzewania w module prasującym (sprzęgnięte sygnałami z czujników termicznych), tunel suszący (stabilizujący temperaturę i warunki suszenia). Kolejny trzeci poziom zawiera: moduł kontrolno-programujący (zapisujący i odczytujący dane personalne drogą radiową), moduł drukujący (dokonuje personalizacji graficznej), układy pozycjonujące (zbierające i wstępnie analizujące informacje optyczne), moduł wykrawający (realizujący końcowy zabieg wykrawania i magazynowania produktu). MODEL WIRTUALNY CIĄGU TECHNOLOGICZNEGO IMPLEMENTACJI INLETÓW RFID Opracowana modułowa koncepcja urządzenia (rys. 4) zakłada jego pracę w sposób cykliczny, to znaczy z zatrzymywaniem wstęgi materiału nośnego, na którym są naklejane inlety RFID, materiał zakrywający i wykonywane kolejne zabiegi. Zabiegi technologiczne wykonywane są równolegle w odpowiednich gniazdach odpowiadających za realizację określonej czynności. Pozwala to na pracę z dowolnymi formatami wyrobów. Wstęga jednostronnie zadrukowanego materiału nośnego jest odwijana z roli zamocowanej w odwijaku 1 i po realizacji całego procesu technologicznego ażur powstały po wykrawaniu wyrobów jest nawijany na bęben 10. Wstęga stanowi transportowy element nośny materiałów wejściowych i półproduktów obejmujący całą długość maszyny. Za transport i odpowiednie zatrzymywanie wstęgi wraz z montowanymi na niej pozostałymi składnikami wyrobów odpowiada moduł prasujący 6. Moduły 1 i 10 wywołują odpowiednie naprężenia wstęgi po obu stronach modułu 6 powodujące wyrównanie materiału i zachowanie stabilnej odległości kolejnych użytków na wstędze. Pozostałe moduły i ich działania wykorzystują ruch i naprężenie wstęgi wywołane przez moduły 1, 6 i 10. Rola z zadrukowanym materiałem nośnym mocowana jest na wale odwijaka 1 w ten sposób, że nadruk po odwinięciu znajdzie się od spodu wstęgi. Odwijanie jest hamowane nastawnym mechanizmem ciernym o regulowanej sile tarcia pozwalającej na wywołanie naprężenia rozciągającego we wstędze lub za pomocą serwonapędu z przekładnią mechaniczną połączonego z wałem odwijaka. Zaletą drugiego rozwiązania jest możliwość dowolnego sterowania on-line naciągiem wstęgi oraz realizacja ruchu powrotnego bez konieczności stosowania naprężacza mechanicznego 2. Rys. 4. Koncepcyjny model maszyny do implementacji inletów RFID widok od strony głównej obsługi i nadzoru całego układu technologicznego 32

4 TECHNOLOGIA I AUTOMATYZACJA MONTAŻU 4/2010 Wstęga materiału nośnego jest naprężana stałą siłą w naprężaczu 2 w celu ustabilizowania jej ruchu oraz wywołania ruchu wstecznego w przypadku przejechania markera i konieczności cofnięcia materiału. Naprężacz 2 stanowi też bufor zmniejszający występujące siły i momenty bezwładności wynikające z cykliczności pracy linii. Siła naprężająca jest wywoływana ciężarem środkowej rolki obciążającej. Zadaniem układu pozycjonującego z kamerą 3 jest wzdłużne pozycjonowanie wstęgi materiału nośnego na podstawie markerów naniesionych podczas druku. Tor wizyjny układu kontroluje poprawność położenia markera po zatrzymaniu wstęgi z zadaną dokładnością. Układ jest sprzężony z modułem prasującym 6, który jednocześnie realizuje przemieszczanie wstęgi wzdłuż linii maszyny. Analiza obrazu markera widzianego przez kamerę powinna za pośrednictwem układu sterowania napędem modułu 6 doprowadzić do osiągnięcia zadanego położenia wstęgi. Od dokładności pozycjonowania zależy dokładność umieszczenia na wstędze inletu RFID, materiału zakrywającego, nadruku personalizującego i wykrojenie kształtu zewnętrznego. Przy dużych formatach wyrobów finalnych jeden moduł pozycjonujący powinien zapewnić wystarczającą dokładność montażu, druku i wykrawania. Przy formatach małych, dla których tolerancje wykonania muszą być mniejsze, a częstość taktowania większa, mogą pojawić się kłopoty z pozycjonowaniem nadruku i wykrawania (moduły 8 i 9). W takim przypadku niezbędne może się okazać zastosowanie drugiego układu pozycjonującego oraz dodatkowego bufora i napędu wstęgi umieszczonego przed modułem 8. Moduły przyklejające inlet RFID moduł 4 i materiał pokrywający moduł 5 mają praktycznie taką samą konstrukcję (rys. 5). Pionowy zasobnik a zawiera przyklejane elementy (inlety lub arkusiki materiału pokryciowego), które są ułożone i odpowiednio zorientowane. Ruchome dno magazynka w miarę wyczerpywania się zapasu elementów jest unoszone za pomocą mechanizmu śrubowego. Rozmiar magazynka jest dopasowany do konkretnego formatu elementu. Magazynek stanowi część łatwo wymienną, dzięki czemu może być napełniany poza maszyną. Elementy z magazynka są pobierane przez płytową ssawkę o odpowiednich wymiarach, zamocowaną do tłoczyska siłownika o ruchu pionowym c. Siłownik c jest zamocowany na zabieraku siłownika beztłoczyskowego o ruchu poziomym b. Przy całkowicie cofniętym siłowniku b siłownik c wykonuje ruch w dół i pobiera element z magazynka, po czym porusza się w górę. Następnie siłownik c wysuwa tłoczysko i przemieszczając przyssany element w kierunku osi maszyny, przemieszcza go po obracającym się wałku podklejarki d. Po osiągnięciu skrajnego położenia siłownika b, siłownik c wykonuje ruch w dół, przyklejając pokryty klejem element inlet lub materiał pokrywający na wstędze. Przyklejeniu towarzyszy odpowiedni docisk wywołany przez siłownik c. Podklejarki są zespołami przystosowanymi do pracy z klejem na zimno lub z klejem hot melt po wyposażeniu w podgrzewaną wannę (opcja). Sprzęgnięcie ruchu liniowego siłownika b z ruchem obrotowym wałka podklejarki d przy zastosowaniu kształtowego wałka pozwoli na wykorzystanie techniki pattern nakładania kleju zabezpieczającej przed zanieczyszczeniem elementy maszyny. Oba moduły 4 i 5 mogą być przemieszczane wzdłuż osi ciągu technologicznego i unieruchamiane tak, aby dopasować miejsce przyklejenia elementu na wstędze w pozycji ustalonej przez układ pozycjonujący 3. Rys. 5. Koncepcyjny model maszyny do implementacji inletów RFID widok modułów klejących Moduł prasujący 6 służy do odpowiedniego dociśnięcia sklejanych elementów i wyrównania ich powierzchni. Dodatkowo pełni rolę zespołu napędowego realizującego przemieszczanie wstęgi materiału nośnego. Moduł prasujący składa się z dwóch walców stalowych, dociskanych do siebie za pomocą sprężyn, z których jeden może być pokryty gumą lub innym materiałem zabezpieczającym przed uszkodzeniem chipy w układach RFID. Docisk może być regulowany napięciem sprężyn oraz w dowolnym momencie zwalniany za pomocą dźwigni (ręcznie lub automatycznie). Walce są ze sobą sprzężone kinematycznie za pomocą kół zębatych, dzięki czemu nie występuje między nimi poślizg. Walce są obracane za pomocą serwonapędu z enkoderem, co pozwala na precyzyjne programowanie ich ruchu i sprzężenie z układem pozycjonowania 3. W przypadku dodatkowych wymagań w zakresie podwyższonej temperatury prasowania możliwe jest zastosowanie walców podgrzewanych. W przypadku konieczności dodatkowego suszenia sklejonych elementów po ich sprasowaniu za modułem 6 może być umieszczony tunel suszący 11. Tunel wyposażony w oporowe elementy grzejne z układem stabilizacji temperatury i odpowiedni przedmuch powietrza pozwoli na dodatkowe odparowanie rozpuszczalników lub wody ze struktury wytwarzanego wyrobu. 33

5 4/2010 TECHNOLOGIA I AUTOMATYZACJA MONTAŻU Zadaniem modułu kontrolno-programującego 7 jest sprawdzenie, czy inlet RFID wklejony pomiędzy dwie warstwy papieru po zabiegu prasowania jest sprawny. Jeżeli wynik sprawdzenia jest pozytywny, następuje personalizacja dokumentu przez zapisanie w pamięci układu RFID indywidualnych danych dostarczonych przez komputer sterujący personalizacją. Jednocześnie wysyłany jest sygnał sterujący do modułu drukującego 8 uruchamiający odpowiednią personalizację graficzną i do modułu wykrawającego 9 aktywujący wycięcie gotowego dokumentu. W przypadku negatywnego wyniku sprawdzenia układu RFID moduł przekazuje sygnał sterujący anulujący personalizację graficzną w module 8 i wykrawanie w module 9. Moduł 7 składający się z czytnika i programatora dedykowanych do układów RFID wykorzystywanych w produkowanych dokumentach współpracuje z komputerem zarządzającym i odpowiednim oprogramowaniem. Pozytywny wynik operacji związanej z zapisem i odczytem danych elektronicznych jest sygnałem dla modułu personalizacji graficznej 8 wykonującego indywidualny nadruk na dokumencie skorelowany z danymi zapisanymi w module 7. Głównym zespołem wykonawczym jest przemysłowa drukarka graficzna. Treść nadruku przekazywana jest z komputera sterującego personalizacją. Miejsce naniesienia nadruku na dokumencie jest ustalane przez mechaniczne ustawienie drukarki wzdłuż osi maszyny oraz odpowiednie sformatowanie wydruku. Zadaniem modułu wykrawającego 9 jest wykrawanie gotowych wyrobów kart, biletów, dokumentów i odkładanie ich do odpowiedniego zasobnika 9a. Głównym elementem wykonawczym modułu jest wykrojnik introligatorski napędzany za pomocą pionowego siłownika. Wykrojnik wraz z siłownikiem jest zamocowany na stałe do korpusu modułu. Wycięte gotowe wyroby są odbierane z wykrojnika przez manipulator składający się z siłownika poziomego 9b i siłownika pionowego 9c, do którego zamocowany jest podciśnieniowy element chwytowy. Manipulator przenosi wyroby do zasobnika 9a. Tam wyrób jest odkładany, przy czym dno zasobnika jest ruchome i przesuwa się w dół w miarę jego napełniania pod działaniem siły wywieranej przez siłownik 9c. Bęben zwijający 10 służy do zwijania na rolę odpadu w postaci ażuru zawierającego również niewycięte wyroby, w których stwierdzono uszkodzenie układu RFID. Bęben służy również do wywołania napięcia wstęgi materiału nośnego na odcinku między modułem 6 a modułem 10. Bęben nawijający jest napędzany silnikiem o regulowanym momencie obrotowym, co pozwala na precyzyjną regulację naciągu wstęgi. Może okazać się wskazane zastosowanie pomiędzy modułami 9 i 10 naprężacza zbudowanego analogicznie jak w module 2 w celu wytworzenia bufora pomiędzy poruszającą się okresowo wstęgą a bębnem. Konstrukcję nośną urządzenia tworzą profile aluminiowe (np. systemu BOSCH). Pozwoli to na zbudowanie elastycznej i prostej, a zarazem estetycznej konstrukcji podatnej na łatwą modyfikację i rozbudowę. Najważniejszą część korpusu stanowią wzdłużne profile poziome, na których mocowane są wszystkie moduły tworzące główny ciąg technologiczny. PODSUMOWANIE Doskonalenie technik wytwarzania zabezpieczonych elektronicznie dokumentów ma na celu uzyskanie wyrobu trudnego do sfałszowania oraz odpornego na czynniki wynikające z naturalnej eksploatacji. W opisanej technologii warstwowego wytwarzania wyrobów istotnym fragmentem jest proces klejenia poszczególnych warstw. Odpowiednia jakość połączenia decyduje o odporności na delaminację pozwalającą na fałszowanie dokumentu przez wymianę inletu RFID. Trwałość połączenia wpływa także na odporność na warunki eksploatacji. Przedstawiony model ciągu technologicznego implementacji inletów RFID dzięki modułowej konstrukcji pozwala na elastyczne kształtowanie parametrów procesu technologicznego wytwarzania dokumentów z zabezpieczeniem elektronicznym. Unifikacja systemu mocowania wszystkich modułów tworzących ciąg technologiczny umożliwi swobodne ich przemieszczanie względem siebie zgodnie z realizowanym procesem. Otwarta struktura systemu sterowania w połączeniu z konstrukcją mechaniczną ciągu pozwala na wprowadzanie nowych, dodatkowych modułów (napinacze, układy pozycjonowania, wykrojniki itp.) lub zastępowanie istniejących. Zastosowanie różnych technik łączenia (klejenia) komponentów tworzących wyrób finalny umożliwi optymalizację technologii wytwarzania (pod kątem wytrzymałości mechanicznej) w warunkach zbliżonych do produkcji seryjnej. Przedstawiona koncepcja pozwoli na elastyczne i tanie wytwarzanie wyrobów o dowolnych formatach i kształtach w warunkach produkcji eksperymentalnej, niskonakładowej i niskobudżetowej, realizowanej na potrzeby ustawicznego doskonalenia konstrukcji prototypów oraz krótkich serii produktów innowacyjnych o zwiększonej trwałości i wyższym poziomie zabezpieczeń. LITERATURA 1. Penttilä K., Keskilammi M., Sydänheimo L., Kivikoski M.: Radio frequency technology for automated manufacturing and logistics control. Part 2: RFID antenna utilisation in industrial applications. The International Journal of Advanced Manufacturing Technology. Vol. 31, November 2006, pp Witschnig H., Merlin E.: About history, basics and applications of RFID technology. Elektrotechnik und Informationstechnik, Vol. 123, March 2006, pp

6 TECHNOLOGIA I AUTOMATYZACJA MONTAŻU 4/ Langheinrich M.: A survey of RFID privacy approaches. Personal and Ubiquitous Computing. Vol. 13, Issue 6, August 2009, pp Juels A.: RFID security and privacy: A research survey. IEEE Journal on Selected Areas in Communications 24, 2 (2006). 5. Schmidt G.: Bezpieczny dokument. PWPW. Człowiek i Dokumenty nr Neuby B. L., Rudin E.: Radio Frequency Identification: A Panacea for Governments Public Organization Review. Vol. 8, December 2008, pp Goliński T.: Polski Paszport Biometryczny. PWPW. Człowiek i Dokumenty nr The Zurich Information Security Center, ethz.ch/ 9. Danev B., Heydt-Benjamin T., Capkun S.: Physicallayer Identification of RFID Devices. Proceedings of the USENIX Security Symposium, RFID Smart Labels A How to guideto manufacturing and performance for the label converter. 2 edition. Tarsus E&L Publication, London Dr inż. Tomasz Samborski, dr inż. Stanisław Kozioł i dr inż. Andrzej Zbrowski są pracownikami Instytutu Technologii Eksploatacji Państwowego Instytutu Badawczego w Radomiu. ciąg dalszy ze str Dynamika przemieszczeń tarczy obrotowej przestawianego stołu obrotowego ze strumieniowym napędem. 3. Zautomatyzowany kompleks do oceny jakości płytek skrawających z węglików spiekanych, kompletowanych w zespołowe wieloostrzowe narzędzia. 4. Zwiększenie przenoszonych obciążeń i dokładności funkcjonowania adaptacyjnych sprzęgieł ciernych. 5. Wyznaczanie granicznych parametrów funkcjonowania chwytaka robota-manipulatora. 6. Cechy charakterystyczne montażu samochodów i zespołów. 7. Zwiększanie dokładności montażu ruchomych cylindrycznych połączeń. 8. UPAKOVKA/UPAK ITALIA Międzynarodowe Targi Maszyn i Urządzeń dla Przemysłu Opakowaniowego, Opakowań i Maszyn Pomocniczych w Moskwie. SBORKA nr 6 (119), Zautomatyzowana stabilizacja temperatury w strefach pomiarowych wydziałów montażowych. 2. Wpływ odchyłek kształtu powierzchni na nośność połączeń wciskanych narzędzi wiertniczych. 3. Automatyzacja wyznaczania optymalnych warunków montażu korpusów urządzeń naftowo-gazowych. 4. Kontrola jakości montażu wyrobów maszynowych na podstawie diagnozowanych parametrów. 5. Obliczeniowo-mimośrodowa metoda montażu wirników. 6. Metody kompensacji błędów w montażu przyrządów optycznych. 7. Automatyzacja technologicznego serwisowania i prac remontowych sprężarki odśrodkowej agregatu gazoprzepływowego. 8. Wpływ substancji anaerobowych na rozkłady obciążeń w połączeniu śrubowym. 9. Konkurencyjne technologie wytwarzania łączników o jednakowej wytrzymałości. 10. Zadanie kontaktowe dla warstwy pierścieniowej o dowolnej grubości z uwzględnieniem sił tarcia w strefie kontaktu. 11. Wkręty wadliwie zaokrąglone główką i gwiazdowym wgłębieniem pod klucz. GOST ISO ASSEMBLY AUTOMATION Volume 29 Issue 4, 2009 Opracował: Jerzy Łunarski Wydanie specjalne: MEMS i montaż MEMS. The fast-moving world of MEMS technology. Szybko zmieniający się świat technologii MEMS. Celem niniejszej pracy jest przedstawienie przeglądu technicznego technologii krzemowych mikrosystemów elektromechanicznych (MEMS) oraz jej zastosowań. Na wstępie opisano produkcję mikroelektromechanicznych systemów i techniki ich montażu, zagadnienia doboru produktów na podstawie informacji rynkowych, ich zastosowania. Artykuł zakończono krótkim przeglądem badań nad rozwojem MEMS. Technologia produkcji krzemowych MEMS wywodzi się od technik stosowanych w produkcji półprzewodników i przyniosła zróżnicowaną i stale rosnącą gamę czujników, siłowników i innych miniaturowych urządzeń, które znajdują zastosowanie w wielu gałęziach przemysłu. W artykule zawarto szczegółowy przegląd technologii MEMS i ich zastosowania. ciąg dalszy str