Mikroskop skaningowy SEM z wyposaeniem

1 Sprawa Nr: NA-P/ 22 /2009 Załcznik nr 3 do SIWZ PARAMATRY TECHNICZNE PRZEDMIOTU ZAMÓWIENIA Nazwa i adres Wykonawcy:...... Nazwa i typ (producent) oferowanego urzdzenia:.... OPIS PRZEDMIOTU ZAMÓWIENIA MINIMALNE WYMAGANIA TECHNICZNE Przedmiotem zamówienia jest dostawa i instalacja systemu skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM) ze zintegrowanym spektrometrem rentgenowskim (EDX), Systemem Cryo i aparatem do suszenia w punkcie krytycznym Lp. Parametry wymagane: Parametry oferowane: Mikroskop skaningowy SEM z wyposaeniem 1 Mikroskop powinien by uniwersalnym, sterowanym cyfrowo, wysokorozdzielczym instrumentem najnowszej generacji, z katod wolframowa, moliwoci o rozbudow o LaB 6 i z moliwoci pracy w warunkach zmiennej próni w komorze. 2 Mikroskop powinien umoliwia - badanie powierzchni rónorodnych materiałów, w tym uwodnionych, nieprzewodzcych i silnie odgazowujcych - w stanie naturalnym i bez wstpnego preparowania. 3 - prac w warunkach wysokiej i niskiej próni. Warto niskiej próni powinna wynosi co najmniej 3000Pa. Wymagany jest take układ pracujcy z rónymi gazami roboczymi, w tym z par wodn. 4 Napicie przyspieszajce powinno by nastawiane w sposób płynny w zakresie od 0,2 30 kv 5 Zdolno rozdzielcza powinna nie mniejsza ni: a) 3,0 nm przy 30 kv w trybie wysokiej próni (SE) b) 20nm przy 1kV (SE, wysoka prónia) c) 10nm przy 5kV(SE, wysoka prónia d) 5nm przy 30 kv w trybie niskiej próni. (BSD) 6 Zakres powikszenie powinien wynosi od 5-1.000.000x 7 Prd próby (probe current) ustawiany w zakresie od 1 pa do 5µA 8 Mikroskop powinien by wyposaony w co najmniej nastpujce detektory a) Detektor SE do pracy w trybie wysokiej próni b) - Detektor SE do pracy w niskiej próni c) - Detektor 5QBSD do pracy w wysokiej i niskiej próni

2 (piciosegmentowy) d) Detektor STEM do obrazowania elektronów przechodzcych e) - Kamera CCD na podczerwie do podgldu wntrza pomory 9 Stolik kompucentryczny, zmotoryzowany w 5 osiach, Przesuw stolika w osi X min 125mm w osi Y min 125 w osi Z min 50 mm Obrót 360 Pochylenie 0-90 10 Ruchy stolika powinny by sterowane we wszystkich osiach zewntrznym joystickiem z kompensacja powikszenia 11 Precyzja (powtarzalno) ustawienia stolika powinna wynosi przynajmniej 2µm Moliwo zapisu i ponownego odczytu połoenia stolika 12 Komora prób rednica min. 360 mm., wysoko min 270 mm 13 Moliwo włoenia do komory próby o wymiarach minimalnych rednica 250mm Wysoko -140mm Masa do 5kg 14 System sterowania powinien umoliwia wstpne zapamitywanie rozmieszczenia próbek na stolikach wielopozycyjnych oraz współrzdnych indywidualnych punktów pomiarowych, oraz automatyczny powrót do zapamitanych pozycji 15 System powinien posiada nastpujce tryby akwizycji obrazu: a) urednianie pixeli (informacje zbierane z kadego pixela) b) urednianie i integracja obrazu (min od 2-250 obrazów c) urednianie i integracja linii (min od 2-250 linii) 16 System powinien posiada przynajmniej 15 szybkoci skanowania 17 Cyfrowy zapis obrazu w rozdzielczoci przynajmniej 3000 x 2300 pixeli, i w skali szaroci z rozdzielczoci do 16 bitów 18 Rozdzielczo obrazu na ekranie monitora min 1024x 768 pikseli 19 Obróbka obrazu a) Formaty obrazu: JPG, BMP, TIFF. b) 2. Moliwo opisywania zdj

3 c) 3. Moliwo wykonania podstawowych pomiarów na zdjciu mikroskopowym i ich zapis z obrazem d) 4. Moliwo mieszania sygnałów z oddzielnych detektorów 20 System mikroskopu powinien umoliwia rejestracje sekwencji filmowych w formacie AVI 21 System mikroskopu powinien by wyposaony w dwa 19 kolorowe monitory TFT. 22 System powinien by wyposaony w panel kontrolny ze zintegrowan klawiatur, pokrtłami i przyciskami do kontroli i nastawiania najczciej uywanych parametrów: i funkcji takich jak: powikszenie, ostro,,rotacja skanu, stygmator, pochylenie i przesuw wizki, jasno, kontrast, zredukowane okno skanowania, wobbler, zamraanie obrazu,, wywietlanie obrazu z kamery CCD 23 System próniowy z pomp turbomolekularn, i jedna wstpna pompa rotacyjn Sterowanie próni w pełni automatyczne 24 System mikroskopu nie powinien wymaga chłodzenia wod (chłodzenie systemu powietrzem) 25 Analityczna odległo robocza przy analizie EDX powinna wynosi: najkrótsza 8,5mm najdłusza 20mm 26 Mikroskop powinien posiada system przysłon ograniczajcych odległo robocza do przynajmniej 2mm co umoliwi poprawne wykonanie analizy EDX i mappingu w niskiej próni 27 System powinien zawiera stolik pozwalajcy na badanie wytrzymałoci materiałów na zrywanie, ciskanie oraz rejestracje tych procesów a) zintegrowana komora 200N, dokładno, 1% I rozdzielczo 0.1% w pełnym zakresie, b) szybko standardowa w zakresie 0.1mm/min do 1.50mm/min c) maksymalny przesuw 10mm d) maksymalna wielko próby 50mmx15mmx10mm (L, B, H) 28 System Cryo Workstation powinien zawiera a) Komor preparacyjn b) System napylania z targetem Au/Pd c) Sterowanie temperatur w zakresie od +50 do -186 C d) System transportu prób e) Jednostk sterujc f) System kontroli gazu g) Blok antywibracyjny ze luz zaworu pompujcego, zawór pompujcy komor i czujnik próni Pirani i

4 przewody próniowe h) Interfejs i zestaw adaptacyjny do SEM System powinien współpracowa z posiadanym przez zamawiajcego systemem Cryo typ CT1500 firmy Oxford Instruments, moliwoci wykorzystania posiadanego wyposaenia jak pompy rotacyjne firmy Edwards typ E2M8, dewary, stoliki, uchwyty 29 Aparat do suszenia w punkcie krytycznym (CDP) powinien posiada nastpujce parametry: a) komora horyzontalna b) minimalne wymiary komory: długo 75 mm, rednica 33 mm, c) otwierane drzwi tylne komory d) płaszcz wodny do ogrzewania/ozibiania komory e) -czujniki pomiaru parametrów cinienia i temperatury f) okno podgldu z przodu urzdzenia o wymiarze 22mm 30 Oferowany mikroskop powinien by kompatibilny z posiadanym systemem LEO3435VP i mie moliwo wykorzystania posiadanych cylindrów Wehnelta, katod, stolików na próby, uchwytów, stolików wstpnie zamroonych w systemie Cryo Mikroanalizator rentgenowski EDX powinien bezwzgldnie spełnia nastpujce wymagania: 31 Układ spektrometru EDX powinien by konstrukcyjnie (sprztowo i programowo) przystosowany do integracji z układem mikroskopu SEM. 32 EDX musi umoliwia detekcje pierwiastków od Boru (5) do Ameryku (95) 33 Detektor typu SDD powinien by chłodzony podwójnym systemem Peltier 34 Rozdzielczo co najmniej 129 ev (dla linii MnK przy liczbie zlicze 100.000 cps) 35 Liczba zlicze na wejciu 700.000 cps lub lepsza, liczba zlicze na wyjciu 250.000 cps lub lepsza 36 Detektor EDX typu SDD nie moe wymaga konserwacji oraz chłodzenia ciekłym azotem 37 Spektrometr EDX musi umoliwia wykonanie analizy jakociowej i ilociowej,całkowicie bezwzorcowo lub z wykorzystaniem wzorców analitycznych 38 Układ EDX musi zapewnia moliwo wykonania poprawnej mikroanalizy jakociowej i ilociowej z powierzchni chropowatych, prób polerowanych oraz cienkich warstw 39 System EDX musi zapewni poprawn, bezwzorcow

5 analiz oraz map ping w warunkach niskiej próni 40 Układ spektrometru EDS powinien dysponowa moliwoci rejestracji map rozkładów pierwiastków z rozdzielczoci maksymalna co najmniej 4096 x 4096 pikseli. 41 Układ spektrometru EDS powinien dysponowa moliwoci zbierania map rentgenowskich i profili liniowych od dowolnej iloci pierwiastków jednoczenie. 42 Oprogramowanie sterujce i analityczne układu EDS powinno by uruchamiane w systemie WindowsXP. 43 Układ spektrometru powinien posiada własny stolik pod system 44 System EDX musi mie moliwo rozbudowy o: a) analiz faz b) moliwo automatycznej analizy wielopunktowej c) moliwo otrzymywania map, w których kady z pikseli zawiera pełn informacj jakociow i ilociow d) ilociow analiz pierwiastków na skanie liniowym 45 Oferowany system EDX oraz uzyskiwane spektra i mapy musza by porównywalne i kompatybilne z posiadanym systemem Firmy Roentec Wymagania odnonie warunków szkolenia, gwarancji i serwisu: 46 System jako cało powinien by objty co najmniej 12 miesicznym okresem pełnej gwarancji. 47 Czas reakcji serwisu nie dłuszy ni 72 godziny. Firma winna mie serwis firmowy na terenie Polski. 48 Cena oferty powinna obejmowa co najmniej 2 dniowe dwukrotne przeszkolenie osób obsługujcych system. Pierwsze szkolenie winno odby si po dostarczeniu i uruchomieniu sprztu a nastpne w terminie wyznaczonym przez Zamawiajcego 49 Termin dostawy aparatu max 6 miesicy od momentu podpisania umowy. * Wykonawca wypełnia kolumn Parametry oferowane, nie wypełnienie kolumny przez Wykonawc skutkowa bdzie odrzuceniem oferty.. /miejscowo/ dnia. Podpis(y) osoby/osób upowanionych do reprezentacji Wykonawcy/Wykonawców/