OGŁOSZENIE O DIALOGU TECHNICZNYM I. NAZWA I ADRES PODMIOTU PUBLICZNEGO Politechnika Warszawska z siedzibą przy Placu Politechniki 1, 00-661 Warszawa, w imieniu i na rzecz której procedurę przygotowuje i prowadzi pełnomocnik Politechniki Warszawskiej w rozumieniu art. 15 ust. 2 i 3 ustawy z dnia 29 stycznia 2004 r. Prawo zamówień publicznych (tekst jedn. Dz. U. z 2013 r. poz. 907 ze zm.), zwanej dalej ustawą -,,. Zapraszającym do udziału w dialogu technicznym jest,, 00-644 Warszawa. II. OPIS PLANOWANEGO PRZEDSIE WZIE CIA Przedsięwzięcie polega na budowie Laboratorium Centralnego w ramach projektu Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii, współfinansowanego ze środków Unii Europejskiej, i obejmuje wykonanie robót budowlanych oraz wykonanie dostaw urządzeń aparatury naukowo badawczej. Zamiarem projektodawców jest stworzenie innowacyjnego centrum badawczego inspirującego do prowadzania badań nad zaawansowanymi materiałami i technologiami, które przyniosą przełom w polskiej nauce, zapewniając konkurencyjność Polski i Europy w obszarze wysokich technologii na arenie międzynarodowej. Centrum wyposażone będzie w zaawansowane linie technologiczne oraz platformy projektowania, symulacji, diagnostyki i charakteryzacji. Dzięki stworzonej infrastrukturze badawczej oraz programom zintegrowanych badań możliwe będzie wspólne prowadzenie badań naukowych i prac rozwojowych na najwyższym światowym poziomie oraz upowszechnienie i wdrażanie nowoczesnych technologii. III. DIALOG TECHNICZNY III.1. Podstawa prawna Art. 31a-c ustawy. III.2. Cel Dialogu 1) Celem prowadzonego dialogu technicznego jest pozyskanie przez Politechnikę Warszawską informacji, które mogą być wykorzystane przy przygotowaniu opisu przedmiotu zamówienia z zachowaniem zasady uczciwej konkurencji odnośnie możliwości prawnych, technicznych i ekonomicznych zakupu urządzeń aparatury naukowo badawczej w ramach projektu Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii - CEZAMAT. 2) Zastrzega się, że przedmiotem dialogu technicznego mogą być tylko wybrane z ww. aspektów przedsięwzięcia jak również inne aspekty istotne zarówno dla prawidłowego, konkurencyjnego i przejrzystego postępowania na wybór wykonawcy oraz późniejszego zrealizowania założonego przedsięwzięcia. III.3. Przedmiot Dialogu Dialog techniczny podzielony będzie na odrębne Grupy i dotyczyć będzie możliwości prawnych, technicznych i ekonomicznych zakupu poniższych urządzeń aparatury naukowo badawczej: Grupa I Urządzenie do centrowania i naświetlania wiązką elektronową (elektronolitograf); Grupa II Analityczny, transmisyjny mikroskop elektronowy z emisją polową STEM/TEM o rozdzielczości atomowej; Grupa III Wysokorozdzielczy skaningowy mikroskop elektronowy z emisją polową HR-FE-SEM; Grupa IV Urządzenie do trawienia zogniskowaną wiązką jonów FIB z podglądem SEM;
Grupa V Wysokorozdzielczy skaningowy mikroskop elektronowy z emisją polową HR-FE-SEM; Grupa VI Zestaw urządzeń do fotolitografii; Grupa VII Reaktory do procesów wysokotemperaturowych oraz reaktory LPCVD; Grupa VIII Implantator jonów; Grupa IX Urządzenia do procesów trawienia w plazmie chlorowej/fluorowej w wersjach RIE/ICP/DRIE; Grupa X Urządzenia do procesów osadzania ze wspomaganiem plazmy w wersji PECVD; Grupa XI Reaktor ALD (Osadzania Warstw Atomowych); Grupa XII Urządzenia do osadzania metodą magnetronową; Grupa XIII Urządzenia do naparowywania próżniowego; Grupa XIV Urządzenia do trawienia mokrymi metodami chemicznymi warstw metodami zanurzeniową, natryskową i/lub rozpylania; Grupa XV Urządzenia do charakterystyki elektrycznej elementów i struktur półprzewodnikowych; III.4. Warunki udziału w dialogu technicznym: 1) Warunkiem dopuszczenia do udziału w Dialogu jest: a) złożenie dokumentów określonych w pkt III.4.3) b) spełnienie warunku wiedzy i doświadczenia opisanego w pkt III.4.2) odpowiednio dla każdej z Grup przedmiotu Dialogu, o dopuszczenie do których stara się Uczestnik. 2) Podmioty zainteresowane przystąpieniem do Dialogu muszą dysponować wiedzą i doświadczeniem w zakresie realizacji zamówień polegających na dostawie, instalacji, uruchomieniu urządzeń aparatury naukowo badawczej wraz ze szkoleniem dla pracowników podmiotu zamawiającego, tj.: dla Grupy I - Urządzenie do centrowania i naświetlania wiązką elektronową (elektronolitograf) wykonanie w okresie ostatnich 3 lat przed datą składania wniosku co najmniej 1 (jednej) dostawy, obejmującej również instalację, uruchomienie oraz szkolenie dla pracowników odbiorcy, urządzenia do centrowania i naświetlania wiązką elektronową posiadającego poniższe parametry: a. Maksymalne napięcie przyspieszające: co najmniej 80 kv, b. Maksymalna średnica montowanego podłoża/próbki: co najmniej 200 mm, c. Możliwość uzyskania w PMMA linii o szerokości 10 nm, o długości co najmniej 2 mikrometry. dla Grupy II - Analityczny, transmisyjny mikroskop elektronowy z emisją polową STEM/TEM o rozdzielczości atomowej wykonanie w okresie ostatnich 3 lat przed datą składania wniosku co najmniej 2 (dwóch) odbiorcy, analitycznego transmisyjnego mikroskopu elektronowego z emisją polową STEM/TEM o rozdzielczości atomowej posiadającego poniższe parametry: a. Test rozdzielczości punktowej w trybie mikroskopii Lorentza na błonce węglowej napylonej złotem lepsza niż 5 nm dla 200 kv.
dla Grupy III - Wysokorozdzielczy skaningowy mikroskop elektronowy z emisją polową HR-FE- SEM odbiorcy, wysokorozdzielczego skaningowego mikroskopu elektronowego z emisją polową HR-FE-SEM posiadającego poniższe parametry: a. Maksymalne napięcie przyśpieszające przy powierzchni próbki co najmniej 25 kv, b. Zdolność rozdzielcza mikroskopu dla obrazów nie może być gorsza niż 3 nm. dla Grupy IV Urządzenie do trawienia zogniskowaną wiązką jonów FIB z podglądem SEM odbiorcy, urządzenia do trawienia zogniskowaną wiązką jonów FIB z podglądem SEM posiadającego poniższe parametry: a. Maksymalne napięcie przyspieszające działa elektronowego - co najmniej 25 kv, b. Zdolność rozdzielcza mikroskopu SEM dla obrazów SE nie może być gorsza niż 5 nm. dla Grupy V Wysokorozdzielczy skaningowy mikroskop elektronowy z emisją polową HR-FE- SEM odbiorcy, wysokorozdzielczego skaningowego mikroskop elektronowy z emisją polową HR- FE-SEM posiadającego poniższe parametry: a. Średnica obserwowanego podłoża/próbki: co najmniej 200 mm, b. Zdolność rozdzielcza mikroskopu dla obrazów nie może być gorsza niż 2 nm. dla Grupy VI Zestaw urządzeń do fotolitografii odbiorcy, zestawu urządzeń do fotolitografii posiadającego poniższe parametry: a. Maksymalna średnica podłoża/próbki: co najmniej 200 mm, b. Zestaw musi umożliwiać realizację pełnej sekwencji operacji procesu fotolitografii od przygotowania podłoża do nakładania emulsji, aż po jej usunięcie po zakończeniu procesu definiowania kształtów, tj,: umożliwiać procesy: czyszczenia podłoży, nakładania emulsji, wszystkie etapy obróbki termicznej emulsji, naświetlanie i centrowanie podłoży, wywoływanie i usuwanie emulsji. dla Grupy VII Reaktory do procesów wysokotemperaturowych oraz reaktory LPCVD odbiorcy, reaktorów do procesów wysokotemperaturowych oraz reaktorów LPCVD posiadających poniższe parametry: a. Maksymalna średnica podłoża/próbki: co najmniej 200 mm, b. Maksymalna temperatura procesu co najmniej 1100 C, c. Dokładność temperatury w strefie nie gorsza niż ±0,2 C dla zakresu temperatur 400 C 1100 C.
dla Grupy VIII Implantator jonów - wykonanie w okresie ostatnich 6 lat przed datą składania wniosku co najmniej 1 (jednej) dostawy, obejmującej również instalację, uruchomienie oraz szkolenie dla pracowników odbiorcy, implantatora jonów posiadającego poniższe parametry: a. Maksymalne napięcie przyspieszające - co najmniej 200kV, b. Maksymalna średnica podłoża (implantowana) co najmniej 150 mm. dla Grupy IX Urządzenia do procesów trawienia w plazmie chlorowej/fluorowej w wersjach RIE/ICP/DRIE odbiorcy, urządzenia do procesów trawienia w plazmie chlorowej/fluorowej w wersjach RIE/ICP/DRIE posiadających poniższe parametry: dla Grupy X Urządzenia do procesów osadzania ze wspomaganiem plazmy w wersji PECVD odbiorcy, urządzeń do procesów osadzania ze wspomaganiem plazmy w wersji PECVD posiadających poniższe parametry: dla Grupy XI Reaktor ALD (Osadzania Warstw Atomowych) odbiorcy, reaktora ALD posiadającego poniższe parametry: dla Grupy XII Urządzenia do osadzania metodą magnetronową odbiorcy, urządzeń do osadzania metodą magnetronową posiadających poniższe parametry: dla Grupy XIII Urządzenia do naparowywania próżniowego odbiorcy, urządzeń do naparowywania próżniowego posiadających poniższe parametry: dla Grupy XIV Urządzenia do trawienia mokrymi metodami chemicznymi warstw metodami zanurzeniową, natryskową i/lub rozpylania odbiorcy, urządzeń do trawienia mokrymi metodami chemicznymi warstw metodami zanurzeniową, natryskową i/lub rozpylania posiadających poniższe parametry: dla Grupy XV Urządzenia do charakterystyki elektrycznej elementów i struktur półprzewodnikowych odbiorcy, urządzeń do charakterystyki elektrycznej elementów i struktur półprzewodnikowych posiadających poniższe parametry: a. Ekranowana komora na płytki poddawane procesowi o średnicy co najmniej
200 mm, b. Możliwość regulacji temperatury płytki w zakresie co najmniej od -50 do +200 C. 3) Podmioty, które przystępują do dialogu technicznego, zobowiązane są do przedłożenia: a) wniosku o dopuszczenie do udziału w Dialogu wraz z załącznikami wg wzoru stanowiącego załącznik nr 2 do niniejszego ogłoszenia. Wniosek winien zostać sporządzony w formie pisemnej, w języku polskim i zawierać treści określone we wzorze; b) wykazu zrealizowanych dostaw i usług, o których mowa w pkt III.4.2) odpowiednio dla danej Grupy, zawierającego opis dostaw i usług, datę wykonania i podmiot dla którego wykonano dostawy i usługi; c) aktualnego odpisu z Krajowego Rejestru Sądowego, ewidencji działalności gospodarczej lub w przypadku podmiotów zagranicznych, odpisu z innego rejestru handlowego; d) w przypadku, w którym w imieniu podmiotu działa przedstawiciel, którego upoważnienie do reprezentacji nie wynika bezpośrednio z przedstawionego rejestru, przedstawiciel jest zobowiązany do przedłożenia, przed przystąpieniem do dialogu, stosownego oryginału pełnomocnictwa. Podpisy mocodawcy muszą zostać złożone przez osoby uprawnione do składania oświadczeń woli wymienione we właściwym rejestrze lub wpisie do ewidencji działalności gospodarczej. Dokument pełnomocnictwa należy przedstawić w formie oryginału lub kopii potwierdzonej za zgodność przez notariusza. Wszelka korespondencja będzie prowadzona wyłącznie z podmiotem występującym jako pełnomocnik. 4) Dokumenty sporządzone w języku obcym należy przedłożyć wraz ich tłumaczeniem na język polski. 5) Dany podmiot może złożyć wniosek o dopuszczenie do udziału w Dialogu odpowiednio dla jednej lub większej liczby Grup określonych w pkt. III.3. niniejszego ogłoszenia. 6) W przypadku gdy liczba podmiotów dopuszczonych do udziału w Dialogu odpowiednio dla danej Grupy będzie większa niż 7, Zapraszający zastrzega sobie prawo weryfikacji posiadanego doświadczenia i dokonania klasyfikacji podmiotów zgłaszających akces w oparciu o dane zawarte w wykazie zrealizowanych dostaw i usług. Do udziału w Dialogu zakwalifikowanych zostanie nie więcej niż 7 uczestników, którzy wykażą wykonanie największej liczby dostaw i usług odpowiadającym warunkowi opisanemu w pkt III.4.2) niniejszego ogłoszenia odpowiednio dla danej Grupy. III.5. Wskazanie miejsca i terminu składania wniosków o dopuszczenie do dialogu technicznego 1) Miejsce złożenia wniosków: siedziba Warszawa, 00-644, ul. Polna 50, pokój nr 503, 5. piętro. 2) Termin złożenia wniosków: 4 kwietnia 2014 r. godz. 15.30. 3) W przypadku składania wniosków drogą pocztową lub przesyłką kurierską za termin jego złożenia przyjęty będzie dzień i godzina otrzymania wniosku przez kancelarię wskazaną w pkt. III.5.1) niniejszego ogłoszenia. 4) Koperta winna być zaadresowana:,, Koperta powinna być opisana wg poniższego wzoru: Wniosek o dopuszczenie do dialogu technicznego w przedmiocie zakupu urządzeń aparatury naukowo badawczej w ramach projektu Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Grupa...
III.6. Osoby do kontaktów Marika Czarnecka tel. 22 234 7157, e-mail: m.czarnecka@cezamat.eu Marcin Cylejewski tel. 506 275 068, e-mail: m.cylejewski@cezamat.eu IV. PROCEDURA DIALOGU IV.1. Termin i miejsce prowadzenia dialogu 1) Zapraszający rozpatrzy wnioski o dopuszczenie do udziału w Dialogu w terminie do dnia 10 kwietnia 2014 r. 2) Podmioty zgłaszające akces zostaną poinformowane pisemnie o zaproszeniu do udziału w Dialogu. 3) Dialog prowadzony będzie z zakwalifikowanymi Uczestnikami począwszy od dnia 14 kwietnia 2014 r. 4) Miejscem prowadzenia dialogu będzie siedziba Warszawa,, bądź siedziba filii Warszawa ul. Koszykowa 75, gmach Instytutu Mikroelektroniki i Optoelektroniki (IMiO). 5) Zapraszający planuje zakończenie Dialogu do dnia 30 czerwca 2014 r. Zapraszający zastrzega sobie możliwość przedłużenia okresu prowadzenia Dialogu, o ile nie ustalone zostaną wszystkie istotne dla Zapraszającego dane odnośnie możliwości prawnych, technicznych i ekonomicznych zakupu urządzeń aparatury naukowo badawczej w ramach projektu Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii - CEZAMAT. IV.2. Tryb prowadzenia dialogu 1) Dialog będzie prowadzony w formie spotkań indywidualnych z Uczestnikami. 2) O terminach indywidualnych spotkań Uczestnicy zawiadamiani będą na piśmie z co najmniej 3 dniowym wyprzedzeniem. 3) Dialog prowadzony będzie w języku polskim i / lub języku angielskim. Protokoły z Dialogu prowadzone będą w języku polskim. 4) Wszelkie dokumenty związane z prowadzonym Dialogiem, przekazywane przez Zapraszającego i Uczestników dialogu, winny zostać sporządzone w języku polskim. IV.3. Zasady ogólne prowadzenia postępowania Zasady określa regulamin dialogu technicznego stanowiący załącznik nr 1 do niniejszego ogłoszenia. V. UWAGI KON COWE Niniejsze ogłoszenie nie stanowi zaproszenia do złożenia oferty w rozumieniu art. 66 Kodeksu cywilnego, ani nie jest ogłoszeniem o zamówienia w rozumieniu przepisów ustawy z dnia 29 stycznia 2004 r. Prawo zamówień publicznych. Niniejsze ogłoszenie nie jest również ogłoszeniem postępowania na wybór partnera prywatnego w rozumieniu ustawy z dnia 19 grudnia 2008 r. o partnerstwie publiczno-prywatnym, ani o zawarcie umowy koncesji w rozumieniu ustawy z dnia 9 stycznia 2009 r. o koncesji na roboty budowlane lub usługi. Udział w dialogu technicznym nie jest warunkiem ubiegania się w przyszłości o jakiekolwiek zamówienie publiczne, o zawarcie umowy o partnerstwo publiczno-prywatne lub zawarcie umowy
koncesji na roboty budowlane lub usługi, do ogłoszenia którego mogą zostać wykorzystane informacje pozyskane w niniejszym postępowania. Załączniki - Regulamin dialogu technicznego - Wzór wniosku o przystąpienie do dialogu technicznego wraz z załącznikami Jacek Kossut /-/ Wiceprezes Zarządu ds. Organizacji i Współpracy Zewnętrznej Mariusz Wielec /-/ Prezes Zarządu