DZPIE/002/NZU/569/2015 Warszawa, 11 marca 2015 r.

Transkrypt

1 DZPIE/002/NZU/569/2015 Warszawa, 11 marca 2015 r. Dotyczy udzielenia zamówienia publicznego w trybie "przetargu nieograniczonego" na Uniwersalna linia technologiczna do badań procesów wytwarzania nanostruktur i prototypów przyrządów półprzewodnikowych, nadprzewodnikowych i metalicznych. Instytut Fizyki PAN w trybie art. 38 ust. 4 Ustawy PZP, dokonuje niniejszym zmiany treści SIWZ w zakresie wymagań stawianym urządzeniu w pkt. 13 i 31: Przed zmianami: Lp. Wymagania (wymagane parametry minimalne) Możliwość pracy z prekursorami o niskiej prężności par (Low Vapor Pressure Delivery (LVPD) lub lepsze rozwiązanie: - system musi być wyposażony w co najmniej jeden moduł do wspomagania wprowadzenia prekursorów do komory procesowej, - moduł wspomagający zasilany gazem Ar lub N2. Kolumna do wypełnienia przez oferenta Należy potwierdzić lub opisać * 13. Wymaga się dostarczenia generatora azotu analitycznego i generatora azotu technicznego, pełnej dużej butli z azotem analitycznym stanowiącej bufor na własność Zamawiającego. Wymaga się wykonania linii i podłączenia generatorów azotu oraz butli azotowej wraz z zaworami dwustopniowymi i liniowymi (wykonanie instalacji o czystości azotu analitycznego minimum 99,9995 % i azotu technicznego minimum 99,9%, dostawa pełnej butli azotowej o czystości minimum 99,9995%, reduktorów, stojaka na butle, stabilnego o odpowiedniej wysokości stolika z stelażem pod generator azotu 90 x 90 cm). Generatory i butla muszą być zainstalowane w pomieszczeniu technicznym. Wymagania dla generatora azotu analitycznego: - przepływ regulowany (flow rate) od 0 l/min do minimum 0,75 l/min, - czystość minimum 99,9995%, - wyposażony w osuszacz, - wyposażony w zbiornik buforowy, - ciśnienie na wyjściu regulowane od 0 minimum 5 bar, - zasilanie generatora 230V, - generator stanowi kompletne urządzenie.

2 Wymagania dla generatora azotu analitycznego: - przepływ regulowany (flow rate) od 0 l/min do minimum 0,75 l/min, - czystość minimum 99,9995%, - wyposażony w osuszacz, - wyposażony w zbiornik buforowy, - ciśnienie na wyjściu regulowane od 0 minimum 5 bar, - zasilanie generatora 230V, - generator stanowi kompletne urządzenie. Wymagania dla generatora azotu technicznego: - przepływ regulowany (flow rate) od 0 l/min do minimum 25 l/min, - czystość minimum 99,9%, - wyposażony w osuszacz, - wyposażony w zbiornik buforowy, - ciśnienie na wyjściu regulowane od 0 minimum 5 bar, - zasilanie generatora 230V, - generator stanowi kompletne urządzenie. 31. Zamawiający informuje, że posiada generator sprężonego powietrza firmy Jun Air model OF MQ2. Wymaga się wykonania instalacji czystych gazów odpowiednio do czystości gazów (każdy gaz prowadzony oddzielna linią): - azotu technicznego N2 o czystości 3N, z dostarczonej pełnej butli stalowej 40L wraz z reduktorem dwustopniowym i z generatora azotu, linia kończy się zaworem i reduktorem liniowym, butla stanowi dodatkowe zabezpieczenie, należy zamontować przełącznik pomiędzy azotem z butli a z generatora. Butla przymocowana do ściany. - azotu analitycznego N2 o czystości 5.5N, z dostarczonej pełnej butli stalowej 40L wraz z reduktorem dwustopniowym i z generatora czystego azotu, linia kończy się zaworem i reduktorem liniowym, butla stanowi dodatkowe zabezpieczenie, należy zamontować przełącznik pomiędzy azotem z butli a z generatora. Dodatkowo azot doprowadzany będzie do paneli redukcyjnych w celu płukania wszystkich instalacji. Butla przymocowana do ściany. - tlenu O2 o czystości 5.5N z dostarczonej pełnej butli stalowej 10L wraz z reduktorem dwustopniowym, linia kończy się zaworem i reduktorem liniowym, butla umieszczona w szafie gazowej. - argonu Ar 5 o czystości 5.5N z dostarczonej pełnej butli stalowej 40L wraz z reduktorem dwustopniowym, linia kończy się zaworem i reduktorem liniowym, Dodatkowo argon doprowadzany będzie do generatora wodoru w celu płukania instalacji. Butla przymocowana do ściany. - H2 o czystości 5.5N z generatora wodoru, linia kończy się zaworem, generator płukany argonem, umieszczony pod okapem z wentylacją. - BCl3 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem - Cl2 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem - SF6 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem

3 - SiCl4 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem - N2O o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem - CHF3 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem - CF4 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem - SiH4 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem - HBr o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem - CH4 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem - C4F8 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem Gazy z butli będą doprowadzone instalacją do urządzeń technologicznych. Dla płukania wszystkich instalacji do paneli redukcyjnych gazów technicznych i czystych będzie doprowadzony azot czysty z butli a instalacja wodoru za generatorem będzie płukania czystym argonem z butli. Wymaga się dostarczenia szaf gazowych na minimum 11 butli, szafy na butle gazowe o odporności ogniowej minimum 30 minut EI30, wyposażone w przyłącze wywiewne na suficie szafy i podłączone do posiadanej wentylacji mechanicznej, szafy wyposażone w szyny montażowe i klapę do wtaczania, szafy musza umożliwić zamontowanie butli 10 litrowych jak i mniejszych. Laboratorium procesingowe jest podzielone na dwie strefy, jedna laboratoryjna a druga serwisowa - techniczna. W części laboratoryjnej będą usytuowane procesowe urządzenia technologiczne, a w części serwisowej będą usytuowane między innymi butle z gazami czystymi i technicznymi usytuowane w szafach gazowych, oraz instalacje od tych urządzeń współpracujących z urządzeniami technologicznymi. Każda butla w szafie gazowej będzie podłączona do typowego panelu redukcyjnego jedno /jedna butla. Napływ powietrza do szafy z pomieszczenia poprzez kratę usytuowaną w dolnej części szafy. Instalacje gazów czystych należy wykonać z rur i kształtek stalowych kwasoodpornych elektro-polerowanych typ. SS316L, 1/4", łączone przez spawanie planetarne w osłonie argonu wewnątrz i na zewnątrz spawanego rurociągu. Instalację z armaturą łączyć na połączenie zaciskowe typu VCR. Armatura odcinająca, na instalacji

4 Po zmianach: gazów czystych zawory kulowe ze stali kwasoodpornej SS316 łączone z instalacją na połączenia zaciskowe typu VCR. Instalacje gazów technicznych 3N należy wykonać z rur i kształtek stalowych trawionych chemicznie 1/4", łączone przez spawanie. Instalację z armaturą łączyć na połączenie zaciskowe typu Swagelok. Armatura odcinająca, na instalacji gazów technicznych i próżni zawory kulowe ze stali odpornej łączone z instalacją na połączenia zaciskowe typu Swagelok. Panele redukcyjne jedno butlowe z butlą łączone na połączenia gwintowe. Instalacje gazów czystych i technicznych przed włączeniem do eksploatacji należy podać próbie szczelności metodą helową. Z uwagi na małe średnice instalacji należy wykonać trwałe oznakowanie z opisem medium. Butle z azotem technicznym i czystym, argonem i tlenem należy przymocować do ściany. Ciśnienie robocze gazów czystych i technicznych: od 0 do 5 Bar na wyjściu. Dostarczone szafy gazowe, generatory oraz butle muszą być umieszczone w pomieszczeniu technicznym. Lp. 13. Wymagania (wymagane parametry minimalne) Możliwość pracy z prekursorami o niskiej prężności par (Low Vapor Pressure Delivery (LVPD) lub lepsze rozwiązanie: - system musi być wyposażony w co najmniej jeden moduł do wspomagania wprowadzenia prekursorów do komory procesowej, - moduł wspomagający zasilany gazem Ar lub N2. Wymaga się dostarczenia generatora azotu analitycznego i generatora azotu technicznego, pełnej dużej butli z azotem analitycznym stanowiącej bufor na własność Zamawiającego. Wymaga się wykonania linii i podłączenia generatorów azotu oraz butli azotowej wraz z zaworami dwustopniowymi i liniowymi (wykonanie instalacji o czystości azotu analitycznego minimum 99,9995 % i azotu technicznego minimum 99,9%, dostawa pełnej butli azotowej o czystości minimum 99,9995%, reduktorów, stojaka na butle, stabilnego o odpowiedniej wysokości stolika z stelażem pod generator azotu 90 x 90 cm). Generatory i butla muszą być zainstalowane w pomieszczeniu technicznym. Wymagania dla generatora azotu analitycznego: - przepływ regulowany (flow rate) od 0 l/min do minimum 0,75 l/min, - czystość minimum 99,9995%, - wyposażony w osuszacz, - wyposażony w zbiornik buforowy, - ciśnienie na wyjściu regulowane od 0 minimum 5 bar, - zasilanie generatora 230V, - generator stanowi kompletne urządzenie. Wymagania dla generatora azotu technicznego: Kolumna do wypełnienia przez oferenta Należy potwierdzić lub opisać *

5 31. - przepływ regulowany (flow rate) od 0 l/min do minimum 60 l/min, - czystość minimum 99,9%, - wyposażony w osuszacz, - wyposażony w zbiornik buforowy, - ciśnienie na wyjściu regulowane od 0 minimum 5 bar, - zasilanie generatora 230V, - generator stanowi kompletne urządzenie. Zamawiający informuje, że posiada generator sprężonego powietrza firmy Jun Air model OF MQ2. Wymaga się wykonania instalacji czystych gazów odpowiednio do czystości gazów (każdy gaz prowadzony oddzielna linią): azotu technicznego N2 o czystości 3N, z dostarczonej pełnej butli stalowej 40L wraz z reduktorem dwustopniowym i z generatora azotu, linia prowadzona do czterech urządzeń i ulega rozdzieleniu, przed każdym urządzeniem kończy się reduktorem liniowym, butla stanowi dodatkowe zabezpieczenie, należy zamontować przełącznik pomiędzy azotem z butli a z generatora. Butla przymocowana do ściany. Przed generatorem zamontować zawór. W pomieszczeniu technicznym linia kończy się Regulacja od 0 do 5bar. - reduktor dwustopniowy, reduktor liniowy, zawory, uchwyt na butle azotu analitycznego N2 o czystości 5.5N, z dostarczonej pełnej butli stalowej 40L wraz z reduktorem dwustopniowym i z generatora czystego azotu, linia prowadzona do czterech urządzeń i jednego odbiornika, ulega rozdzieleniu, przed każdym urządzeniem kończy się reduktorem liniowym w odbiorniku kończy się zaworem, butla stanowi dodatkowe zabezpieczenie, należy zamontować przełącznik pomiędzy azotem z butli a z generatora. Dodatkowo azot doprowadzany będzie do paneli redukcyjnych w celu płukania wszystkich instalacji. Butla przymocowana do ściany. Przed generatorem zamontować zawór. - reduktor dwustopniowy, reduktor liniowy, zawory, uchwyt na butle tlenu O2 o czystości 5 N z dostarczonej pełnej butli stalowej 10L wraz z reduktorem dwustopniowym, linia prowadzona do czterech urządzeń, ulega rozdzieleniu, przed każdym urządzeniem kończy się reduktorem liniowym, butla przymocowana do ściany. - reduktor dwustopniowy, reduktor liniowy, uchwyt na butle Hel He o czystości 5,5 N z dostarczonej pełnej butli stalowej 40L wraz z reduktorem dwustopniowym, linia prowadzona do trzech urządzeń, ulega rozdzieleniu, przed każdym urządzeniem kończy się reduktorem liniowym, butla przymocowana do ściany. - reduktor dwustopniowy, reduktor liniowy, uchwyt na butle argonu Ar o czystości 6N z dostarczonej pełnej butli stalowej 40L wraz z reduktorem dwustopniowym, linia prowadzona do czterech urządzeń, ulega rozdzieleniu, przed każdym urządzeniem kończy się reduktorem liniowym, Dodatkowo argon doprowadzany będzie do generatora wodoru w celu płukania instalacji. Butla przymocowana do ściany.

6 - reduktor dwustopniowy, reduktor liniowy, uchwyt na butle H2 o czystości 6N z generatora wodoru, linia prowadzona do 3 urządzeń, ulega rozdzieleniu, przed każdym urządzeniem kończy się zaworem, generator płukany argonem, umieszczony pod okapem z wentylacją. BCl3 o czystości min. 4N, linia zaczyna się butlą z jest Linia wymaga grzania aby zapobiec kondensacji gazu w instalacji. Cl2 o czystości min. 4N, linia zaczyna się butlą z reduktorem umieszczona w szafie gazowej zakończona jest Linia wymaga grzania aby zapobiec kondensacji gazu w instalacji jeżeli jest wymagane. SF6 o czystości 3N, linia zaczyna się butlą z jest CH4 o czystości 5.5N, linia zaczyna się butlą z jest C4F8 o czystości 5N, linia zaczyna się butlą z jest Linia wymaga grzania aby zapobiec kondensacji gazu w instalacji. SiH4 o czystości 4.5N, linia zaczyna się butlą z jest N2O o czystości 4.8N, linia zaczyna się butlą z jest CHF3 o czystości 4.5N, linia zaczyna się butlą z jest Gazy z butli będą doprowadzone instalacją do urządzeń technologicznych i należy je podłączyć do gas pod-ów. Dla płukania wszystkich instalacji do paneli redukcyjnych gazów technicznych i czystych będzie doprowadzony azot czysty lub argon z butli a instalacja wodoru za generatorem będzie płukania czystym argonem z butli. Wymaga się dostarczenia szaf gazowych na 8 butli, szafy na butle gazowe o odporności ogniowej minimum 30 minut EI30, wyposażone w przyłącze wywiewne na suficie szafy i podłączone do posiadanej wentylacji mechanicznej, szafy wyposażone w szyny montażowe i klapę do wtaczania, szafy musza umożliwić zamontowanie butli 10 litrowych jak i mniejszych. Laboratorium procesingowe jest podzielone na dwie strefy, jedna laboratoryjna a druga serwisowa - techniczna. W części laboratoryjnej będą usytuowane procesowe urządzenia technologiczne, a w części serwisowej będą usytuowane między innymi butle z gazami czystymi i technicznymi usytuowane w szafach gazowych, oraz instalacje od tych urządzeń współpracujących z urządzeniami technologicznymi. Każda butla w szafie gazowej będzie podłączona do typowego panelu redukcyjnego jedno /jedna butla. Instalacje gazów czystych należy wykonać z rur i kształtek stalowych kwasoodpornych elektro-polerowanych typ. SS316L, 1/4", łączone przez spawanie orbitalne. Instalację

7 z armaturą łączyć na połączenie zaciskowe typu VCR. Armatura odcinająca, na instalacji gazów czystych zawory kulowe ze stali kwasoodpornej SS316 łączone z instalacją na połączenia zaciskowe typu VCR. Instalacja zawierająca chlor musi być wykonana z materiałów odpornych na chlor. Instalacje azotu technicznego 3N należy wykonać z rur i kształtek odpowiednich do czystości gazu. Instalację z armaturą łączyć na połączenie zaciskowe typu Swagelok. Armatura odcinająca, na instalacji gazów technicznych ze stali odpornej łączone z instalacją na połączenia zaciskowe typu Swagelok. Panele redukcyjne jedno butlowe z butlą łączone na połączenia gwintowe. Instalacje gazów czystych i technicznych przed włączeniem do eksploatacji należy podać próbie szczelności metodą helową. Z uwagi na małe średnice instalacji należy wykonać trwałe oznakowanie z opisem medium. Butle z azotem technicznym i czystym, argonem, helem, tlenem należy przymocować do ściany. Ciśnienie robocze gazów czystych i technicznych: od 0 do 5 Bar na wyjściu z butli. Cała instalacje gazów procesowych należy wykonać w czystości 5.5N lub lepszej ( nie high purity class), azotu technicznego w klasie 3N lub lepszej, a sprężonego powietrza bez klasy. Każda linia czystych i technologicznych gazów musi posiadać stację rozprężania, do których będą podłączane butle z gazami. Pełen opis oraz zmieniony rysunek w załączniku.

8 pieczęć adresowa Oferenta data Urządzenie do osadzania próżniowego warstw o wysokiej stałej dielektrycznej (Atomic Layer Deposition - ALD) wchodzącego w skład uniwersalnej linii technologicznej do badań procesów wytwarzania nanostruktur i prototypów przyrządów półprzewodnikowych, nadprzewodnikowych i metalicznych. Lp Wymagania (wymagane parametry minimalne) Urządzenie przeznaczone jest do osadzania cienkich warstw materiałów półprzewodnikowych i izolacyjnych (dielektryków), w szczególności Al 2 O 3, ZnO i HfO 2 oraz innych. Jednokomorowy reaktor ALD (single chamber- single hot wall) do osadzania warstw atomowych, sterowany komputerowo, umożliwiający wykonywanie procesów wzrostu termicznych, wspomaganych plazmowo oraz ozonem w tej samej komorze bez potrzeby wymiany sprzętu i przy wykorzystaniu jednego cyklu technologicznego. Komora urządzenia oraz śluza muszą umożliwić przeprowadzenie procesu osadzania dla małych, nieregularnych próbek oraz próbek o rozmiarze do co najmniej 200 mm bez potrzeby wymiany osprzętu. Komora musi mieć możliwość grzania do >= 180 C w celu zapewnienia efektywnego usunięcia z niej wilgoci i zabezpieczania przed osadzaniem materiału. Przepływ prekursora w komorze reakcyjnej musi odbywać się w kierunku prostopadłym/pionowym do powierzchni próbki. Wymagane jest dostarczenie przez Producenta dokumentacji technicznej potwierdzającej prostopadły/pionowy kierunek przepływu prekursora względem powierzchni próbki. Komora musi być wyposażona w niezbędne komponenty do prowadzenia analizy in-situ w czasie rzeczywistym podczas pracy systemu: - komora musi być wyposażona w minimum dwa porty do sprzężenia systemu ALD z elipsometrem. - komora umożliwia montaż elipsometru na komorze bez konieczności ingerowania w system. - komora musi być wyposażona w port do sprzężenia systemu ALD z wagą kwarcową QCM. Co najmniej 6 linii prekursorów z pojemnikami typu cylinder, w tym co najmniej 2 z możliwością grzania do co najmniej 200 C z dokładnością ± 2 C. Zarządzanie temperaturą prekursora niezależnie dla każdego cylindra i linii. Kolumna do wypełnienia przez oferenta Należy potwierdzić lub opisać *

9 Wszystkie pojemniki na prekursory wykonane ze stali nierdzewnej (minimum 6 pojemników) zmontowane w dedykowanej kabinie prekursorów z niezbędnymi zaworami ALD na każdy z prekursorów: kabina prekursorów wyposażona w zawory ALD: - ultra szybkie zawory ALD 10ms do precyzyjnego zarządzania oraz aplikowania prekursorów poprzez dedykowany pojedynczy wlot do komory procesowej, - kolektor zaworów ALD grzany płaszczem grzejnym, - kontrolery przepływu MFC z pneumatycznie kontrolowanymi zaworami. Kabina z prekursorami musi być wyposażona w odpowiedni komin umożliwiający podłączanie jej do systemu wentylacji. Wymaga się podłączenie jej do systemu wentylacji. Musi istnieć możliwość stosowania prekursorów stałych, ciekłych oraz gazowych w systemie ALD. Wymagany całkowicie bezolejowy system pompowania składający się z pompy turbomolekularnej do pompowania komory reakcyjnej o minimalnej szybkości 300l/s, pompy turbomolekularnej do pompowania śluzy oraz pompy próżni wstępnej typu Roots (lub lepszej) o szybkości pompowania minimum 90m 3 /h wraz z kontrolerami. Wydechy pomp muszą być podłączone do systemu wentylacji chemicznej poprzez filtry absorpcyjne. Pompy musza być odporne chemicznie na używane prekursory. Pompowanie komory z poziomu ciśnienia atmosferycznego do minimum Torra w mniej niż 30 minut. Wszystkie linie układów pompujących odporne na temperaturę. Układy pompowania wyposażone w automatyczne zawory odcinające. System wyposażony w miernik próżni w całym zakresie pompowania (wysokiej i niskiej próżni) z zabezpieczeniem zapobiegającym osadzaniu się warstwy na części pomiarowej. Filtr pochłaniający pary resztkowe umieszczony miedzy komorą reakcyjną a pompa turbomolekularną (lub inne lepsze rozwiązanie), nadający się do regeneracji przez wygrzewanie, czyszczenie lub z wymiennymi wkładami (minimum 2 zapasowe wkładki). Urządzenie musi być wyposażone w pełni zautomatyzowany system Load Lock umożliwiający ładowanie podłoży o rozmiarach: małe próbki i nieregularne, 1 calowe, 2 cale, 4 cale, 6 cali, do co najmniej 8 cali ze zmotoryzowanym transferem do komory reakcyjnej wraz z osobną pompą turbomolekularną do odpompowania śluzy. Śluza musi być wyposażona w detektory pomiaru próżni. Wymaga się dostarczenie dedykowanych uchwytów na próbki, odpornych na grzanie temperaturą z grzejnika podłoża jeżeli jest to jeden standardowy uchwyt to wymaga się dostarczenie minimum 2 uchwytów. Dedykowany przez Producenta Urządzenia generator plazmy ICP do nanoszenia warstw atomowych zainstalowany na komorze reakcyjnej. Moduł plazmy wraz z generatorem RF zintegrowany w systemie, moc co najmniej 300W (źródło fal 13.56MHz z możliwością dostrajania). Możliwość ustawienia mocy plazmy, jako parametry procesowe.

10 Jednostka plazmy chłodzona wodą poprzez dostarczony kompresor wodny zapewniający odpowiednią i stabilną pracę plazmy i całego urządzenia ALD. Źródło plazmy musi być zlokalizowane blisko podłoża na którym zachodzi osadzanie. Połączenie komory procesowej z modułem plazmy musi zapewniać nie zakłócony laminarny przepływ. Minimum 6 linii prekursorów do plazmy. Plazma wytwarzana przy użyciu wodoru, argonu, azotu oraz innych gazów. Wymaga się dostarczenia generatora wodoru i dużej pełnej butli argonowej na własność Zamawiającego. Wymaga się wykonania linii i podłączenia generatora wodoru oraz butli argonowej wraz z zaworami dwustopniowymi i liniowymi (wykonanie instalacji o odpowiedniej czystości jak podano poniżej, dostarczenie reduktorów, stojaka na butle, stabilnego o odpowiedniej wysokości stolika z stelażem pod generator wodoru 70 x 70 cm, zaworów, reduktorów liniowych). Wszystkie komponenty linii wykonane w technice odpowiedniej dla czystości gazów. Czystość argonu i wodoru minimum 99,9995%. Generator musi być zainstalowany pod istniejącym okapem w pomieszczeniu technicznym. 13. Wymagania dla generatora wodoru: - przepływ regulowany (flow rate) od 0 ml/min do minimum 250ml/min nie więcej niż 300ml/min, - czystość H 2 minimum 99,9995%, - produkcja H 2 z wykorzystaniem polimerowej membrany elektrolitycznej (PEM) z wody dejonizowanej lub demineralizowanej, - wyposażony w osuszacz podwójny automatyczny, - wyposażony w zbiornik na wodę, - objętość wew. < 50 ml przy maksymalnym ciśnieniu, - ciśnienie na wyjściu regulowane od 0,1-10 bar, - generator wyposażony w ekran LCD oraz lampki pokazujące włączone zasilanie Power on, że wszystko działa dobrze system ok i pokazujące, że jest błąd system error, - wyposażony w funkcje Auto shut-off, - zasilanie generatora 230V, - wymaga się dostarczenia minimum 5 torebek dejonizujących typu Triangle deionizer bag oraz minimum 5 torebek dejonizujących typu Standard deionizer bag. - wyposażony w port Digital Remote control RS-232 lub USB oraz oprogramowanie do kontroli generatora. Możliwość pracy z prekursorami o niskiej prężności par (Low Vapor Pressure Delivery (LVPD) lub lepsze rozwiązanie: - system musi być wyposażony w co najmniej jeden moduł do wspomagania wprowadzenia prekursorów do komory procesowej, - moduł wspomagający zasilany gazem Ar lub N2. Wymaga się dostarczenia generatora azotu analitycznego i generatora azotu technicznego, pełnej dużej butli z azotem analitycznym stanowiącej bufor na własność Zamawiającego. Wymaga się wykonania linii i podłączenia generatorów azotu oraz butli azotowej wraz z zaworami dwustopniowymi i liniowymi (wykonanie instalacji o czystości azotu analitycznego minimum 99,9995 % i azotu

11 technicznego minimum 99,9%, dostawa pełnej butli azotowej o czystości minimum 99,9995%, reduktorów, stojaka na butle, stabilnego o odpowiedniej wysokości stolika z stelażem pod generator azotu 90 x 90 cm). Generatory i butla muszą być zainstalowane w pomieszczeniu technicznym. Wymagania dla generatora azotu analitycznego: - przepływ regulowany (flow rate) od 0 l/min do minimum 0,75 l/min, - czystość minimum 99,9995%, - wyposażony w osuszacz, - wyposażony w zbiornik buforowy, - ciśnienie na wyjściu regulowane od 0 minimum 5 bar, - zasilanie generatora 230V, - generator stanowi kompletne urządzenie. Wymagania dla generatora azotu technicznego: - przepływ regulowany (flow rate) od 0 l/min do minimum 60 l/min, - czystość minimum 99,9%, - wyposażony w osuszacz, - wyposażony w zbiornik buforowy, - ciśnienie na wyjściu regulowane od 0 minimum 5 bar, - zasilanie generatora 230V, - generator stanowi kompletne urządzenie. Zamawiający informuje, że posiada generator sprężonego powietrza firmy Jun Air model OF MQ2. Urządzenie musi być wyposażone w linie do plazmy ozonowej wraz z generatorem ozonu. Wymaga się dostarczenia generatora ozonu i pełnej dużej butli z analitycznym tlenem O 2 o czystości minimum 99,9995% na własność Zamawiającego. Wymaga się wykonania linii tlenowej wraz z reduktorami dwustopniowymi i liniowymi (wykonanie instalacji o czystości minimum 99,9995 %, pełnej butli O 2 o czystości minimum 99,9995%, reduktorów, stojaka na butle). Butla umieszczona w pomieszczeniu technicznym. Urządzenie musi być wyposażone w grzejnik podłoża. Wymagana temperatura na podłożu podłożu-procesu: regulowana od 30 C do minimum 400 C z dokładnością ± 2 C. Wymaga się dostarczenie kompletu materiałów eksploatacyjnych obejmujących: - prekursory do otrzymywania warstw: Al 2 O 3, HfO 2, ZnO: HfO 2 - prekursor Hf - TEMAHf - prekursor O - H 2 O Al 2 O 3 - prekursor Al - TMAl (TMA) - prekursor O - O 3 ZnO - prekursor Zn - DEZn - prekursor O - H 2 O TiO 2 - prekursor do osadzania TiO 2 Materiały dostarczone w pojemnikach na prekursory pasujące do systemu. Wymaga się dostarczenia minimum 6 podłoży (3 GaAs i 3 Si) o wymiarze komory do testów jednorodności osadzania

12 warstw, rodzaj podłoży wymaga uzgodnienia z Zamawiającym Musi być dostarczona stabilna dwudrzwiowa szafa laboratoryjna (drzwiczki samodomykające wraz z zamkiem) do przechowywania prekursorów z półkami o wysokości 196cm, szerokości 80 cm, głębokości 40cm dwie sztuki, wraz z trzema stabilnymi stołami laboratoryjnymi z blatem odpornym na chemię i z ramę stalową: 160 x 90 cm, 90 x 70 cm oraz 125 x 90 cm wysokość standardowa, oraz szafy wieszakowo-półkowej 180 x 85 x 40 cm, wszystkie wykonane w takiej samej kolorystyce uzgodnionej z Zamawiającym. Producent dostarczy technologię osadzania następujących warstw tlenkowych na podłożach Si, GaN, GaAs, CdTe, ZnTe: Al 2 O 3, ZnO, HfO 2, ZrO 2. Wymaga się dostarczenia 3 dodatkowych pustych pojemników ze stali nierdzewnej na prekursory w tym jeden do wody, z możliwością grzania do temperatury co najmniej 200 C. Pojemność pojemników (wymaga uzgodnienia z Zmawiającym 25ml lub 50ml). Konstrukcja urządzenia musi gwarantować niekłopotliwą i bezpieczną wymianę prekursorów. Dla zapewnienia szybkiej i bezpiecznej wymiany cylindry z prekursorem oraz puste muszą być wyposażone w połączenia z uszczelnieniem typu VCR. W celu zapewnienia odpowiedniej czystości wykonywanych procesów wymaga się dostarczenia komory laminarnej z poziomym lub pionowym przepływem powietrza wraz z podstawą stacjonarną: - powietrze z otoczenia filtrowane jest przez filtr wstępny, a następnie przez filtr HEPA o skuteczności minimum 99,999% dla cząstek o średnicy powyżej 0,3 um, co zapewniona klasę czystości powietrza minimum 100 w obszarze roboczym, - komora wyposażona w cichy wentylator < 60 dba, - część zewnętrzna konstrukcji stalowej komory malowana farbą epoksydową termoutwardzalną, odporną na działanie środków dezynfekcyjnych i promieniowania UV, - blat roboczy komory wykonany jest ze stali nierdzewnej, - front i boki komory wykonane ze szkła bezpiecznego, - komora wyposażona jest w czytelny panel kontrolny umieszczony nad przestrzenią roboczą, - komora posiadają alarm dźwiękowy i optyczny informujący o: awarii silnika dmuchawy, nieprawidłowej prędkości przepływu laminarnego, zapchaniu filtra, - lampa jarzeniowa minimum 1000 lux, - przystosowane do pracy w pozycji siedzącej, - wyposażone w zawór do podłączenia gazu, - wyposażone w gniazdo elektryczne, - wyposażone w szufladę, - wymiary zewnętrzne komory maksymalne szerokość 165 cm, wys. 125 cm, gł. 85 cm, - wymiary przestrzeni roboczej minimalne 150 x 60 x 55 cm, maksymalne 160 x 70 x 60 cm, - zasilanie 230V 50Hz. Wymaga się dostawy 4 taboretów obrotowych laboratoryjnych (typu clean room) z antypoślizgowym siedziskiem z miękkiego tworzywa wzmacnianego, z podnóżkiem, jasnych, podstawa taboretu o średnicy

13 mm, płynnie regulowana wysokość siedziska za pomocą podnośnika pneumatycznego. Taborety bez oparcia. Taborety wyposażone w kółka obrotowe. Komputer sterujący wraz z monitorem (kompletny zestaw) wraz z oprogramowaniem do sterowania urządzeniem, odpowiednimi licencjami oraz prawem do bezpłatnej aktualizacji przez okres użytkowania systemu co najmniej 10 lat. Oprogramowanie musi pozwalać na płynną, ergonomiczną pracę na Urządzeniu, w tym definiowanie wartości oczekiwanych i kontrolę wszystkich rzeczywistych parametrów procesu, bieżącego stanu Urządzenia i wszystkich jego układów (w tym także próżni), oraz powinna umożliwiać definiowanie i przechowywanie w dedykowanej bazie danych procedur i parametrów wielu procedur (w wielu rożnych grupach dostępnych jedynie dla posiadających odpowiednie uprawnienia użytkowników), a także powinna posiadać wielopoziomowy mechanizm nadawania praw dostępu i uprawnień dla użytkowników. Kopia programu sterującego procesem wzrostu na nośniku danych. Wymaga się dostarczenia zestawu zapasowych części: oringi z pierścieniem centrującym, uszczelki, zawory ALD do prekursorów, elementy do pomiaru próżni, elementy grzewcze, reduktory, itp. System musi być przystosowany do pracy w pomieszczeniu typu clean room, minimum klasy Urządzenie musi być wyposażony system zabezpieczający interlock na wodór i tlen. Urządzenie musi być wyposażone w przycisk bezpieczeństwa EMO - EMERGENCY STOP. Odbiór Urządzenia jest dwuetapowy. Etap pierwszy polega na wykonaniu poniższych testów u Producenta urządzania ALD z wyłączeniem testów będących procesami technologicznymi. Etap drugi polega na wykonaniu poniższych testów po zainstalowaniu Urządzenia u Zamawiającego: W ramach testu akceptacyjnego zostaną przeprowadzone następujące testy: 1. Wykazanie sprawnego funkcjonowania dostarczonych urządzeń. 2. Sprawdzenie poprawności działania wszystkich układów i elementów Urządzeń poprzez przeprowadzenie testów sprawdzających według norm producenta. 3. Uzyskanie wysokiej jednorodności pokrycia podłoża w procesach testowych (termicznych, z użyciem plazmy azotowej, z użyciem ozonu) z Al 2 O 3 i HfO 2, w sumie 6 testów dopuszczalna niejednorodność pokrycia nie gorsza niż % (badana metodą elipsometryczną,) na płytce podłożowej 200 mm z warstwą 100 nm przy użyciu w linii prekursorowych. 4. Należy także wykonać test na zawartość węgla w osadzanych warstwach: - 20 nm warstwa Al2O3 nm osadzona w temperaturze <50 C musi posiadać < niż 5% węgla, dopuszczalna niejednorodność pokrycia nie gorsza niż %. 5. Wykazanie sprawności wszystkich linii prekursorowych.

14 6. Osiągniecie oferowanego zakresu temperatur dla podłoża oraz linii w przypadku linii podgrzewanych Wykonawca zapewnia wszystkie materiały i urządzenia niezbędne do przeprowadzenia testów. Urządzenie musi być wyposażone w odpowiednio dobrany, dedykowany kompresor wodny zapewniający właściwą i stabilną pracę całego urządzenia ALD (kompresor wodny chłodzony powietrzem). Kompresor musi być zainstalowany w pomieszczeniu technicznym. Wymaga się wykonania instalacji czystych gazów odpowiednio do czystości gazów (każdy gaz prowadzony oddzielna linią): azotu technicznego N2 o czystości 3N, z dostarczonej pełnej butli stalowej 40L wraz z reduktorem dwustopniowym i z generatora azotu, linia prowadzona do czterech urządzeń i ulega rozdzieleniu, przed każdym urządzeniem kończy się reduktorem liniowym, butla stanowi dodatkowe zabezpieczenie, należy zamontować przełącznik pomiędzy azotem z butli a z generatora. Butla przymocowana do ściany. Przed generatorem zamontować zawór. W pomieszczeniu technicznym linia kończy się Regulacja od 0 do 5bar. - reduktor dwustopniowy, reduktor liniowy, zawory, uchwyt na butle azotu analitycznego N2 o czystości 5.5N, z dostarczonej pełnej butli stalowej 40L wraz z reduktorem dwustopniowym i z generatora czystego azotu, linia prowadzona do czterech urządzeń i jednego odbiornika, ulega rozdzieleniu, przed każdym urządzeniem kończy się reduktorem liniowym w odbiorniku kończy się zaworem, butla stanowi dodatkowe zabezpieczenie, należy zamontować przełącznik pomiędzy azotem z butli a z generatora. Dodatkowo azot doprowadzany będzie do paneli redukcyjnych w celu płukania wszystkich instalacji. Butla przymocowana do ściany. Przed generatorem zamontować zawór. - reduktor dwustopniowy, reduktor liniowy, zawory, uchwyt na butle tlenu O2 o czystości 5 N z dostarczonej pełnej butli stalowej 10L wraz z reduktorem dwustopniowym, linia prowadzona do czterech urządzeń, ulega rozdzieleniu, przed każdym urządzeniem kończy się reduktorem liniowym, butla przymocowana do ściany. - reduktor dwustopniowy, reduktor liniowy, uchwyt na butle Hel He o czystości 5,5 N z dostarczonej pełnej butli stalowej 40L wraz z reduktorem dwustopniowym, linia prowadzona do trzech urządzeń, ulega rozdzieleniu, przed każdym urządzeniem kończy się reduktorem liniowym, butla przymocowana do ściany. - reduktor dwustopniowy, reduktor liniowy, uchwyt na butle argonu Ar o czystości 6N z dostarczonej pełnej butli stalowej 40L wraz z reduktorem dwustopniowym, linia prowadzona do czterech urządzeń, ulega rozdzieleniu, przed każdym urządzeniem kończy się reduktorem liniowym, Dodatkowo argon doprowadzany będzie do generatora wodoru w celu płukania instalacji. Butla

15 przymocowana do ściany. - reduktor dwustopniowy, reduktor liniowy, uchwyt na butle H2 o czystości 6N z generatora wodoru, linia prowadzona do 3 urządzeń, ulega rozdzieleniu, przed każdym urządzeniem kończy się zaworem, generator płukany argonem, umieszczony pod okapem z wentylacją. BCl3 o czystości min. 4N, linia zaczyna się butlą z jest Linia wymaga grzania aby zapobiec kondensacji gazu w instalacji. Cl2 o czystości min. 4N, linia zaczyna się butlą z reduktorem umieszczona w szafie gazowej zakończona jest Linia wymaga grzania aby zapobiec kondensacji gazu w instalacji jeżeli jest wymagane. SF6 o czystości 3N, linia zaczyna się butlą z jest CH4 o czystości 5.5N, linia zaczyna się butlą z jest C4F8 o czystości 5N, linia zaczyna się butlą z jest Linia wymaga grzania aby zapobiec kondensacji gazu w instalacji. SiH4 o czystości 4.5N, linia zaczyna się butlą z jest N2O o czystości 4.8N, linia zaczyna się butlą z jest CHF3 o czystości 4.5N, linia zaczyna się butlą z jest Gazy z butli będą doprowadzone instalacją do urządzeń technologicznych i należy je podłączyć do gas pod-ów. Dla płukania wszystkich instalacji do paneli redukcyjnych gazów technicznych i czystych będzie doprowadzony azot czysty lub argon z butli a instalacja wodoru za generatorem będzie płukania czystym argonem z butli. Wymaga się dostarczenia szaf gazowych na 8 butli, szafy na butle gazowe o odporności ogniowej minimum 30 minut EI30, wyposażone w przyłącze wywiewne na suficie szafy i podłączone do posiadanej wentylacji mechanicznej, szafy wyposażone w szyny montażowe i klapę do wtaczania, szafy musza umożliwić zamontowanie butli 10 litrowych jak i mniejszych. Laboratorium procesingowe jest podzielone na dwie strefy, jedna laboratoryjna a druga serwisowa - techniczna. W części laboratoryjnej będą usytuowane procesowe urządzenia technologiczne, a w części serwisowej będą usytuowane między innymi butle z gazami czystymi i technicznymi usytuowane w szafach gazowych, oraz instalacje od tych urządzeń współpracujących z urządzeniami technologicznymi. Każda butla w szafie gazowej będzie podłączona do typowego panelu redukcyjnego jedno /jedna butla. Instalacje gazów czystych należy wykonać z rur i kształtek stalowych kwasoodpornych elektro-polerowanych typ.

16 SS316L, 1/4", łączone przez spawanie orbitalne. Instalację z armaturą łączyć na połączenie zaciskowe typu VCR. Armatura odcinająca, na instalacji gazów czystych zawory kulowe ze stali kwasoodpornej SS316 łączone z instalacją na połączenia zaciskowe typu VCR. Instalacja zawierająca chlor musi być wykonana z materiałów odpornych na chlor. Instalacje azotu technicznego 3N należy wykonać z rur i kształtek odpowiednich do czystości gazu. Instalację z armaturą łączyć na połączenie zaciskowe typu Swagelok. Armatura odcinająca, na instalacji gazów technicznych ze stali odpornej łączone z instalacją na połączenia zaciskowe typu Swagelok. Panele redukcyjne jedno butlowe z butlą łączone na połączenia gwintowe. Instalacje gazów czystych i technicznych przed włączeniem do eksploatacji należy podać próbie szczelności metodą helową. Z uwagi na małe średnice instalacji należy wykonać trwałe oznakowanie z opisem medium. Butle z azotem technicznym i czystym, argonem, helem, tlenem należy przymocować do ściany. Ciśnienie robocze gazów czystych i technicznych: od 0 do 5 Bar na wyjściu z butli. Cała instalacje gazów procesowych należy wykonać w czystości 5.5N lub lepszej ( nie high purity class), azotu technicznego w klasie 3N lub lepszej, a sprężonego powietrza bez klasy. Każda linia czystych i technologicznych gazów musi posiadać stację rozprężania, do których będą podłączane butle z gazami. 32. Maksymalna wysokość systemu 200 cm. 33. System ALD musi posiadać certyfikat CE Wymaga się wykonanie bezpłatnych przeglądów technicznych po roku i po dwóch latach w okresie gwarancji, obejmujących również serwisowanie, wymianę materiałów ulegających zużyciu lub wymagających wymiany. Koszty transportu, przeglądu, koszty materiałów wymienianych oraz koszty wymiany tych materiałów ponosi Wykonawca. Wszystkie wtyczki, gniazda elektryczne, zasilanie, złącza wodne etc. muszą być zgodne z polskimi standardami. * Nieprecyzyjne lub niedokładne wypełnienie kolumny tabeli skutkować będzie odrzuceniem oferty. podpis i pieczęć imienna Oferenta

17