dr inż. Piotr Wroczyński kierownik dr inż. Marcin Gnyba zca. kierownika Katedra Optoelektroniki i Systemów Elektronicznych PG POLITECHNIKA GDAŃSKA Centrum Zawansowanych Technologii Pomorze ul. Al. Zwycięstwa 27 80-233 Gdańsk prof. dr hab. inż. Andrzej Zieliński tel. 58 348 63 57 fax. 58 347 14 15 Przewodniczący Rady Koordynator e-mail: czt@pg.gda.pl Projekt współfinansowany ze środków Regionalnego Programu Operacyjnego Województwa Pomorskiego
Plan prezentacji Wprowadzenie Założenia i cele laboratorium Harmonogram realizacji projektu Infrastruktura laboratorium Aparatura system PA CVD Tematyka rozwojowa i badawcza Współpraca z otoczeniem 2
Wprowadzenie Laboratorium Syntezy Innowacyjnych Materiałów i Elementów (LIME) jest afiliowane przy Katedrze Optoelektroniki i Systemów Elektronicznych, Domena: inżynieria materiałowa, optoelektronika, Kierownik Laboratorium: dr inż. Piotr Wroczyński Zespół: 7 osób, interdyscyplinarny, Kwota finansowania: 2 200 000 PLN 3
Założenia i cele laboratorium Założenia: synteza i badanie właściwości nanomateriałów warstwowych, wytwarzanie twardych pokryć trudnościeralnych, zastosowania w optoelektronice, medycynie, technice. Cele: budowa infrastruktury laboratorium typu clean-room, zakup systemu technologicznego µpa CVD. 4
Infrastruktura laboratorium Projekt pomieszczenia typu clean-room: pozyskano pomieszczenia, łączna powierzchnia 58 m 2, Szczegóły projektu: śluza wejściowa z lekkich profili aluminiowych i szkła, bezpyłowa, sucha klimatyzacja wraz z wytwarzaniem nadciśnienia powietrza atmosferycznego, ściany pokryte niepylącymi farbami, trudnościeralne, antystatyczne posadzki, wysoko szczelna instalacja gazowa wraz z systemem bezpieczeństwa, zamknięty system chłodzenia aparatury w oparciu o chiller chłodzący, system zaciemniania oraz odkurzacz centralny. 5
Aparatura system ECR PA CVD 6
Aparatura system PA CVD Parametry: Synteza warstw diamentu o różnej morfologii, Wysokoenergetyczna plazma mikrofalowa 2.45 GHz, 4 kanałowe doprowadzenia gazów roboczych, dozowanie gazu kontrolowane za pomocą masowych przepływomierzy, Zakres ciśnień roboczych: 1,3-2,4 kpa (10-180 Torr), Ciśnienie bazowe 10-4 Pa, Zdalnie przesuwany stolik podłożowy z polaryzacją napięciem stałym, Uchwyt podłoży grzany indukcyjnie do 1000 o C, Pirometr dwubarwowy do pomiaru i kontroli temperatury podłoża, Komora powinna być przygotowana do nieinwazyjnych pomiarów składu plazmy, temperatury powierzchni, wzrostu diamentu oraz morfologii warstw. 7
Aparatura system PA CVD 8
Harmonogram realizacji projektu Plan: Nazwa podzadania Przygotowanie projektu modernizacji i adaptacji pomieszczeń (lokali) laboratoryjnych Przeprowadzenie procedury przetargowej na wykonawców modernizacji i adaptacji pomieszczeń Wykonanie modernizacji i adaptacji pomieszczeń laboratoryjnych Przygotowanie specyfikacji oraz dokumentacji przetargowej na stanowisko technologiczne Zamówienie, realizacja zamówienia, instalacja stanowiska technologicznego i szkolenie obsługi 2010 2011 I kw. II kw. III kw. IV kw. I kw. II kw. III kw. IV kw. Status: Projekt infrastruktury pomieszczenia clean-room Rozmowy z potencjalnymi dostawcami wyposażenia oraz wykonawcami prac Negocjacje z dostawcami aparatury PA CVD Sporządzono SIWZ Przeprowadzono przetarg w języku angielskim Przetarg nie rozstrzygnięty błąd dostawcy Oczekiwanie na ponowne ogłoszenie przetargu według pierwotnie sporządzonych wymagań kwestie formalne UZP wykonawcami prac błąd dostawcy kwestie formalne UZP I II III IV 2010 9
Tematyka badawcza i rozwojowa Badania Rozwój Domieszkowane elektrody Pokrycia optyki IR elektrochemiczne Implanty ortopedyczne Warstwy pasywne i dentystyczne w strukturach GaN Narzędzia chirurgiczne Nanostruktury węglowe Wiertła dentystyczne Przewodzące warstwy Wysokoobrotowe piły do transparentne drewna Emitery pojedynczych Narzędzia skrawające fotonów Specjalistyczne noże 10
Współpraca z otoczeniem Ośrodki naukowe Institut für Physik, Ernst-Moritz-Arndt- Universität Greifswald Institute of Physics, Academy of Science of the Czech Republic Instytut Optoelektroniki - Wojskowa Akademia Techniczna Katedra Optoelektroniki - Politechnika Śląska Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska Instytut Mechatroniki Nanotechnologii i Techniki Próżniowej Politechniki Koszalińskiej MŚP Przemysłowe Centrum Optyki Szajna - optyka Oerlikon Balzers INTER-DIAMENT Automex Zapraszamy do współpracy zespoły naukowe CZT Pomorze 11
a b o r a t o r y of PA CVD e c h n o l o g y Laboratorium Innowacyjnych Materiałów i Elementów Katedra Optoelektroniki i Systemów Elektronicznych Wydział Elektroniki, Telekomunikacji i Informatyki Politechnika Gdańska www.optoelektronika.eu wrocki@eti.pg.gda.pl dr inż. Piotr Wroczyński technologia plazmy dr inż. Marcin Gnyba spektroskopia ramanowska in-situ dr hab. Inż. Aleksander Herman modelowanie molekularne dr inż. Robert Bogdanowicz plazma, OES, elipsometria mgr inż. Paulina Antoniuk inżynieria materiałowa mgr inż. Marek Sienkiewicz chemia nieorganiczna inż. Krzysztof Cykowski mechanika próżniowa i precyzyjna 12