MIKRO- I NANO-SYSTEMY W CHEMII I DIAGNOSTYCE BIOMEDYCZNEJ MNS-DIAG PROJEKT KLUCZOWY WSPÓŁFINANSOWANY PRZEZ UNIĘ EUROPEJSKĄ Z EUROPEJSKIEGO FUNDUSZU ROZWOJU REGIONALNEGO; UMOWA Nr. POIG.01.03.01-00-014/08-00 RAPORT CZĄSTKOWY PROJEKTU MNS DIAG 4A Opracowanie mikrosystemu do dynamicznego pomiaru temperatury punktu rosy w zastosowaniu do pomiaru przez naskórkowej utraty wody (do pomiaru TEWL,dermatologia) i do pomiaru wilgotności w nosie i gardle pacjenta w trakcie oddychania (laryngologia) Raport 4A - 2. Uzyskane rezultaty projektu Kierownik podprojektu: prof.r.jachowicz, ISE PW Zatwierdził:. Dr inż. Piotr Grabiec, prof. ITE Koordynator Projektu MNS DIAG Data: 31.01.2014. 1
1.Zrealizowane prace badawcze. Wszystkie założone w podzadaniu prace badawcze zostały wykonane. W końcowym efekcie prowadzonych prac zostały zrealizowane dwa systemy pomiarowe (demonstratory). Jeden został przygotowany dla aplikacji dermatologicznej do pomiaru współczynnika przeznaskórkowej utraty wody. Drugi natomiast został wykonany dla aplikacji laryngologicznej do oceny najważniejszej funkcji jam nosa: nawilżanie powietrza wdychanego i odbieranie wilgoci z powietrza wydychanego. W celu uzyskania efektu końcowego został przeprowadzony szereg prac pośrednich, konieczny do uzyskania pożądanych parametrów pomiarowych i funkcjonalnych tworzonych systemów pomiarowych. Wśród przeprowadzonych prac badawczych należy wyróżnić: Wykonanie projektu struktury półprzewodnikowego detektora punktu rosy, na podstawie którego zostały zrealizowane fizyczne czujniki pomiarowe przez Instytut Technologii Elektronowej w Piasecznie. Półprzewodnikowy detektor punktu rosy, składający się z kilku warstw metalizacji, zbudowany na podłożu krzemowym jest kluczowym elementem systemów pomiarowych. Od parametrów wykonanego detektora zależy szybkość i dokładność wykonywanych pomiarów wilgotności (do kilku pomiarów wilgotności na sekundę). Otrzymana duża liczba pomiarów na sekundę, umożliwia prawidłową ocenę mierzonych parametrów fizjologicznych człowieka. Zostało wykonane specjalistyczne stanowisko pomiarowe, składające się z fizycznych przyrządów pomiarowych, wzorcowego generatora wilgotności i wzorcowego higrometru punktu rosy, do oceny parametrów statycznych. Zbudowany został również modułowy system elektroniczny, umożliwiający ocenę dynamicznych parametrów wykonanych detektorów. Krytyczna ocena otrzymanych wyników pozwoliła na modyfikację geometrii detektora i wykonanie nowych, zmodyfikowanych egzemplarzy. Opracowana została metodologia trwałego montażu detektorów punktu rosy do elastycznego obwodu drukowanego. W czasie normalnej pracy detektor pracuje w niekorzystnych warunkach otocznia, tj. stres temperaturowy oraz naprzemienna kondensacja wody na powierzchni i jej odparowywanie. W zawiązku z powyższym należało przeprowadzić serię prób i modyfikacji rozwiązań, żeby dobrać odpowiednie materiały i parametry montażu. Opracowany został system elektroniczny do pomiarów i sterowania elementami głowicy pomiarowej integrującej wykonany detektor półprzewodnikowy oraz inne elementy tj. termistory kontrolujące temperaturę systemu, ogniowo Peltiera, pompkę powietrza czy system chłodzenia. Na podstawie wyników z konstrukcji pierwszego urządzenia opracowano demonstraotry do obu aplikacji medycznych. Demonstratory cechują się kompleksowym podejściem do zagadnienia, zarówno z punktu widzenia pomiarowego jak i ergonomii. Elementem uzupełniającym zbudowane systemy pomiarowe dla aplikacji medycznych, jest oprogramowanie komputerowe, które zarządza procesem pomiarowym oraz danymi pacjentów. Wykonano serię próbnych badań na grupie ochotników. Współpraca z lekarzami spowodowała wprowadzenie szereg udoskonaleń w wykonanych systemach pomiarowych. 1.1. Uzyskane wyniki naukowe i techniczne. Półprzewodnikowy detektor punktu rosy Półprzewodnikowy detektor punktu rosy został wykonany w technologii krzemowej (Rys. 1). Jest to struktura o wymiarach zewnętrznych 4x4mm. Składa się z dwóch warstw metalizacji. W pierwszej warstwie metalizacji umieszczonej na podłożu krzemowym z SiO 2 2
znajduje się termorezystor i grzejnik. Są to metalowe meandry-ścieżki, które się wzajemnie uzupełniają pod względem kształtu (Rys. 2). Termorezystor służy do precyzyjnego pomiaru temperatury struktury. Natomiast grzejnik służy do bardzo szybkiego podnoszenia temperatury struktury w celu odparowania wody skondensowanej na jej powierzchni. W warstwie drugiej metalizacji umieszczony został detektor rosy. Jest to struktura kondensatora grzebieniowego o szerokości ścieżki metalowej równiej 6µm i przerwy między ścieżkami również 6µm. detektor termorezystor grzejnik Rys.1. Widok od góry powierzchni detektora półprzewodnikowego oraz przekrój poprzeczny przez jego strukturę Rys.2. Geometria I i II warstwy metalizacji półprzewodnikowego detektora punktu rosy Detektory punktu rosy został wykonany na płytach krzemu 4-calowych. Przykładowa płyta krzemu z wykonanymi detektorami została przedstawiona na Rys. 3. 3
Rys. 3. Fragment płyty krzemowej z wytworzonymi detektorami punktu rosy Struktura krzemowa detektora przylutowywana jest do specjalnie wykonanego elastycznego obwodu drukowanego wykonanego z kaptonu (Rys. 4). Wszelkie kontakty obudowy elastycznej zostały pokryte warstwą złota. Miejsca lutowania zabezpieczane są specjalną żywicą utwardzaną w wysokiej temperaturze. Wykonane zabezpieczenie jest konieczne, gdyż chroni kontakty przed wnikaniem wilgoci i w konsekwencji przed ich degradacją. Obudowa elastyczna została przystosowana do montażu czujnika w testowym stanowisku pomiarowym oraz medycznych systemach pomiarowych. Rys. 4. Kompletny czujnik punktu rosy struktura detektora półprzewodnikowego zmontowana techniką flip-chip na elastycznym obwodzie drukowanym Testowe stanowisko pomiarowe Do określenia parametrów elektrycznych detektora w funkcji temperatury punktu rosy konieczne było zestawienie specjalistycznego stanowiska pomiarowego (Rys 5). Badany detektor umieszczony jest w szczelnie zamkniętej komorze pomiarowej, do której doprowadzony jest gaz o precyzyjnie określonej wilgotności. Generacja gazu o zadanej temperaturze punktu rosy odbywa się za pomocą wzorcowego generatora wilgotności. Dodatkowa kontrola wilgotności badanego gazu jest realizowana za pomocą wzorcowego higrometru punktu rosy z detekcją optyczną Michell S8000. 4
Rys. 5. Schemat ideowy testowego stanowiska pomiarowego W ramach pomiaru półprzewodnikowego detektora punktu rosy na stanowisku testowym charakteryzowane są wszystkie parametry struktury w tym głównie parametry elektryczne detektora impedancyjnego umieszczonego w drugiej warstwie metalizacji. Wynikiem przeprowadzonego pomiaru są charakterystyki pojemności i impedancji detektora dla zadanej temperatury punktu rosy i ustalonej częstotliwości sygnału pomiarowego. Ocenie podlega wartość parametrów dla detektora suchego, dla detektora zalanego wodą oraz nachylenie charakterystyki w czasie zmiany stanu detektora z niezalanego na zalanego wodą. Wszystkie elementy stanowiska są połączone magistralą wymiany danych. Przyrządami pomiarowymi zarządza specjalnie wykonana aplikacja komputerowa. Dzięki przedstawionej realizacji stanowiska testowego, proces pomiarowy przebiega automatycznie po zadaniu parametrów wejściowych. Przykładowe charakterystyki zostały przestawione na Rys. 6. 5
Rys. 6. Przykładowe charakterystyki (impedancja i pojemność) półprzewodnikowego detektora punktu rosy dla temperatur punktu rosy: 5.0 C, 10.0 C, 15.0 C i 20.0 C Systemy pomiarowe dla aplikacji medycznych W ramach zadania zostały opracowane i wykonane dwa systemy pomiarowe dla aplikacji medycznych. Pierwszy z systemów został przygotowany dla aplikacji dermatologicznej do pomiaru współczynnika przeznaskórkowej utraty wody. Natomiast drugi z nich dla aplikacji laryngologicznej do oceny głównej funkcji jam nosa jaką jest nawilżanie powietrza wdychanego oraz odbieranie wilgoci przez jamy nosa z powietrza wydychanego. Systemy pomiarowe bazują na wspólnym rozwiązaniu i różnią się między sobą budową głowicy pomiarowej oraz funkcjonalościami dostosowanymi do określonej aplikacji medycznej. Idea pomiaru obu aplikacji medycznych została przedstawiona na Rys. 7. a) b) Rys. 7. Schemat ideowy (blokowy) systemów do zastosowań medycznych: a) wersja dermatologiczna, b) wersja laryngologiczna 6
higrometr punktu rosy parowanie a) skóra b) Rys. 8. Pomiar współczynnika TEWL: a) zasada przyrostu wilgotności w komorze pomiarowej; b) prototyp przyrządu w trakcie pomiaru Elektroniczne elementy pomiarowe zostały umieszczone w module zintegrowanym z głowicą pomiarową oraz w przenośnym module mikroprocesorowym. Do najważniejszych bloków systemu należy: blok pomiaru parametrów detektora, blok sterowania parametrami detektora, blok pomiarów parametrów głowicy, blok sterowania parametrami głowicy oraz jednostka mikroprocesora (Rys. 9a). Bloki sterująco-pomiarowe wraz z głowicą pomiarową zintegrowaną ze półprzewodnikowym detektorem punktu rosy zostały umieszczone w dedykowanej obudowie wykonanej w technologii druku trójwymiarowego (Rys. 9b). Kształt obudowy jest dopasowany do dłoni i w łatwy sposób pozwala operować przyrządem pomiarowym w czasie prowadzenia typowych badań. a) b) Rys. 9. a) Schemat blokowy higrometru punktu rosy dla aplikacji medycznych, b) zdjęcia otwartego modułu pomiarowego z widoczną głowicą i elementami elektroniki sterującej. 7
Rys. 10. Pomiar współczynnika TEWL prototypowym ) TEWLmeterem Na Rys.11 zostały przedstawione wykonane systemy pomiarowe dla aplikacji medycznych. Przyjęta została nazwa TEWLmeter dla aplikacji dermatologicznej oraz Huminose dla aplikacji laryngologicznej. Opis na urządzeniach jest wykonany w języku angielskim, natomiast aplikacja komputerowa zbudowana do zarządzania systemami pomiarowymi posiada interfejs polskojęzyczny jaki i anglojęzyczny. W przypadku pomiaru współczynnika przeznaskórkowej utraty wody, głowica przykładana jest do skóry w miejscu którym należy wykonać pomiar. Pomiar trwa około 30 sekund i po tym czasie następuje automatyczne analiza danych pomiarowych w aplikacji komputerowej oraz wyznaczana jest wartość poszukiwanego współczynnika. W przypadku pomiaru funkcji jam nosa, pomiar należy wykonać w dwóch miejscach jam nosa np. nosogardło i przedsionek. Elastyczna, wymienna i podlegająca sterylizacji rurka pobiercza umieszczana jest w odpowiednim miejscu pomiarowym. Pomiar trwa łącznie około dwóch minut i po tym czasie również automatycznie aplikacja komputerowa wyznacza poszukiwany parametr oceniający funkcje jam nosa badanego pacjenta. 8
a) b) Rys. 11. Fotografie wykonanych systemów pomiarowych dla medycyny: a) TEWLmeter system pomiarowy dla dermatologii, b) Huminose system pomiarowy dla laryngologii Aplikacja komputerowa do zarządzania systemami pomiarowymi Do zarządzania wykonanymi systemami wykonano bazodanową aplikację komputerową. Aplikacja cechuje się zestawem funkcji przeznaczonym dla lekarza obsługującego system jak również rozszerzonym zestawem funkcji dla wykonawców systemu. Daje to ogromne możliwości testowania wykonanego oprogramowania przy współpracy ze zbudowanymi systemami. Do najważniejszych funkcji aplikacji komputerowej należy: możliwość komunikacji z oboma systemami pomiarowymi, odbiór i przetwarzanie danych pomiarowych, zarządzanie danymi pacjentów i parametryzacja krzywych pomiarowych. W aplikacji komputerowej zaimplementowano wiele różnych algorytmów obliczeniowych. Implementacja takich algorytmów była konieczna w celu przeprowadzenia automatycznej analizy danych pomiarowych. Przykładowy panel pomiarowy dla aplikacji dermatologicznej przedstawiono na Rys. 12, a dla aplikacji laryngologicznej na Rys 13. 9
Rys. 12. Wygląd zakładki Badanie dermatologiczne, w której aktywna jest funkcjonalność wykonywania badania i pomiaru współczynnik przeznaskórkowej utraty wody Rys. 13. Wygląd zakładki Badanie laryngologiczne, w której aktywna jest funkcjonalność wykonywania badania i pomiaru funkcji nawilżającej jam nosa Wyniki pomiarowe i najważniejsze parametry skonstruowanych przyrządów pomiarowych W ramach najważniejszych parametrów metrologicznych charakteryzujących zbudowane systemy pomiarowe należy wymienić: niepewność pomiaru temperatury punktu rosy: ±0.3 C, liczba pomiarów temperatury punktu rosy: przeciętnie 5 pomiary na sekundę a przy wyższych mierzonych wilgotnościach badanego gazu do 13 pomiarów na sekundę (Rys. 14), dynamika odpowiedzi na zmianę wartości wilgotności: przy wzroście temperatury punktu rosy 50 C w przeciągu 2 sekund przy spadku temperatury punktu rosy 50 C w przeciągu 7.6 sekundy. Otrzymane parametry metrologiczne w pełni spełniają wymagania postawione dla zbudowanych systemów pomiarowych. 10
a) b) Rys. 14. a) przebieg temperatury punktu rosy dla gazu o ustabilizowanej wilgotności, b) tabela z wynikami statystycznymi dla pomiarów gazu o różnej ustabilizowanej wilgotności Właśnie dzięki możliwości precyzyjnego sterowania mocą wbudowanej w strukturę detektora grzałki możliwe jest osiągniecie tak dużej liczby pomiarów temperatury punktu rosy w ciągu jednej sekundy. Ze względu na dużą inercję ogniwa Peltiera, które jest wykorzystane do ochładzania struktury czujnika, jest ono włączone przez cały czas trwania pomiaru. Zmiana temperatury struktury odbywa się tylko za pomocą grzałki wstrzykując zadane porcje ciepła w krótkich chwilach czasowych. Przykładowy przebieg pomiarowy temperatury punktu rosy wraz z przesterowaniami temperatury struktury przedstawiono na Rys. 15. Rys. 15. Przykładowy przebieg pomiaru temperatury punktu rosy wraz z temperaturą przesterowań struktury czujnika 11
W czasie pomiaru współczynnika przeznaskórkowej utraty wody (TEWL), po przyłożeniu głowicy pomiarowej do skóry, wilgotności w komorze pomiarowej zaczyna rosnąć do momentu równowagi termodynamicznej układu. Szybkość narastania krzywej w momencie przyłożenia głowicy do skóry jest proporcjonalna do mierzonego współczynnika. Pomiar krzywej realizowany jest w higrometrze punktu rosy natomiast za wyznaczenie współczynnika TEWL odpowiedzialna jest aplikacja komputerowa. Przykładowe przebiegi zostały przedstawione na Rys. 16. Rys. 16. Przykładowe charakterystyki pomiarowe współczynnika przeznaskórkowej utraty wody TEWL W aplikacji laryngologicznej istotne jest miejsce umieszczenie rurki probierczej, przez którą zasysane jest mierzone powietrze do komory pomiarowej. W czasie wykonywania pomiaru rejestrowana jest naprzemiennie wilgotność powietrza wdychanego i wydychanego. W zależności od miejsca umieszczenia rurki probierczej różnica pomiędzy powietrzem wdychanym a wydychanym jest bardzo duża jak ma to szczególnie miejsce dla przedsionka nosa oraz bardzo mała jak ma to miejsce w nosogardle. 12