Odporność kawitacyjna systemów z powłokami TiN

Transkrypt

1 Alicja K. Krella Odporność kawitacyjna systemów z powłokami TiN WPROWADZENIE Powłoki TiN należą do powłok znajdujących szerokie zastosowanie w przemyśle, głównie jako pokrycia na elementy pracujące w złączach tarciowych, ze względu na dużą twardość i mały współczynnik tarcia. Podstawową fazą powłok TiN wytwarzanych metodami PVD, gdy zawartość azotu przekracza 35% at., jest regularna faza δ-tin x, przy czym indeks x może przyjmować wartości z zakresu 0,7 1,63. Własności mechaniczne tych powłok zależą od składu chemicznego [1], a także od parametrów osadzania [2 4]. Badania rentgenowskie [2, 3, 5] wykazały, że niezależnie od parametrów osadzania powłoki TiN wytwarzane metodą katodowego osadzania łukowego ARC PVD mają strukturę nanokrystaliczną regularnej fazy δ-tin o dominującej orientacji krystalograficznej (111). Obserwacje na mikroskopie TEM wykazały, że powłoki TiN mają gęsto upakowaną włóknistą/kolumnową strukturę ziaren [6] o wielkości ziaren zależnej od parametrów osadzania [1 3]. Badania wytrzymałości zmęczeniowej wykazały pozytywny efekt nałożenia tych powłok na stal 316 [7]. Wzrost wytrzymałości zmęczeniowej wyniósł około 20% w przypadku osadzenia powłok TiN o grubości 3 μm, a 10% wzrost w przypadku osadzenia powłok o grubości 5 i 7 μm [7]. Zatem wzrost grubości powłok TiN osłabił pozytywny efekt ich osadzenia. Pozytywny efekt osadzenia powłok TiN odnotowano również podczas badań odporności kawitacyjnej, chociaż wszelkie defekty struktury powłok, np. mikrokrople powstałe w trakcie osadzania powłok metodą ARC PVD były miejscami inicjacji mikropęknięć i przyczyniały się do redukcji okresu inkubacji [8]. Z drugiej strony, w pracy [3] wykazano, że nieodpowiednio dobrane parametry osadzania mogą przyczynić się do uzyskania sztywnych powłok TiN o małej adhezji, które w warunkach niszczenia kawitacyjnego ulegały kruchemu pękaniu bezpośrednio po rozpoczęciu testu kawitacyjnego i przyspieszały erozję całego systemu. W pracy [9] wykazano, że wzrost twardości podłoża wzmacnia pozytywny efekt osadzenia powłok TiN. W pracy [4] został wyprowadzony wzór na wskaźnik wytrzymałości na niszczenie kawitacyjne systemów powłoka PVD ARC- -stalowe podłoże w postaci: R CAV kc 2 k H v E v s c ( 1 c ) s = c Ec ( + vc ) Hs 1 v s 2 ( S ) ( S ) 2 gdzie: k współczynnik przewodnictwa cieplnego, H twardość, GPa, ν stała Poissona, E moduł sprężystości, GPa, L C2 siła adhezji w teście rysy, N, α współczynnik rozszerzalności cieplnej, p c liczba faz w powłoce, h grubość powłok, μm, indeks c oznacza powłokę (coating), a s podłoże (substrate). Wskaźnik ten został pozytywnie zweryfikowany podczas badań powłok TiN oraz Cr-N o grubości 4, 8 i 12 μm osadzonych metodą ARC PVD na stali Dr inż. Alicja K. Krella (akr@imp.gda.pl) Instytut Maszyn Przepływowych im. R. Szewalskiego, PAN, Gdańsk pc L C2 h (1) austenitycznej [4]. Wzrostowi wartości wskaźnika R CAV towarzyszył spadek ubytków masy badanych powłok. Parametr ten nie był dotychczas weryfikowany przez systemy składające się z twardych powłok ARC PVD osadzonych na podłożach o różnych właściwościach mechanicznych. Celem prezentowanej pracy jest określenie wpływu wzrostu grubości powłok TiN osadzonych na stali austenitycznej X6CrNi- Ti18-10 poddanej przesycaniu i stali X39Cr13 poddanej obróbce cieplnej w celu uzyskania zróżnicowanej twardości podłoża na odporność kawitacyjną i mechanizm niszczenia wspomnianych systemów. Drugim celem pracy jest weryfikacja wskaźnika R CAV określonego równaniem (1) przez powłoki TiN o zróżnicowanej grubości osadzone na podłoża o zróżnicowanych właściwościach mechanicznych. Wykorzystano również wyniki badań prezentowane w pracach [4, 9]. MATERIAŁ I METODYKA BADAŃ Powłoki TiN o zróżnicowanej grubości osadzono metodą ARC PVD na próbki ( mm) wykonane ze stali austenitycznej X6CrNiTi18-10 przesycanej z temperatury 1050 C oraz ze stali X39Cr13 hartowanej z temperatury 1050 C i odpuszczanej w temperaturze 600 i 400 C w celu uzyskania podłoży o zróżnicowanych właściwościach mechanicznych. Powłoki TiN osadzano w Instytucie Mechatroniki, Nanotechnologii i Technik Próżniowych Politechniki Koszalińskiej. Wszystkie powłoki osadzano na podłoża o tempperaturze 350 C i przy napięciu polaryzacji 100 V. Pozostałe parametry osadzania powłok przedstawiono w pracy [9]. Badania twardości i modułu Younga przeprowadzono w Instytucie Technologii Eksploatacji w Radomiu. Badania rentgenowskie składu fazowego powłok wykonano za pomocą dyfraktometru rentgenowskiego DRON2 w Instytucie Mechatroniki, Nanotechnologii i Technik Próżniowych Politechniki Koszalińskiej. Tam też przeprowadzono pomiary adhezji metodą rysy za pomocą urządzenia Revetest firmy CSEM. Badania rentgenowskie [10] wykazały, że wszystkie powłoki TiN miały strukturę regularnej fazy δ-tin o dominującej orientacji krystalograficznej (111). Niemniej wraz ze wzrostem grubości powłoki zmieniała się tekstura powłok wzrastały refleksy TiN (200), TiN (220) oraz TiN (311) [10]. W powłokach występowały również charakterystyczne dla tej metody osadzania mikrokrople Ti(N). Właściwości i oznaczenia badanych systemów przedstawiono w tabeli 1. Symbolami 1, 2 i 3 oznaczono odpowiednio podłoża wykonane ze stali X6CrNiTi18-10 (H = 1,7 GPa), stali X39Cr13 odpuszczanej w temperaturze 600 C (H = 2,8 GPa) i stali X39Cr13 odpuszczanej w temperaturze 400 o C (H = 4,5 GPa). Z przedstawionych w tabeli 1 danych wynika, że wzrost grubości istotnie wpływał na właściwości (twardość, moduł sprężystości i adhezję) uzyskanych powłok. Zwiększenie twardości i modułu sprężystości mogło być spowodowane wzrostem naprężeń w powłoce. Badania degradacji powłok przeprowadzono na stanowisku kawitacyjnym ze szczelinowym wzbudnikiem kawitacji. Schemat stanowiska przedstawiono w pracy [3]. Regulacji obciążenia dokonano, regulując ciśnienie na wlocie i wylocie komory oraz poprzez zmianę szerokości szczeliny. W trakcie prowadzonych badań NR 1/2013 INŻYNIERIA MATERIAŁOWA 19

2 Tabela 1. Właściwości powłok TiN Table 1. Properties of the TiN coatings TiN4-1 TiN8-1 TiN12-1 TiN4-2 TiN4-3 TiN8-3 Podłoże X6CrNiTi X6CrNiTi X6CrNiTi X36Cr13 X36Cr13 X36Cr13 Twardość podłoża H s, GPa 1,7±0,1 1,7±0,1 1,7±0,1 2,8±0,1 4,5±0,1 4,5±0,1 Grubość powłoki h, mm 3,9±0,1 7,8±0,1 11,9±0,1 3,7±0,1 3,6±0,1 7,8±0,1 Twardość powłoki H c, GPa 21,7±2,4 26,1±2,6 27,4±5,6 25,4±7,4 27,4±2,0 29±4,5 Moduł sprężystości powłoki E c, GPa 344±50 433±44 525±28 344±90 344±52 433±68 Adhezja L C2, N 23±3 34±2 30±2 39±4 52±3 48±3 Chropowatość Ra, mm 0,35±0,05 0,36±0,05 0,38±0,05 0,34±0,05 0,35±0,05 0,38±0,05 ciśnienie na wlocie wynosiło 1000 kpa, a na wylocie 125 kpa, szerokość szczeliny pomiędzy wzbudnikami wynosiła 5 mm. Czas trwania próby kawitacyjnej wynosił 600 min. Mechanizm niszczenia powłok TiN określono za podstawie obserwacji mikroskopowych za pomocą skaningowego mikroskopu elektronowego. Pomiary chropowatości wykonywano na chropowatościomierzu SJ-301 firmy Mitutoyo, każdorazowo w tej samej odległości od czoła próbki, aby uzyskane wyniki z poszczególnych próbek mogły być ze sobą porównywane. WYNIKI BADAŃ I DYSKUSJA Krzywe erozyjne uzyskane w badaniach kawitacyjnych przedstawiono na rysunku 1. Z przeprowadzonych badań erozyjnych wynika, że osadzenie powłok TiN przyczyniło się do zmniejszenia całkowitego ubytku masy, chociaż wzrost grubości powłok, któremu towarzyszyło zwiększenie twardości i modułu sprężystości, osłabiał pozytywny efekt nałożenia twardych powłok TiN na stalowe podłoża. Uzyskany wynik wpływu wzrostu grubości powłok TiN jest zgodny z wynikami badań wytrzymałości zmęczeniowej, a mianowicie spadku właściwości ochronnych na cykliczne obciążenia wraz ze wzrostem grubości powłoki TiN [7]. Nałożenie powłok TiN o grubości około 4 μm przyczyniło się do 36% zmniejszenia ubytku masy w przypadku osadzenia tej powłoki na stali X6CrNiTi18-10, 38% w przypadku osadzenia na stali X39Cr13 o twardości 2,8 GPa i aż 59% w przypadku osadzenia na stali X39Cr13 o twardości 4,5 GPa. Ten efekt wpływu twardości podłoża na odporność kawitacyjną systemów TiN-stalowe podłoże ubytek masy, mg czas ekspozycji, min Rys. 1. Krzywe erozyjne systemów z powłokami TiN Fig. 1. Erosion curves of TiN systems przedstawiono w pracy [9]. Dwukrotny wzrost grubości powłoki TiN osadzonej na podłożu X39Cr13 o twardości 4,5 GPa zmniejszył ubytek masy do 36%. Oznacza to, że wzrost grubości powłoki TiN z 4 μm do 8 μm, któremu towarzyszyło zwiększenie twardości z 27,4 do 29 GPa i modułu sprężystości z 344 do 433 GPa oraz zmniejszenie przyczepności powłoki z 52 do 48 N, przyczynił się do około 56% zwiększenia ubytku masy. Natomiast dwukrotny wzrost grubości powłoki TiN osadzonej na stali X6CrNiTi18-10, mimo zwiększenia twardości i modułu sprężystości, przyczynił się do nieznacznego dalszego zmniejszenia ubytku masy. Przyczynę tego można upatrywać w zwiększeniu przyczepności powłoki TiN do stali X6CrNiTi18-10 (tab. 1). Pomiary chropowatości (Ra i Rz) przeprowadzone przed próbą odporności na niszczenie kawitacyjne przedstawiono w tabeli 1, natomiast po próbie kawitacyjnej w tabeli 2. Wyniki wszystkich pomiarów po próbie kawitacyjnej trudno jest ze sobą porównywać, ponieważ o degradacji całego systemu decyduje zarówno zachowanie się podłoża, jak i powłoki. W przypadku powłok osadzonych na podłożu austenitycznym można zauważyć korelację między wartościami Ra i Rz a ubytkami masy, tj. wzrostowi ubytków masy towarzyszyło zwiększenie wartości Ra i Rz. Jest to związane z wpływem podłoża na proces degradacji z odkształceniem plastycznym podłoża prowadzącym w trakcie procesu niszczenia kawitacyjnego do pofalowania powłok. Związek między Ra, Rz a plastycznością powłoki i jej przyczepnością do podłoża wyznaczono w pracy [11]. Natomiast nie odnotowano wpływu twardości podłoża na wielkość ubytków powłok TiN o grubości 4 μm osadzonych na stalowe podłoża, wyrażoną w korelacji z uzyskanymi wartościami Ra i Rz przez poszczególne systemy. Największe wartości Ra i Rz uzyskano dla powłok TiN o grubości 4 μm osadzonych na stali X39Cr13 o twardości 2,8 GPa. Przedstawione na rysunku 2 profile powierzchni powłok TiN o grubości około 4 μm osadzonych na różnych podłożach przed badaniami odporności kawitacyjnej są do siebie zbliżone, ponieważ wszystkie powłoki były osadzane w takich samych warunkach. Widoczne liczne nierówności odzwierciedlają mikrokrople, które zawsze występują w powłokach osadzanych za pomocą ARC PVD. Profile powierzchni powłok po próbach kawitacyjnych w miejscu intensywnego działania impulsów kawitacyjnych przedstawiono na rysunku 3. Widocznych na rysunku 2 licznych pików od Tabela 2. Parametry chropowatości powierzchni powłok TiN po przeprowadzonym teście odporności kawitacyjnej Table 2. Surface roughness parameters of the TiN coatings after cavitation erosion test TiN4-1 TiN8-1 TiN12-1 TiN4-2 TiN4-3 TiN8-3 Ra 1,30 1,01 2,03 1,64 1,37 0,65 Rz 8,14 6,52 9,67 11,44 7,46 4,59 20 INŻYNIERIA MATERIAŁOWA ROK XXXIV

3 a) b) c) Rys. 2. Profile powierzchni powłok TiN o grubości 4 μm osadzonych na: a) stali X6CrNiTi18-10, b) stali X39Cr13 odpuszczonej w temperaturze 600 C, c) stali X39Cr13 odpuszczonej w temperaturze 400 C, uzyskane przed badaniami odporności kawitacyjnej Fig. 2. Surface profile of TiN-350 coatings 4 μm thick deposited on: a) X6CrNiTi18-10 steel, b) X39Cr13 steel tempered at 600 C, c) X39Cr13 steel tempered at 400 C, performed before cavitation erosion tests mikrokropel nie obserwuje się na profilach po próbach kawitacyjnych, a zauważalne różnice w uzyskanych profilach uwidaczniają wpływ podłoża na proces niszczenia. Na profilach z rysunków 3a i 3b można dostrzec lekką falistość podłoża, co potwierdzają również obserwacje przeprowadzone na mikroskopie elektronowym skaningowym (rys. 4a, b). Profil powierzchni systemu powłoka TiN-stal X39Cr13 odpuszczona w temperaturze 400 C uzyskany po próbie kawitacyjnej (rys. 3c) wyraźnie odróżnia się od profili powłok TiN osadzonych na stali X6CrNiTi18-10 oraz stali X39Cr13 odpuszczonej w temperaturze 600 C (rys. 3a, b). W tym przypadku trudno dostrzec pofalowanie, wierzchołki wypukłości tworzą w przybliżeniu jedną linię, a doliny drugą. Kształt wielu nierówności profilu powierzchni może sugerować, że są to ślady penetracji powłoki przez mikrostrumienie powstałe podczas zaniku pęcherzyków kawitacyjnych. Z głębokości niektórych profili nierówności (około lub ponad 4 μm) wynika, że powłoka TiN o grubości 4 μm została całkowicie przebita. Miejsca wcześniej uszkodzone ulegają powiększeniu w wyniku implozji NR 1/2013 INŻYNIERIA MATERIAŁOWA 21

4 a) b) c) Rys. 3. Profile powierzchni powłok TiN o grubości 4 μm osadzonych na: a) stali X6CrNiTi18-10, b) stali X39Cr13 odpuszczonej w temperaturze 600 C, c) stali X39Cr13 odpuszczonej w temperaturze 400 C, uzyskane po badaniach odporności kawitacyjnej Fig. 3. Surface profile of TiN-350 coatings 4 μm thick deposited on: a) x6crniti18-10 steel, b) X39Cr13 steel tempered at 600 C, c) X39Cr13 steel tempered at 400 C, after cavitation erosion tests następnych pęcherzyków w tych miejscach lub w ich pobliżu. Uzyskany wniosek z analizy profilu powierzchni potwierdza obserwacja mikroskopowa powierzchni (rys. 4c). Ze względu na strukturę i grubość nakładanych powłok zakłada się, że nie popełnia się istotnego błędu, przyjmując, że w tych samych warunkach obciążania powłoka TiN będzie podlegać podobnym mechanizmom odkształcenia. W pracy [10] wykazano, że powłoki TiN wytwarzane metodą ARC PVD mają nanokrystaliczną strukturę. Badania wpływu szybkości obciążania na mechanizm odkształcenia materiałów nanokrystalicznych [12] wykazały, że odkształcenie w warunkach obciążeń dynamicznych przebiega głównie w wyniku poślizgu/ścinania wzdłuż granic ziaren, rotacji ziaren, chociaż nie należy wykluczać również uruchomienia dyslokacji i odkształcenia przez tworzenie pasm ścinania. Ze względu na kolumnową strukturę ziaren powłok TiN mniejszą gęstość atomową oraz mniejszy moduł sprężystości granic ziaren można przyjąć, że w warunkach obciążeń impulsami kawitacyjnymi dominującym mechanizmem odkształcenia będzie poślizg/ścinanie wzdłuż granic ziaren, któremu towarzyszy rotacja ziaren w miejscach potrójnych. Podłoże wykonane ze stali austenitycznej X6CrNiTi18-10 można uznać za podłoże miękkie w porównaniu z twardymi powłokami TiN, które odkształca się przy znacznie mniejszych obciążeniach niż powłoki TiN. W wyniku cyklicznych obciążeń impulsami kawitacyjnymi w stali austenitycznej wzrasta gęstość dyslokacji, 22 INŻYNIERIA MATERIAŁOWA ROK XXXIV

5 a) b) c) udział niszczenia plastycznego oraz usuwanie kruchych węglików (Cr, Fe) 7 C 3. Stal X39Cr13 odpuszczona w temperaturze 400 C miała strukturę martenzytu odpuszczonego i ulegała pękaniu kruchemu w warunkach kawitacji [9]. Podłoże to lepiej współpracuje z powłoką, przyczyniając się do ponad 1,5-krotnego wydłużenia okresu inkubacyjnego w porównaniu z powłokami TiN osadzonymi na miększych podłożach oraz przyczyniając się do znacznego (59%) zmniejszenia ubytków masy w porównaniu z ubytkiem masy stali bez powłoki (rys. 1). Świadczy to, że powłoka TiN wspierana przez twarde, sprężyste podłoże pochłania dominującą część energii impulsów kawitacyjnych. Z chwilą przebicia powłoki i rozpoczęciem procesu usuwania cząstek materiału danego systemu areologicznego tempo procesu degradacji było większe w porównaniu z systemami powłok TiN osadzonymi na bardziej plastycznych podłożach. W pracy [4] wyprowadzono wskaźnik odporności systemów twarda powłoka-stalowe podłoże na niszczące działanie kawitacji, R CAV równanie (1). Wskaźnik ten został pozytywnie zweryfikowany w przypadku powłok TiN i CrN osadzonych na stali austenitycznej. Depozycja twardych powłok tylko na jednym rodzaju podłoża uniemożliwiła weryfikację wpływu podłoża na proces erozyjny całego systemu. W prezentowanej pracy wykazano istotny wpływ właściwości podłoża na proces degradacji całego systemu twarda powłoka-stalowe podłoże. Wyznaczając wartości parametru R CAV dla badanych w pracy systemów uzyskano zależność ubytek masy-wskaźnik R CAV przedstawioną na rysunku 5. Z przedstawionej zależności wynika, że wzrostowi wskaźnika R CAV towarzyszy zmniejszenie ubytków masy systemów areologicznych powłoka TiN wytworzona metodą ARC PVD-stalowe podłoże, powstałych w wyniku kawitacji. Duży współczynnik determinacji R 2 = 0,9336 świadczy o poprawności wyprowadzonego parametru R CAV. WNIOSKI 1. Nałożenie powłok TiN metodą ARC PVD przy napięciu polaryzacji 100 V i temperaturze podłoża 350 C na stalowe podłoża przyczyniło się do zmniejszenia ubytków masy w porównaniu z ubytkami masy powstałymi na stalach bez powłoki ochronnej. 2. Wzrost grubości powłok TiN osłabił pozytywny efekt osadzenia powłok na stalowe podłoża. Rys. 4. Obraz uszkodzeń powstałych w trakcie niszczenia kawitacyjnego powłoki TiN o grubości 4 μm osadzonej na: a) stali X6CrNi- Ti18-10, b) stali X39Cr13 odpuszczonej w temperaturze 600 C, c) stali X39Cr13 odpuszczonej w temperaturze 400 C, po badaniach odporności kawitacyjnej; SEM Fig. 4. SEM images of degradation occurred during cavitation erosion tests of TiN-350 coatings 4 μm thick deposited on: a) X6CrNiTi18-10 steel, b) X39Cr13 steel tempered at 600 C, c) X39Cr13 steel tempered at 400 C, after cavitation erosion tests ubytek masy, mg powstaje komórkowa struktura dyslokacyjna, powstają zmęczeniowe pasma poślizgu, a w intruzjach inicjowane są pęknięcia [14]. Podłoża systemów wykonane ze stali X39Cr13 są zdecydowanie sztywniejsze niż wykonane ze stali austenitycznej. Zatem należy się spodziewać, że odkształcenie sprężysto-plastyczne będzie zachodzić przy większych amplitudach impulsów kawitacyjnych niż w przypadku stali austenitycznej X6CrNiTi Odpuszczenie stali X39Cr13 w temperaturze 600 C powoduje, że stal ma strukturę sorbityczną, twardość stali zmniejsza się, ale plastyczność wzrasta. Badania niszczenia kawitacyjnego tej stali [9] wykazały, że ulega ona lekkiemu pofalowaniu, degradacja polega na wyżłabianiu materiału wzdłuż igieł martenzytu, któremu towarzyszył Rys. 5. Zależność ubytku masy badanych systemów z powłokami TiN od wskaźnika R CAV Fig. 5. Relationship between mass loss of employed systems with TiN coatings and R CAV parameter NR 1/2013 INŻYNIERIA MATERIAŁOWA 23

6 3. Właściwości podłoża mają wpływ na mechanizm degradacji systemów areologicznych powłoka TiN-stalowe podłoże. 4. Wyniki doświadczalne prezentowane w pracy potwierdzają poprawność wskaźnika R CAV wyrażonego równaniem (1). Wzrostowi wartości R CAV towarzyszy zmniejszenie ubytku masy systemów powłoka TiN wytworzona metodą ARC PVD-stalowe podłoże powstałego w wyniku kawitacji. PODZIĘKOWANIA Autorka pragnie wyrazić podziękowania dr inż. Andrzejowi Czyżniewskiemu z Instytutu Mechatroniki, Nanotechnologii i Technologii Próżniowych Politechniki Koszalińskiej za nałożenie powłok TiN, przeprowadzenie pomiarów adhezji i badań dyfrakcyjnych. LITERATURA [1] Sundgren J.-E., Johansson B.-O., Karlsson S. E., Hetzel T. G.: Mechanisms of reactive sputtering of titanium nitride and titanium carbide. II: Morphology and structure. Thin Solid Films 105 (1983) [2] Maheo D., Poitevin J.-M.: Microstructure and electrical resistivity of TiN films deposited on heated and negatively biased silicon substrates. Thin Solid Films 237 (1994) [3] Krella A., Czyżniewski A.: Investigation concerning the cavitation resistance of TiN coatings deposited on stainless steel at various temperatures. Wear 265 (2008) [4] Krella A.: The new parameter to assess cavitation erosion resistance of hard PVD coatings. Engineering Failure Analysis 18 (2011) [5] Gahlin R., Bromark M., Hedenqvist P., Hogmark S., Hakansson G.: Properties of TiN and CrN coatings deposited at low temperature using reactive arc-evaporation. Surface and Coatings Technology (1995) [6] Kim G. S., Lee S. Y., Hahn J. H., Lee B.Y., Han J. G., Lee J. H., Lee S. Y.: Effects of the thickness of Ti buffer layer on the mechanical properties of TiN coatings. Surface and Coatings Technology 171 (2003) [7] Su Y. L., Yao S. H., Wei C. S., Kao W. H., Wu C. T.: Influence of singleand multilayer TiN films on the axial tension and fatigue performance of AISI 1045 steel. Thin Solid Films 338 (1999) [8] Münsterer S., Kohlhof K.: Cavitation protection by low temperature TiCN coatings. Surface and Coatings technology (1995) [9] Krella A., Czyżniewski A.: Influence of the substrate hardness on the cavitation erosion resistance of TiN coating. Wear 263 (2007) [10] Czyżniewski A.: Opracowanie i analiza wyników badań struktury i właściwości powłok TiN i Cr-N o zróżnicowanej grubości (4 12 μm) wytworzonych na stali austenitycznej X6CrNiTi18-10 i stali X39Cr13 metodą katodowego odparowania łukowego (ARC). Opr. IMP nr 6313/06. [11] Krella A.: The influence of TiN coatings properties on cavitation erosion resistance. Surface & Coatings Technology 204 (2009) [12] Markmann J., Bunzel P., Rosner H., Liu K. W., Padmanabhan K. A., Birringer R., Gleiter H., Weissmuller J.: Microstructure evolution during rolling of inert-gas condensed palladium. Scripta Materialia 49 (2003) [13] Krella A.: Mechanizmy odkształcenia materiałów nanostrukturalnych. Inżynieria Materiałowa 5 (2011) 844. [14] Krella A.: Influence of cavitation intensity on X6CrNiTi18-10 stainless steel performance in the incubation period. Wear 258 (2005) INŻYNIERIA MATERIAŁOWA ROK XXXIV