Specyfikacja istotnych warunków zamówienia publicznego

Transkrypt

1 DZPIE/002/NZU/569/2015 Specyfikacja istotnych warunków zamówienia publicznego Przedmiot postępowania: Uniwersalna linia technologiczna do badań procesów wytwarzania nanostruktur i prototypów przyrządów półprzewodnikowych, nadprzewodnikowych i metalicznych. Kod CPV: Tryb udzielenia zamówienia: Inwestor/Kupujący: Ochrona prawna SIWZ: Postępowanie jest prowadzone w trybie przetargu nieograniczonego zgodnie z Prawem Zamówień Publicznych z dn. 29 stycznia 2004 r. Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk Warszawa, Al. Lotników 32/46. NIP: ; Regon: P Dokument chroniony prawem autorskim Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk Zakup przedmiotu zamówienia finansowany ze środków Ministerstwa Nauki i Szkolnictwa Wyższego w zakresie wytworzenia aparatury naukowo-badawczej stanowiącej dużą infrastrukturę badawczą. 1. Opis przedmiotu zamówienia: Przedmiotem zamówienia jest dostawa fabrycznie nowego urządzenia do osadzania próżniowego warstw o wysokiej stałej dielektrycznej (Atomic Layer Deposition - ALD) wchodzącego w skład uniwersalnej linii technologicznej do badań procesów wytwarzania nanostruktur i prototypów przyrządów półprzewodnikowych, nadprzewodnikowych i metalicznych wraz z pełnym wyposażeniem, instalacją, uruchomieniem, testowaniem i szkoleniami. Urządzenie musi umożliwiać chemiczne osadzanie warstw tlenkowych oraz pokryć antyrefleksyjnych, zapewniając pokrycie konforemne: grubość nowej warstwy jest stała wzdłuż interfejsu tzw. conformal coating, oraz pozwalając regulować stechiometrię dzięki sekwencyjnemu osadzaniu cząsteczek z fazy gazowej (tzw. prekursorów). Wymaga się podania: nazwy urządzenia, modelu, typu, producenta, kraju pochodzenia. Wymagany rok produkcji Fabrycznie nowe urządzenie, nie używane w jakimkolwiek laboratorium oraz nie pokazywane na konferencjach i imprezach targowych. Wymagania odnośnie gwarancji, serwisu. 1. Dostawca udzieli minimum dwuletniej gwarancji na kompletny przedmiot zamówienia (od dnia podpisania protokołu odbioru) obejmującej również serwisowanie i wymianę części wymagających wymiany.

2 2. Koszty transportu, serwisowania, koszty części wymienianych oraz koszty wymiany tych części ponosi dostawca. 3. Czas przystąpienia do naprawy gwarancyjnej: nie dłuższy niż 5 dni od daty zgłoszenia przez Zamawiającego telefonicznie lub na piśmie (np. pocztą elektroniczną, faksem itp.) nieprawidłowego działania urządzenia. 4. Wykonawca musi zapewnić bezpłatne porady serwisowe drogą elektroniczną i telefonicznie przez minimum 10 lat. 5. Wymaga się dostarczenia numeru telefonu, adresu mailowego i danych osób odpowiedzialnych za serwis. 6. Czas przywrócenia pełnej funkcjonalności urządzenia: nie dłuższy niż 30 dni kalendarzowych od daty zgłoszenia przez Zamawiającego nieprawidłowego działania urządzenia. 7. Okres bezpłatnego serwisu gwarancyjnego ulega automatycznie przedłużeniu o okres naprawy, a po wystąpieniu trzykrotnej awarii tego samego podzespołu lub elementu wykonawca zobowiązany jest do wymiany wadliwej części na nową. 8. Bezpłatna aktualizacja oprogramowania przez okres co najmniej 10 lat od daty podpisania protokołu odbioru. 9. Dostarczony sprzęt musi odpowiadać wszystkim wymogom technicznym i jakościowym określonym przez Zamawiającego w specyfikacji technicznej. Powinna zostać do niego załączona dokumentacja techniczna, płyty instalacyjne oraz instrukcja obsługi w jęz. polskim lub angielskim. Wykonawca zagwarantuje jakość dostarczonych produktów zgodnie ze specyfikacją techniczną - odpowiedzialność z tytułu gwarancji jakości obejmuje zarówno wady powstałe z przyczyn tkwiących w przedmiocie zamówienia w chwili dokonania odbioru przez zamawiającego, jak i wszelkie inne wady powstałe z przyczyn, za które wykonawca ponosi odpowiedzialność. 10. System musi być przystosowany i dopuszczony do pracy na terytorium RP (zasilanie z sieci 230V AC, 50 Hz.), tzn. posiadać wszelkie wymagane certyfikaty (np. CE, jeśli ma zastosowanie) oraz musi być dostarczony wraz materiałami i akcesoriami (np. przewodami zasilającymi i przyłączeniowymi, kablami pomiarowymi, adapterami, zasilaczami, itp. elementami) niezbędnymi do uruchomienia i poprawnej pracy. 11. Wymagany okres dostępności części zamiennych: min. 10 lat od daty podpisania protokołu odbioru, 12. Wykonawca zainstaluje i uruchomi dostarczony system oraz przeszkoli minimum pięciu pracowników Zamawiającego (w laboratorium Zamawiającego) w zakresie budowy, obsługi, konserwacji technicznej, obsługi programu sterującego, omówienia warunków bezpieczeństwa, omówienia bieżących prac serwisowych i jego użytkowania w terminie nie dłuższym niż 1 miesiąc od daty uruchomienia - minimum 3 dniowe szkolenie. Wykonawca wykona badania stabilności pracy i przeprowadzi niezbędne testy sprawdzające działanie całości układu w oparciu o próbki kalibracyjne i testowe. Szkolenie uważa się za zakończone po przeprowadzeniu przez co najmniej dwie osoby procesu nakładania wspomnianych warstw Al 2 O 3, ZnO, HfO 2. Wykonawca po okresie 3 miesięcy przeprowadzi szkolenie aplikacyjne w terminie nie dłuższym niż 6 miesiąc od daty uruchomienia minimum 5 dniowe szkolenie.

3 Zostanie to potwierdzone obustronnie podpisanym protokółem odbioru. Koszty związane z instalacja, testami i przeszkoleniem pracowników w zakresie obsługi całego systemu i poszczególnych urządzeń wchodzących w jego skład, zostaną wliczone w cenę całkowitą. Wykonawca musi zapewnić materiały i urządzenia niezbędne do przeprowadzenia testów i szkolenia. 2. Wymagany termin wykonania zamówienia: Wymaga się, aby ostateczna realizacja przedmiotu zamówienia, nastąpiła w terminie do 16 listopada 2015 r. 3. Warunki udziału w postępowaniu, opis sposobu dokonywania oceny spełniania tych warunków oraz wykaz oświadczeń i dokumentów, jakie maja dostarczyć wykonawcy w celu potwierdzenia spełniania tych warunków: 1 O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy spełniają warunki z Art. 22 ust. 1 Ustawy PZP, dotyczące: 1) posiadania uprawnień do wykonywania określonej działalności lub czynności, jeżeli przepisy prawa nakładają obowiązek ich posiadania; 2) posiadania wiedzy i doświadczenia; 3) dysponowania odpowiednim potencjałem technicznym oraz osobami zdolnymi do wykonania zamówienia; 4) sytuacji ekonomicznej i finansowej, i nie podlegają wykluczeniu z postępowania z trybie Art. 24 ust. 1. Oświadczenie o spełnianiu warunków udziału w postępowaniu zgodnie z Art. 22 ust. 1 Ustawy PZP. Oświadczenie o braku podstaw do wykluczenia z postępowania zgodnie z Art. 24 ust. 1 Ustawy PZP. Informacja o przynależności lub braku przynależności do grupy kapitałowej wraz z listą podmiotów należących do tej grupy kapitałowej. 2 O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą się należytym wykonaniem min. 4 dostaw wraz z uruchomieniem jednokomorowych reaktorów ALD (single chamber - single hot wall) do osadzania warstw atomowych. Wykaz wykonanych, a w przypadku świadczeń okresowych lub ciągłych również wykonywanych, głównych dostaw, w okresie ostatnich trzech lat przed upływem terminu składania ofert, a jeżeli okres prowadzenia działalności jest krótszy w tym okresie, wraz z podaniem ich wartości, przedmiotu, dat wykonania i podmiotów, na rzecz których dostawy zostały wykonane, oraz załączeniem dowodów, czy zostały wykonane lub są wykonywane należycie. 3 O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy posiadają ubezpieczenie od odpowiedzialności cywilnej w zakresie prowadzonej działalności związanej z przedmiotem zamówienia na kwotę nie mniejsza niż ,00 PLN. Opłacona polisa, a w przypadku jej braku, inny dokument potwierdzający, że wykonawca jest ubezpieczony od odpowiedzialności cywilnej w zakresie prowadzonej działalności związanej z przedmiotem zamówienia.

4 4 O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą brak podstaw do wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt. 2. Aktualny odpis z właściwego rejestru, jeżeli odrębne przepisy wymagają wpisu do rejestru, w celu wykazania braku podstaw do wykluczenia w oparciu o art. 24 ust. 1 pkt. 2 ustawy, wystawiony nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania ofert, a w stosunku do osób fizycznych oświadczenia w zakresie art. 24 ust. 1 pkt. 2 Ustawy. 5 O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy nie zalegają z opłacaniem podatków. Aktualne zaświadczenie właściwego naczelnika urzędu skarbowego potwierdzające, że wykonawca nie zalega z opłacaniem podatków, lub zaświadczenie, że uzyskał przewidziane prawem zwolnienie, odroczenie lub rozłożenie na raty zaległych płatności lub wstrzymanie w całości wykonania decyzji właściwego organu wystawione nie wcześniej niż 3 miesiące przed upływem terminu składania ofert. 6 O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy nie zalegają z opłacaniem składek na ubezpieczenia zdrowotne i społeczne. Aktualne zaświadczenie właściwego oddziału ZUS lub KRUS potwierdzającego, że wykonawca nie zalega z opłacaniem składek na ubezpieczenia zdrowotne i społeczne, lub potwierdzenia że uzyskał przewidziane prawem zwolnienie, odroczenie lub rozłożenie na raty zaległych płatności lub wstrzymanie w całości wykonania decyzji właściwego organu wystawione nie wcześniej niż 3 miesiące przed upływem terminu składania ofert. 7 O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą brak podstaw do wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt Aktualna informacja z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 4-8 ustawy, wystawiona nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania ofert. 8 O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą brak podstaw do wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt. 9. Aktualna informacja z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 9 ustawy, wystawiona nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania ofert. 9 O udzielenie zamówienia mogą ubiegać się wykonawcy, którzy wykażą brak podstaw do wykluczenia w trybie Art. 24 ust. 1 pkt. 10 i 11. Aktualna informacja z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 10 i 11 ustawy, wystawionej nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu albo składania ofert. Jeżeli, w przypadku wykonawcy mającego siedzibę na terytorium Rzeczypospolitej Polskiej, osoby, o których mowa w art. 24 ust. 1 pkt. 5 8, 10 i 11 ustawy, mają miejsce zamieszkania poza terytorium Rzeczypospolitej Polskiej, wykonawca składa w odniesieniu do nich zaświadczenie właściwego organu sądowego albo administracyjnego miejsca zamieszkania, dotyczące niekaralności tych osób w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 5 8, 10 i 11 ustawy, wystawione nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania wniosków o dopuszczenie do udziału w postępowaniu o udzielenie zamówienia albo składania ofert, z tym że w przypadku gdy w miejscu zamieszkania tych osób nie wydaje się takich zaświadczeń zastępuje się je dokumentem zawierającym oświadczenie złożone przed właściwym organem sądowym, administracyjnym albo organem samorządu zawodowego lub gospodarczego miejsca zamieszkania tych osób lub przed notariuszem.

5 Jeżeli wykonawca ma siedzibę lub miejsce zamieszkania poza terytorium Rzeczypospolitej Polskiej, zamiast dokumentów, o których mowa w : 1) pkt. 4-6 i 8 - składa dokument lub dokumenty wystawione w kraju, w którym ma siedzibę lub miejsce zamieszkania, potwierdzające odpowiednio, że: a) nie otwarto jego likwidacji ani nie ogłoszono upadłości, b) nie zalega z uiszczaniem podatków, opłat, składek na ubezpieczenie społeczne i zdrowotne albo że uzyskał przewidziane prawem zwolnienie, odroczenie lub rozłożenie na raty zaległych płatności lub wstrzymanie w całości wykonania decyzji właściwego organu, c) nie orzeczono wobec niego zakazu ubiegania się o zamówienie; 2) pkt. 7 i 9 - składa zaświadczenie właściwego organu sądowego lub administracyjnego miejsca zamieszkania albo zamieszkania osoby, której dokumenty dotyczą, w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 4-8, 10 i 11 ustawy. Dokumenty, o których mowa powyżej pkt. 1 lit. a i c, oraz pkt. 2, powinny być wystawione nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania wniosków o dopuszczenie do udziału w postępowaniu o udzielenie zamówienia albo składania ofert. Dokument, o którym mowa w pkt. 1 lit. b, powinien być wystawiony nie wcześniej niż 3 miesiące przed upływem terminu składania wniosków o dopuszczenie do udziału w postępowaniu o udzielenie zamówienia albo składania ofert. Jeżeli w kraju miejsca zamieszkania osoby lub w kraju, w którym wykonawca ma siedzibę lub miejsce zamieszkania, nie wydaje się dokumentów, o których mowa powyżej zastępuje się je dokumentem zawierającym oświadczenie, w którym określa się także osoby uprawnione do reprezentacji wykonawcy, złożone przed właściwym organem sądowym, administracyjnym albo organem samorządu zawodowego lub gospodarczego odpowiednio kraju miejsca zamieszkania osoby lub kraju, w którym wykonawca ma siedzibę lub miejsce zamieszkania, lub przed notariuszem. Wykonawca może polegać na wiedzy i doświadczeniu, potencjale technicznym, osobach zdolnych do wykonania zamówienia lub zdolnościach finansowych innych podmiotów, niezależnie od charakteru prawnego łączących go z nimi stosunków. W przypadku składania oferty przez Wykonawców występujących wspólnie, dokumenty 3 pkt. 4-9 muszą być złożone przez każdego Wykonawcę oddzielnie, warunek 3 pkt. 2-4 musi spełnić co najmniej jeden Wykonawca, a oświadczenia 3 pkt. 1 składa i podpisuje w imieniu wszystkich Wykonawców Pełnomocnik, wpisując w miejscu przeznaczonym na podanie nazwy i adresu Wykonawcy, nazwy i adresy wszystkich Wykonawców składających ofertę wspólną i załącza pełnomocnictwo do ich reprezentowania. 4. Informacje o sposobie porozumiewania się zamawiającego z wykonawcami, a także wskazanie osób uprawnionych do porozumiewania się z wykonawcami: 1 Zamawiający będzie kontaktował się z wykonawcami drogą faksu lub na piśmie. 2 Osoby przewidziane do kontaktu z wykonawcami: Maciej Zajączkowski - fax: (+48 22) Wymagania dotyczące wadium: 1 Zamawiający ustala kwotę wadium na sumę: ,00 PLN.

6 2 Zgodnie z Art. 45 ust. 6 wadium może być wnoszone w jednej lub kilku następujących formach: pieniądzu; poręczeniach bankowych lub poręczeniach spółdzielczej kasy oszczędnościowokredytowej, z tym że poręczenie kasy jest zawsze poręczeniem pieniężnym; gwarancjach bankowych; gwarancjach ubezpieczeniowych; poręczeniach udzielanych przez podmioty, o których mowa w Art. 6b ust. 5 pkt. 2 ustawy z dnia 9 listopada 2000r. o utworzeniu Polskiej Agencji Rozwoju Przedsiębiorczości (Dz. U. Nr 109, poz. 1158, z późn. zm.). 3 Konto bankowe w przypadku wpłaty wadium w PLN: BGK Termin związania ofertą: 1 Zamawiający ustala termin związania ofertą na okres 60 dni od daty terminu składania ofert. 7. Opis sposobu przygotowania oferty: 1 Oferta powinna być sporządzona w języku polskim z zachowaniem formy pisemnej, trwałą, czytelną techniką. 2 Każdy wykonawca może złożyć tylko jedną ofertę. Wykonawca, który przedłożył więcej niż jedną ofertę, zostanie wyłączony z postępowania. 3 Dopuszcza się składanie ofert częściowych. 4 Oferta powinna zawierać: specyfikację techniczną urządzenia/oprogramowania potwierdzającą, że spełnia wymagania techniczne wymienione w 1; termin dostawy; warunki gwarancji; cenę. 5 Kserokopia dowodu uiszczenia wadium powinna być załączona do oferty; oryginał powinien być w odrębnej kopercie. 6 Wszystkie zapisane strony oferty powinny być ponumerowane, podpisane i zszyte. 7 Wymaga się, aby do oferty dołączyć zeskanowaną ofertę do pliku PDF. Nośnikiem danych może być płyta CD lub DVD 8 Oferent powinien zamieścić ofertę w kopercie z adresem i nazwą Zamawiającego oraz Oferenta, a także napisem: "Postępowanie o udzielenie zamówienia publicznego w trybie przetargu nieograniczonego na uniwersalną linię technologiczną 3 [DZPIE/002/NZU/569/2015]" 8. Miejsce oraz termin składania i otwarcia ofert: 1 Ofertę należy złożyć w siedzibie Zamawiającego, budynek I pok. Nr. 101 (kancelaria ogólna) w godzinach w dni robocze, do dnia 26 marca 2015 r., do godz.

7 12:00. 2 W przypadku wysłania oferty pocztą (lub pocztą kurierską) za termin złożenia przyjmuje się termin otrzymania oferty, a nie datę stempla pocztowego (nadania). 3 Otwarcie ofert odbędzie się w ostatnim dniu ich składania, w siedzibie Zamawiającego, budynek I pok. 107 o godzinie 14: Opis sposobu obliczenia ceny: 1 Cena wyrażona w walucie polskiej PLN. 2 Cena powinna uwzględniać: koszt urządzeń, oprogramowania, instalacji, gwarancji i szkolenia, koszty opakowania, koszty ubezpieczenia i transportu towaru do IF PAN. 10. Opis kryteriów, którymi zamawiający będzie się kierował przy wyborze oferty w celu zawarcia umowy w sprawie zamówienia publicznego: 1 Cena 93 pkt. 2 Gwarancja 2 pkt. 3 Wydajniejszy system pompowania 5 pkt. 4 Przy przeliczaniu punktów za cenę, Zamawiający posłuży się wzorem: C min 93 C bad gdzie: C min cena najtańszej oferty; C bad cena oferty badanej. 5 Zamawiający przyzna 2 pkt. za dodatkowy rok gwarancji. 6 Zamawiający przyzna 5 pkt. za zastosowanie pompy turbomolekularnej z magnetycznym zawieszeniem wirnika do pompowania komory reakcyjnej o minimalnej szybkości pompowania 500 l/s i średnicy otworu pompowania minimum 100 mm. Pompowanie komory z poziomu ciśnienia atmosferycznego do minimum Torra lub lepiej. 7 Oferta z najwyższym bilansem punktowym, zostanie uznana za najkorzystniejszą. 11. Informacje o formalnościach, jakie powinny zostać dopełnione po wyborze oferty w celu zawarcia umowy w sprawie zamówienia publicznego: 1 Wykonawca, który wygrał postępowanie o udzielenie zamówienia publicznego, powinien podpisać umowę w ciągu 7 dni od daty zakończenia terminu na wnoszenie odwołań, na warunkach określonych w niniejszej specyfikacji istotnych warunków zamówienia, jednak nie później niż termin związania ofertą.

8 12. Istotne dla stron postanowienia, które zostaną wprowadzone do treści zawieranej umowy w sprawie zamówienia publicznego: 1 Warunki dostawy: Instytut Fizyki PAN. 2 Warunki płatności: 20% wartości umowy, po otrzymaniu dokumentacji technicznej wykonania zamówienia, na podstawie faktury cząstkowej; 50% wartości umowy, po dostawie przedmiotu zamówienia, na podstawie faktury cząstkowej; 30% wartości umowy, w ciągu 21 dni od daty odbioru protokolarnego, na podstawie faktury końcowej. 3 W przypadku wystąpienia zwłoki w wykonaniu przedmiotu umowy, Wykonawca zobowiązuje się zapłacić na rzecz Zamawiającego kary umowne w wysokości 0,1% wartość umowy za każdy dzień zwłoki, począwszy od pierwszego dnia następującego po umownym terminie wykonania. Suma kar umownych nie może przekroczyć 10% wartości umowy. 4 Warunki gwarancji: rozpoczęcie okresu gwarancji zaczyna się od daty uruchomienia. W przypadku wystąpienia awarii w okresie gwarancyjnym czas obowiązywania gwarancji będzie przedłużany o okres upływający pomiędzy zgłoszeniem awarii a jej całkowitym usunięciem. 5 W przypadku wystąpienia opóźnienia płatności Kupujący zobowiązany jest zapłacić na rzecz Sprzedającego odsetki zgodnie z polskim prawem. 6 Wszelkie spory wynikłe na tle umowy będzie rozstrzygał sąd właściwy dla siedziby Zamawiającego. 13. Pouczenie o środkach ochrony prawnej: Środki ochrony prawnej, przysługujące wszystkim wykonawcom, opisane są w Dziale VI Prawa Zamówień Publicznych z dn. 29 stycznia 2004r (Dz. U. Nr 19, poz. 177 z dnia 9 lutego 2004 wraz z późniejszymi zmianami).

9 pieczęć adresowa Oferenta data Oferta dla Instytutu Fizyki PAN do DZPIE/002/NZU/569/2015 Oświadczamy, że wykonamy przedmiot zamówienia w Instytucie Fizyki PAN (zgodnie z SIWZ) za kwotę: PLN (słownie:. brutto) Warunki gwarancji i rękojmi: Stawka podatku VAT: % Warunki płatności: przelew 21 dni od daty odbioru(ów) protokolarnych i od wystawienia faktur VAT. Na ofertę składają się: 1. Formularz Oferty str. 2. Oświadczenie Art. 22 ust str. 3. Oświadczenie Art. 24 ust str. 4. Wykaz dostaw str. 5. Polisa OC str. 6. Informacja banku/skok u str. 7. Odpis z właściwego rejestru str. 8. US str. 9. ZUS/KRUS str. 10. KRK str str str str. podpis i pieczęć imienna Oferenta

10 pieczęć adresowa Oferenta data Urządzenie do osadzania próżniowego warstw o wysokiej stałej dielektrycznej (Atomic Layer Deposition - ALD) wchodzącego w skład uniwersalnej linii technologicznej do badań procesów wytwarzania nanostruktur i prototypów przyrządów półprzewodnikowych, nadprzewodnikowych i metalicznych. Lp Wymagania (wymagane parametry minimalne) Urządzenie przeznaczone jest do osadzania cienkich warstw materiałów półprzewodnikowych i izolacyjnych (dielektryków), w szczególności Al 2 O 3, ZnO i HfO 2 oraz innych. Jednokomorowy reaktor ALD (single chamber- single hot wall) do osadzania warstw atomowych, sterowany komputerowo, umożliwiający wykonywanie procesów wzrostu termicznych, wspomaganych plazmowo oraz ozonem w tej samej komorze bez potrzeby wymiany sprzętu i przy wykorzystaniu jednego cyklu technologicznego. Komora urządzenia oraz śluza muszą umożliwić przeprowadzenie procesu osadzania dla małych, nieregularnych próbek oraz próbek o rozmiarze do co najmniej 200 mm bez potrzeby wymiany osprzętu. Komora musi mieć możliwość grzania do >= 180 C w celu zapewnienia efektywnego usunięcia z niej wilgoci i zabezpieczania przed osadzaniem materiału. Przepływ prekursora w komorze reakcyjnej musi odbywać się w kierunku prostopadłym/pionowym do powierzchni próbki. Wymagane jest dostarczenie przez Producenta dokumentacji technicznej potwierdzającej prostopadły/pionowy kierunek przepływu prekursora względem powierzchni próbki. Komora musi być wyposażona w niezbędne komponenty do prowadzenia analizy in-situ w czasie rzeczywistym podczas pracy systemu: - komora musi być wyposażona w minimum dwa porty do sprzężenia systemu ALD z elipsometrem. - komora umożliwia montaż elipsometru na komorze bez konieczności ingerowania w system. - komora musi być wyposażona w port do sprzężenia systemu ALD z wagą kwarcową QCM. Co najmniej 6 linii prekursorów z pojemnikami typu cylinder, w tym co najmniej 2 z możliwością grzania do co najmniej 200 C z dokładnością ± 2 C. Zarządzanie temperaturą prekursora niezależnie dla każdego cylindra i linii. Kolumna do wypełnienia przez oferenta Należy potwierdzić lub opisać *

11 Wszystkie pojemniki na prekursory wykonane ze stali nierdzewnej (minimum 6 pojemników) zmontowane w dedykowanej kabinie prekursorów z niezbędnymi zaworami ALD na każdy z prekursorów: kabina prekursorów wyposażona w zawory ALD: - ultra szybkie zawory ALD 10ms do precyzyjnego zarządzania oraz aplikowania prekursorów poprzez dedykowany pojedynczy wlot do komory procesowej, - kolektor zaworów ALD grzany płaszczem grzejnym, - kontrolery przepływu MFC z pneumatycznie kontrolowanymi zaworami. Kabina z prekursorami musi być wyposażona w odpowiedni komin umożliwiający podłączanie jej do systemu wentylacji. Wymaga się podłączenie jej do systemu wentylacji. Musi istnieć możliwość stosowania prekursorów stałych, ciekłych oraz gazowych w systemie ALD. Wymagany całkowicie bezolejowy system pompowania składający się z pompy turbomolekularnej do pompowania komory reakcyjnej o minimalnej szybkości 300l/s, pompy turbomolekularnej do pompowania śluzy oraz pompy próżni wstępnej typu Roots (lub lepszej) o szybkości pompowania minimum 90m 3 /h wraz z kontrolerami. Wydechy pomp muszą być podłączone do systemu wentylacji chemicznej poprzez filtry absorpcyjne. Pompy musza być odporne chemicznie na używane prekursory. Pompowanie komory z poziomu ciśnienia atmosferycznego do minimum Torra w mniej niż 30 minut. Wszystkie linie układów pompujących odporne na temperaturę. Układy pompowania wyposażone w automatyczne zawory odcinające. System wyposażony w miernik próżni w całym zakresie pompowania (wysokiej i niskiej próżni) z zabezpieczeniem zapobiegającym osadzaniu się warstwy na części pomiarowej. Filtr pochłaniający pary resztkowe umieszczony miedzy komorą reakcyjną a pompa turbomolekularną (lub inne lepsze rozwiązanie), nadający się do regeneracji przez wygrzewanie, czyszczenie lub z wymiennymi wkładami (minimum 2 zapasowe wkładki). Urządzenie musi być wyposażone w pełni zautomatyzowany system Load Lock umożliwiający ładowanie podłoży o rozmiarach: małe próbki i nieregularne, 1 calowe, 2 cale, 4 cale, 6 cali, do co najmniej 8 cali ze zmotoryzowanym transferem do komory reakcyjnej wraz z osobną pompą turbomolekularną do odpompowania śluzy. Śluza musi być wyposażona w detektory pomiaru próżni. Wymaga się dostarczenie dedykowanych uchwytów na próbki, odpornych na grzanie temperaturą z grzejnika podłoża jeżeli jest to jeden standardowy uchwyt to wymaga się dostarczenie minimum 2 uchwytów. Dedykowany przez Producenta Urządzenia generator plazmy ICP do nanoszenia warstw atomowych zainstalowany na komorze reakcyjnej. Moduł plazmy wraz z generatorem RF zintegrowany w systemie, moc co najmniej 300W (źródło fal 13.56MHz z możliwością dostrajania). Możliwość ustawienia mocy plazmy, jako parametry procesowe.

12 Jednostka plazmy chłodzona wodą poprzez dostarczony kompresor wodny zapewniający odpowiednią i stabilną pracę plazmy i całego urządzenia ALD. Źródło plazmy musi być zlokalizowane blisko podłoża na którym zachodzi osadzanie. Połączenie komory procesowej z modułem plazmy musi zapewniać nie zakłócony laminarny przepływ. Minimum 6 linii prekursorów do plazmy. Plazma wytwarzana przy użyciu wodoru, argonu, azotu oraz innych gazów. Wymaga się dostarczenia generatora wodoru i dużej pełnej butli argonowej na własność Zamawiającego. Wymaga się wykonania linii i podłączenia generatora wodoru oraz butli argonowej wraz z zaworami dwustopniowymi i liniowymi (wykonanie instalacji o odpowiedniej czystości jak podano poniżej, dostarczenie reduktorów, stojaka na butle, stabilnego o odpowiedniej wysokości stolika z stelażem pod generator wodoru 70 x 70 cm, zaworów, reduktorów liniowych). Wszystkie komponenty linii wykonane w technice odpowiedniej dla czystości gazów. Czystość argonu i wodoru minimum 99,9995%. Generator musi być zainstalowany pod istniejącym okapem w pomieszczeniu technicznym. 13. Wymagania dla generatora wodoru: - przepływ regulowany (flow rate) od 0 ml/min do minimum 250ml/min nie więcej niż 300ml/min, - czystość H 2 minimum 99,9995%, - produkcja H 2 z wykorzystaniem polimerowej membrany elektrolitycznej (PEM) z wody dejonizowanej lub demineralizowanej, - wyposażony w osuszacz podwójny automatyczny, - wyposażony w zbiornik na wodę, - objętość wew. < 50 ml przy maksymalnym ciśnieniu, - ciśnienie na wyjściu regulowane od 0,1-10 bar, - generator wyposażony w ekran LCD oraz lampki pokazujące włączone zasilanie Power on, że wszystko działa dobrze system ok i pokazujące, że jest błąd system error, - wyposażony w funkcje Auto shut-off, - zasilanie generatora 230V, - wymaga się dostarczenia minimum 5 torebek dejonizujących typu Triangle deionizer bag oraz minimum 5 torebek dejonizujących typu Standard deionizer bag. - wyposażony w port Digital Remote control RS-232 lub USB oraz oprogramowanie do kontroli generatora. Możliwość pracy z prekursorami o niskiej prężności par (Low Vapor Pressure Delivery (LVPD) lub lepsze rozwiązanie: - system musi być wyposażony w co najmniej jeden moduł do wspomagania wprowadzenia prekursorów do komory procesowej, - moduł wspomagający zasilany gazem Ar lub N 2. Wymaga się dostarczenia generatora azotu analitycznego i generatora azotu technicznego, pełnej dużej butli z azotem analitycznym stanowiącej bufor na własność Zamawiającego. Wymaga się wykonania linii i podłączenia generatorów azotu oraz butli azotowej wraz z zaworami dwustopniowymi i liniowymi (wykonanie instalacji o

13 czystości azotu analitycznego minimum 99,9995 % i azotu technicznego minimum 99,9%, dostawa pełnej butli azotowej o czystości minimum 99,9995%, reduktorów, stojaka na butle, stabilnego o odpowiedniej wysokości stolika z stelażem pod generator azotu 90 x 90 cm). Generatory i butla muszą być zainstalowane w pomieszczeniu technicznym. Wymagania dla generatora azotu analitycznego: - przepływ regulowany (flow rate) od 0 l/min do minimum 0,75 l/min, - czystość minimum 99,9995%, - wyposażony w osuszacz, - wyposażony w zbiornik buforowy, - ciśnienie na wyjściu regulowane od 0 minimum 5 bar, - zasilanie generatora 230V, - generator stanowi kompletne urządzenie. Wymagania dla generatora azotu technicznego: - przepływ regulowany (flow rate) od 0 l/min do minimum 25 l/min, - czystość minimum 99,9%, - wyposażony w osuszacz, - wyposażony w zbiornik buforowy, - ciśnienie na wyjściu regulowane od 0 minimum 5 bar, - zasilanie generatora 230V, - generator stanowi kompletne urządzenie Zamawiający informuje, że posiada generator sprężonego powietrza firmy Jun Air model OF MQ2. Urządzenie musi być wyposażone w linie do plazmy ozonowej wraz z generatorem ozonu. Wymaga się dostarczenia generatora ozonu i pełnej dużej butli z analitycznym tlenem O 2 o czystości minimum 99,9995% na własność Zamawiającego. Wymaga się wykonania linii tlenowej wraz z reduktorami dwustopniowymi i liniowymi (wykonanie instalacji o czystości minimum 99,9995 %, pełnej butli O 2 o czystości minimum 99,9995%, reduktorów, stojaka na butle). Butla umieszczona w pomieszczeniu technicznym. Urządzenie musi być wyposażone w grzejnik podłoża. Wymagana temperatura na podłożu podłożu-procesu: regulowana od 30 C do minimum 400 C z dokładnością ± 2 C. Wymaga się dostarczenie kompletu materiałów eksploatacyjnych obejmujących: - prekursory do otrzymywania warstw: Al 2 O 3, HfO 2, ZnO: HfO 2 - prekursor Hf - TEMAHf - prekursor O - H 2 O Al 2 O 3 - prekursor Al - TMAl (TMA) - prekursor O - O 3 ZnO - prekursor Zn - DEZn - prekursor O - H 2 O TiO 2 - prekursor do osadzania TiO 2 Materiały dostarczone w pojemnikach na prekursory

14 pasujące do systemu. Wymaga się dostarczenia minimum 6 podłoży (3 GaAs i 3 Si) o wymiarze komory do testów jednorodności osadzania warstw, rodzaj podłoży wymaga uzgodnienia z Zamawiającym Musi być dostarczona stabilna dwudrzwiowa szafa laboratoryjna (drzwiczki samodomykające wraz z zamkiem) do przechowywania prekursorów z półkami o wysokości 196cm, szerokości 80 cm, głębokości 40cm dwie sztuki, wraz z trzema stabilnymi stołami laboratoryjnymi z blatem odpornym na chemię i z ramę stalową: 160 x 90 cm, 90 x 70 cm oraz 125 x 90 cm wysokość standardowa, oraz szafy wieszakowo-półkowej 180 x 85 x 40 cm, wszystkie wykonane w takiej samej kolorystyce uzgodnionej z Zamawiającym. Producent dostarczy technologię osadzania następujących warstw tlenkowych na podłożach Si, GaN, GaAs, CdTe, ZnTe: Al 2 O 3, ZnO, HfO 2, ZrO 2. Wymaga się dostarczenia 3 dodatkowych pustych pojemników ze stali nierdzewnej na prekursory w tym jeden do wody, z możliwością grzania do temperatury co najmniej 200 C. Pojemność pojemników (wymaga uzgodnienia z Zmawiającym 25ml lub 50ml). Konstrukcja urządzenia musi gwarantować niekłopotliwą i bezpieczną wymianę prekursorów. Dla zapewnienia szybkiej i bezpiecznej wymiany cylindry z prekursorem oraz puste muszą być wyposażone w połączenia z uszczelnieniem typu VCR. W celu zapewnienia odpowiedniej czystości wykonywanych procesów wymaga się dostarczenia komory laminarnej z poziomym lub pionowym przepływem powietrza wraz z podstawą stacjonarną: - powietrze z otoczenia filtrowane jest przez filtr wstępny, a następnie przez filtr HEPA o skuteczności minimum 99,999% dla cząstek o średnicy powyżej 0,3 um, co zapewniona klasę czystości powietrza minimum 100 w obszarze roboczym, - komora wyposażona w cichy wentylator < 60 dba, - część zewnętrzna konstrukcji stalowej komory malowana farbą epoksydową termoutwardzalną, odporną na działanie środków dezynfekcyjnych i promieniowania UV, - blat roboczy komory wykonany jest ze stali nierdzewnej, - front i boki komory wykonane ze szkła bezpiecznego, - komora wyposażona jest w czytelny panel kontrolny umieszczony nad przestrzenią roboczą, - komora posiadają alarm dźwiękowy i optyczny informujący o: awarii silnika dmuchawy, nieprawidłowej prędkości przepływu laminarnego, zapchaniu filtra, - lampa jarzeniowa minimum 1000 lux, - przystosowane do pracy w pozycji siedzącej, - wyposażone w zawór do podłączenia gazu, - wyposażone w gniazdo elektryczne, - wyposażone w szufladę, - wymiary zewnętrzne komory maksymalne szerokość 165 cm, wys. 125 cm, gł. 85 cm, - wymiary przestrzeni roboczej minimalne 150 x 60 x 55 cm, maksymalne 160 x 70 x 60 cm, - zasilanie 230V 50Hz.

15 Wymaga się dostawy 4 taboretów obrotowych laboratoryjnych (typu clean room) z antypoślizgowym siedziskiem z miękkiego tworzywa wzmacnianego, z podnóżkiem, jasnych, podstawa taboretu o średnicy 580mm, płynnie regulowana wysokość siedziska za pomocą podnośnika pneumatycznego. Taborety bez oparcia. Taborety wyposażone w kółka obrotowe. Komputer sterujący wraz z monitorem (kompletny zestaw) wraz z oprogramowaniem do sterowania urządzeniem, odpowiednimi licencjami oraz prawem do bezpłatnej aktualizacji przez okres użytkowania systemu co najmniej 10 lat. Oprogramowanie musi pozwalać na płynną, ergonomiczną pracę na Urządzeniu, w tym definiowanie wartości oczekiwanych i kontrolę wszystkich rzeczywistych parametrów procesu, bieżącego stanu Urządzenia i wszystkich jego układów (w tym także próżni), oraz powinna umożliwiać definiowanie i przechowywanie w dedykowanej bazie danych procedur i parametrów wielu procedur (w wielu rożnych grupach dostępnych jedynie dla posiadających odpowiednie uprawnienia użytkowników), a także powinna posiadać wielopoziomowy mechanizm nadawania praw dostępu i uprawnień dla użytkowników. Kopia programu sterującego procesem wzrostu na nośniku danych. Wymaga się dostarczenia zestawu zapasowych części: oringi z pierścieniem centrującym, uszczelki, zawory ALD do prekursorów, elementy do pomiaru próżni, elementy grzewcze, reduktory, itp. System musi być przystosowany do pracy w pomieszczeniu typu clean room, minimum klasy Urządzenie musi być wyposażony system zabezpieczający interlock na wodór i tlen. Urządzenie musi być wyposażone w przycisk bezpieczeństwa EMO - EMERGENCY STOP. Odbiór Urządzenia jest dwuetapowy. Etap pierwszy polega na wykonaniu poniższych testów u Producenta urządzania ALD z wyłączeniem testów będących procesami technologicznymi. Etap drugi polega na wykonaniu poniższych testów po zainstalowaniu Urządzenia u Zamawiającego: W ramach testu akceptacyjnego zostaną przeprowadzone następujące testy: 1. Wykazanie sprawnego funkcjonowania dostarczonych urządzeń. 2. Sprawdzenie poprawności działania wszystkich układów i elementów Urządzeń poprzez przeprowadzenie testów sprawdzających według norm producenta. 3. Uzyskanie wysokiej jednorodności pokrycia podłoża w procesach testowych (termicznych, z użyciem plazmy azotowej, z użyciem ozonu) z Al 2 O 3 i HfO 2, w sumie 6 testów dopuszczalna niejednorodność pokrycia nie gorsza niż % (badana metodą elipsometryczną,) na płytce podłożowej 200 mm z warstwą 100 nm przy użyciu w linii prekursorowych. 4. Należy także wykonać test na zawartość węgla w osadzanych warstwach: - 20 nm warstwa Al2O3 nm osadzona w temperaturze <50 C musi posiadać < niż 5% węgla, dopuszczalna

16 niejednorodność pokrycia nie gorsza niż %. 5. Wykazanie sprawności wszystkich linii prekursorowych. 6. Osiągniecie oferowanego zakresu temperatur dla podłoża oraz linii w przypadku linii podgrzewanych Wykonawca zapewnia wszystkie materiały i urządzenia niezbędne do przeprowadzenia testów. Urządzenie musi być wyposażone w odpowiednio dobrany, dedykowany kompresor wodny zapewniający właściwą i stabilną pracę całego urządzenia ALD (kompresor wodny chłodzony powietrzem). Kompresor musi być zainstalowany w pomieszczeniu technicznym. Wymaga się wykonania instalacji czystych gazów odpowiednio do czystości gazów (każdy gaz prowadzony oddzielna linią): - azotu technicznego N 2 o czystości 3N, z dostarczonej pełnej butli stalowej 40L wraz z reduktorem dwustopniowym i z generatora azotu, linia kończy się zaworem i reduktorem liniowym, butla stanowi dodatkowe zabezpieczenie, należy zamontować przełącznik pomiędzy azotem z butli a z generatora. Butla przymocowana do ściany. - azotu analitycznego N 2 o czystości 5.5N, z dostarczonej pełnej butli stalowej 40L wraz z reduktorem dwustopniowym i z generatora czystego azotu, linia kończy się zaworem i reduktorem liniowym, butla stanowi dodatkowe zabezpieczenie, należy zamontować przełącznik pomiędzy azotem z butli a z generatora. Dodatkowo azot doprowadzany będzie do paneli redukcyjnych w celu płukania wszystkich instalacji. Butla przymocowana do ściany. - tlenu O 2 o czystości 5.5N z dostarczonej pełnej butli stalowej 10L wraz z reduktorem dwustopniowym, linia kończy się zaworem i reduktorem liniowym, butla umieszczona w szafie gazowej. - argonu Ar 5 o czystości 5.5N z dostarczonej pełnej butli stalowej 40L wraz z reduktorem dwustopniowym, linia kończy się zaworem i reduktorem liniowym, Dodatkowo argon doprowadzany będzie do generatora wodoru w celu płukania instalacji. Butla przymocowana do ściany. - H 2 o czystości 5.5N z generatora wodoru, linia kończy się zaworem, generator płukany argonem, umieszczony pod okapem z wentylacją. - BCl 3 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem umieszczonym w szafie gazowej, zakończona jest zaworem. - Cl 2 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem umieszczonym w szafie gazowej, zakończona jest zaworem. - SF 6 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem umieszczonym w szafie gazowej, zakończona jest zaworem. - SiCl 4 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem umieszczonym w szafie gazowej, zakończona jest zaworem. - N 2 O o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem umieszczonym w szafie gazowej, zakończona jest

17 zaworem. - CHF 3 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem umieszczonym w szafie gazowej, zakończona jest zaworem. - CF 4 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem umieszczonym w szafie gazowej, zakończona jest zaworem. - SiH 4 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem umieszczonym w szafie gazowej, zakończona jest zaworem. - HBr o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem umieszczonym w szafie gazowej, zakończona jest zaworem. - CH 4 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem umieszczonym w szafie gazowej, zakończona jest zaworem. - C 4 F 8 o czystości 5N, linia zaczyna się reduktorem umieszczonym w szafie gazowej, zakończona jest zaworem. Gazy z butli będą doprowadzone instalacją do urządzeń technologicznych. Dla płukania wszystkich instalacji do paneli redukcyjnych gazów technicznych i czystych będzie doprowadzony azot czysty z butli a instalacja wodoru za generatorem będzie płukania czystym argonem z butli. Wymaga się dostarczenia szaf gazowych na minimum 11 butli, szafy na butle gazowe o odporności ogniowej minimum 30 minut EI30, wyposażone w przyłącze wywiewne na suficie szafy i podłączone do posiadanej wentylacji mechanicznej, szafy wyposażone w szyny montażowe i klapę do wtaczania, szafy musza umożliwić zamontowanie butli 10 litrowych jak i mniejszych. Laboratorium procesingowe jest podzielone na dwie strefy, jedna laboratoryjna a druga serwisowa - techniczna. W części laboratoryjnej będą usytuowane procesowe urządzenia technologiczne, a w części serwisowej będą usytuowane między innymi butle z gazami czystymi i technicznymi usytuowane w szafach gazowych, oraz instalacje od tych urządzeń współpracujących z urządzeniami technologicznymi. Każda butla w szafie gazowej będzie podłączona do typowego panelu redukcyjnego jedno /jedna butla. Napływ powietrza do szafy z pomieszczenia poprzez kratę usytuowaną w dolnej części szafy. Instalacje gazów czystych należy wykonać z rur i kształtek stalowych kwasoodpornych elektro-polerowanych typ. SS316L, 1/4", łączone przez spawanie planetarne w osłonie argonu wewnątrz i na zewnątrz spawanego rurociągu. Instalację z armaturą łączyć na połączenie zaciskowe typu VCR. Armatura odcinająca, na instalacji gazów czystych zawory kulowe ze stali kwasoodpornej SS316 łączone z instalacją na połączenia zaciskowe typu VCR. Instalacje gazów technicznych 3N należy wykonać z rur i kształtek stalowych trawionych chemicznie 1/4", łączone przez spawanie. Instalację z armaturą łączyć na połączenie zaciskowe typu Swagelok. Armatura

18 odcinająca, na instalacji gazów technicznych i próżni zawory kulowe ze stali odpornej łączone z instalacją na połączenia zaciskowe typu Swagelok. Panele redukcyjne jedno butlowe z butlą łączone na połączenia gwintowe. Instalacje gazów czystych i technicznych przed włączeniem do eksploatacji należy podać próbie szczelności metodą helową. Z uwagi na małe średnice instalacji należy wykonać trwałe oznakowanie z opisem medium. Butle z azotem technicznym i czystym, argonem i tlenem należy przymocować do ściany. Ciśnienie robocze gazów czystych i technicznych: od 0 do 5 Bar na wyjściu. Dostarczone szafy gazowe, generatory oraz butle muszą być umieszczone w pomieszczeniu technicznym. 32. Maksymalna wysokość systemu 200 cm. 33. System ALD musi posiadać certyfikat CE Wymaga się wykonanie bezpłatnych przeglądów technicznych po roku i po dwóch latach w okresie gwarancji, obejmujących również serwisowanie, wymianę materiałów ulegających zużyciu lub wymagających wymiany. Koszty transportu, przeglądu, koszty materiałów wymienianych oraz koszty wymiany tych materiałów ponosi Wykonawca. Wszystkie wtyczki, gniazda elektryczne, zasilanie, złącza wodne etc. muszą być zgodne z polskimi standardami. * Nieprecyzyjne lub niedokładne wypełnienie kolumny tabeli skutkować będzie odrzuceniem oferty. podpis i pieczęć imienna Oferenta

19 pieczęć adresowa Oferenta data Oświadczenie Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego oświadczam/y, że spełniam/y warunki udziału w niniejszym postępowaniu zawarte w art. 22 ust. 1 Ustawy - Prawo Zamówień Publicznych. podpis i pieczęć imienna Oferenta

20 pieczęć adresowa Oferenta data Oświadczenie Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego oświadczam/y, że nie podlegam/y wykluczeniu zgodnie z Art. 24 ust. 1 Ustawy - Prawo Zamówień Publicznych. podpis i pieczęć imienna Oferenta

21 pieczęć adresowa Oferenta data Informacja Przystępując do postępowania w sprawie udzielenia zamówienia publicznego informuję/emy, iż zgodnie z art. 26 ust. 2d ustawy z dnia 29 stycznia 2004 r. Prawo zamówień publicznych Nie przynależymy do grupy kapitałowej. 1 Przynależymy do grupy kapitałowej, a lista podmiotów należących do tej grupy kapitałowej zawarta jest w załączniku do niniejszej informacji. 1 podpis i pieczęć imienna Oferenta 1 Niepotrzebne skreślić

22 pieczęć adresowa Oferenta data Wykaz części zamówienia, które Wykonawca powierzy podwykonawcom 2. Lp Zakres zamówienia, który Wykonawca zamierza powierzyć podwykonawcom Przy pomocy podwykonawców wykonamy część zamówienia o wartości ok % pieczęć imienna Oferenta 2 w przypadku, gdy Wykonawca wykona zamówienia samodzielnie, należy wypełnić tabelkę kreskami. W przypadku nie załączenia wykazu do oferty, Zamawiający zinterpretuje to jako brak części zamówienia, które Wykonawca powierzy podwykonawcom.