Institute of Electron Technology

Transkrypt

1 April 12-14, 2011 Bialowieza, Poland Institute of Electron Technology Krzysztof Domański Institute of Electron Technology Forum is co-financed by European Union from European Social Fund

2 MNS-DIAG Mikro- i Nano-Systemy w Chemii i Diagnostyce Biomedycznej Micro- and nano-systems for chemistry and biomedical diagnostics Project demonstrator exhibition: Krzysztof Domański Instytut Technologii Elektronowej Grzegorz Małozięć, Konrad Nieradka, Patrycja Śniadek Wroclaw University of Technology Faculty of Microsystem Electronics and Photonics

3 The MNS DIAG Project The project goal is to develop a range of biomedical devices and chemical sensors: Lab on a chip for determination of psychotropic drugs in saliva samples Diagnostic instruments for analysis of nanoliter volumes of body secretion for fertility and pathological states monitoring Diagnostic instruments for fast evaluation of bovine embryos Bio- micro-reactors for cell culture MEMS for medical diagnostic equipment Arrays of chemical sensors for detection of Gram-negative bacteria

4 Institute of Electron Technology Instytut Technologii Elektronowej Warsaw University of Technology Politechnika Warszawska Institute of Microelectronics and Optoelectronics Instytut Miktoelektroniki i Optoelektroniki Institute of Electronic Systems Instytut Systemów Elektronicznych Chemical Sensors Research Group CSRG Partners of MNS DIAG : Institute of Precision and Biomedical Engineering Instytut Inżynierii Precyzyjnej i Biomedycznej Warsaw University of Life Sciences SGGW Szkoła Główna Gospodarstwa Wiejskiego Jagiellonian University Uniwersytet Jagielloński AGH University of Science and Technology Akademia Górniczo-Hutnicza w Krakowie Wroclaw Medical University Akademia Medyczna we Wrocławiu Wrocław University of Technology Politechnika Wrocławska Technical University of Lodz Politechnika Łódzka Poznan University of Life Sciences Uniwersytet Przyrodniczy w Poznaniu Wydział Hodowli i Biologii Zwierząt Institute of Biocybernetics and Biomedical Engineering Polish Accademy of Siences Instytut Biocybernetyki i Inżynierii Biomedycznej IBIB PAN Institute of Immunology and Experimental Therapy Polish Academy of Sciences Instytut Immunologii i Terapii Doświadczalnej PAN

5 Examples of MNS DIAG demonstrators: Politechnika Wrocławska Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Zakład Mikroinżynierii i Fotowoltaiki: dr inż. Rafał Walczak, mgr inż. Patrycja Śniadek, mgr inż. Małgorzata Dziuban, prof. dr hab. inż. Jan Dziuban Uniwersytet Przyrodniczy w Poznaniu, Katedra Weterynarii: dr lek wet. Paweł Antosik, dr Bartosz Kempisity, mgr Marta Jackowska, prof. dr hab. Jędrzej Jaśkowski Instytut Immunologii i Terapii Doświadczalnej PAN: dr hab. Anna Chełmońska-Soyta, mgr Magdalena Majewska, Joanna Kluger Sub-Nano Project Politechnika Wrocławska Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Wydziałowy Zakład Metrologii Mikro-i Nanostruktur: mgr inż. Konrad Nieradka, mgr inż. Daniel Kopiec, mgr inż. GrzegorzMałozięć, dr inż. Jacek Radojewski, dr inż. Grzegorz Jóźwiak, prof. dr hab. inż. Karol Nitsch, dr inż. Tomaz Piasecki, mgr inż. Konrad Chabowski, dr hab. inż. Teodor Paweł Gotszalk, Michał Szymański Instytut Immunologii i Terapii Doświadczalnej PAN: dr Jacek Rybka Akademia Medyczna we Wrocławiu : prof. dr hab. Andrzej Gamian, dr Magdalena Mierzchała, mgr Anna Jakubowska Pawlik, mgr Witold Szymański, mgr Katarzyna Bieńkowska MEMS technology Instytut Technologii Elektronowej: dr inż. Piotr Grabiec, dr inż. Krzysztof Domański, dr inż. Paweł Janus, dr inż. Dariusz Szmigiel, dr inż. Magdalena Ekwińska, mgr inż. Bogdan Latecki, mgr inż. Paweł Kowalski, mgr inż. Piotr Prokaryn, mgr inż. Andrzej Sierakowski, mgr inż. Anna Baraniecka, dr hab. inż. Jan Łysko, dr inż. Michał Zaborowki, mgr inż. Rafał Dobrowolski, mgr inż. Bohdan Jaroszewicz, mgr inż. Karina Skwara

6 Processes for BioMEMS technology: Deep plasma etching of Si Sputtering, photolitography substrate(icp RIE process) and patterning of noble metals Wafer bonding: Anodic, eutectic, glasss-frit Examples of metal electroplating process Platinum Gold Silver Silver chloride

7 Technological sequence for manufacturing of the capacitive dew point temperature detectors Technological sequence for manufacturing ofthe resistive gas sensors : Technological sequence for manufacturing of the gas micropreconcentrator Array of cantilevers with gold electrodes for attaching chemical functional groups A. Si <100> F. B. G. C. H. D. I. E.

8 Diagnostic instrument for fast qualifications of oocytes

9 The setup for spectroscopic measurements The setup for fluorometric measuerments

10

11 Veterinary microcytometer insertion of the oocyte Mikrokanał Światłowód 1 Światłowód 2 Oocyt Światłowód Oocyt Mikrokanał The oocyte inserted in measurement chamber Oocytes in microchannel during insertion

12 Transmission characteristics of the two groups of porcine embryos

13 A non-invasive spectrophotometric method using a veterinary Lab-on-chip microcytometer has been proved by qualification of porcine oocytes and its transfer to pig recipients. 13 piglets were born in the experiment.

14 MNS-DIAG: Sub-Nano Project Idea ~1nm antibodies X array of functionalized Si or Si 3 N 4 cantilevers ~1nm antigens X Team members: K. Nieradka, D. Kopiec, G. Małozięć, P. Pałetko Leader: professor T. Gotszalk

15 MNS-DIAG: Sub-Nano Project Cantilever Sensors Readout Head (a) Static Bending/Twisting APC Mirrors Laser PSD Avg I/U ADC FFT Relative Humidity in N2 Avg L-M Gas-Luquid Cell Resonance Frequencies AFM-Derived Optical Head with Measurement Cell Analog PC and Electronics and LabVIEW ADC Card Environment (b) Team members: K. Nieradka, D. Kopiec, G. Małozięć, P. Pałetko Leader: professor T. Gotszalk

16 MNS-DIAG: Sub-Nano Project Gas- and Liquid Phase Measurements Gaseous Environment Liquid Environment O OH SH Team members: K. Nieradka, D. Kopiec, G. Małozięć, P. Pałetko Leader: professor T. Gotszalk

17 MNS- DIAG Project co-financed by the European Union via the European Regional Development Fund and the Polish state budget in the framework of the Operational Programme Innovative Economy , contract No. UDA-POIG /08

18 April 12-14, 2011 Bialowieza, Poland Institute of Electron Technology Krzysztof Domański Institute of Electron Technology Forum is co-financed by European Union from European Social Fund