InTechFun. Innowacyjne technologie wielofunkcyjnych materiałów i struktur. II Spotkanie Realizatorów Projektu Warszawa maja 2009 r.

Transkrypt

1 Innowacyjne technologie wielofunkcyjnych materiałów i struktur dla nanoelektroniki, fotoniki, spintroniki i technik sensorowych InTechFun Politechnika Śląska (PŚl-2)

2 ZESPÓŁ REALIZUJĄCY PROJEKT NAZWA: Politechnika Śląska: PŚl-2 Instytut Fizyki Zakład Technologii Elektronowej od IX 2009, KIEROWNIK ZESPOŁU: prof. dr hab. inż. Jacek SZUBER WYKONAWCY: - dr inż. Piotr KOŚCIELNIAK (nanotechnologia i charakteryzacja materiałów tlenkowych) - dr inż. Monika KWOKA (nanotechnologia i charakteryzacja materiałów tlenkowych) - mgr inż. Paweł TOMKIEWICZ (doktorat - recenzje) - pasywacja, charakteryzacja struktur, aplikacje - mgr inż. Natalia WACZYŃSKA (doktorantka) - nanotechnologia i charakteryzacja materiałów tlenkowych - Judyta HYNEK (magistrantka) - nanotechnologia materiałów tlenkowych (SD) - Michał SITARZ (magistrant) - profilowanie jonowe materiałów i struktur (SD) SPECJALIZACJA: - technologia i charakteryzacja powierzchni półprzewodników III-V (GaAs, InP) - technologia i charakteryzacja nanowarstw materiałów tlenkowych

3 DOŚWIADCZENIE W DZIEDZINIE PROJEKTU: ZESPÓŁ REALIZUJĄCY PROJEKT Projekty unijne: - V PRUE: Centre of Excellence in Physics and Technology of Semiconductor Interfaces and Sensors(CESIS) G6MA-CT : Koordynator - VI PRUE: Network of Excellence: General Olfactionand SensingProjectson a EuropeanLevel(GOSPEL) IST : Partner Projekty krajowe: MNiSW: ostatnie 4 lata Specjalne Programy Badawcze (SPB): 3 (CESIS, GOSPEL) Granty własne: 4 Granty promotorskie: 2 Współpraca z zagranicą: Ośrodki: Budapeszt, Chemnitz, Graz, Fukuoka, L Aquila, Lyon, Sapporo, Tubingen(wspólne publikacje), Prace doktorskie: 4 Publikacje LF (ostatnie 4 lata): 22 (Surface Science, Applied Surface Science, Thin Solid Films, Vacuum)

4 ZESPÓŁ REALIZUJĄCY PROJEKT DOŚWIADCZENIE W DZIEDZINIE PROJEKTU: Przykład badań własnych: Własności chemiczne i elektronowe powierzchni GaAs(100) oczyszczanej wiązką atomowego wodoru: XPS, PYS, SPS

5 DOŚWIADCZENIE W DZIEDZINIE PROJEKTU: Przykład badań własnych: ZESPÓŁ REALIZUJĄCY PROJEKT Własności chemiczne i elektronowe nanowarstw SnO2 (metoda XPS):

6 INFRASTRUKTURA APARATURA TECHNOLOGICZNA I POMIAROWA Wielozadaniowa instalacja technologiczno-badawcza UHV Komora ładowania Komora osadzania nanowarstw (RGVO) przezroczyste tlenki przewodzące: SnO 2, In 2 O 3 Komora przygotowania podłoŝy: - działo jonowe sputter(ci-10 Riber) - działo atomowego wodoru (HCS-1) - spektrometr mas (Stanford RGA) TDS Komora analityczna A - dyfraktometr LEED - spektrometr AES - spektrometr PYS (SPM-2) - spektrometr SPS (CPD Besocke) Komora analityczna B - spektrometr XPS (SPECS, PHOIBOS) - profilowanie jonowe (IQE 12/38) -montaż

7 INFRASTRUKTURA APARATURA TECHNOLOGICZNA I POMIAROWA Wielozadaniowa instalacja technologiczno-badawcza UHV

8 ZADANIA B+R LISTA ZADAŃ WSPÓŁREALIZOWANYCH PRZEZ ZESPÓŁ - Pakiet PZ0: Zarządzanie projektem Zadanie: Z0.1: Zarządzanie - Pakiet PZ1: Nowe materiały Zadanie Z1.3: Charakteryzacja materiałów - Pakiet PZ2: Nowe moduły technologiczne Zadanie Z2.7: Charakteryzacja struktur - Pakiet PZ5: Aplikacje Zadanie Z5.2: Sensor gazów na bazie SPV (WAT?) - Pakiet PZ6: Promocja i upowszechnianie wyników Zadanie Z6.1: Promocja i upowszechnianie wyników - Pakiet PZ7: Inwestycje aparaturowe Zadanie Z7.2: Zakup i uruchomienie działa jonowego XPS

9 ZADANIA B+R POWIĄZANIE Z INNYMI ZADANIAMI/PAKIETAMI ZADANIOWYMI - Pakiet PZ1: Nowe materiały Zadanie Z1.3: Charakteryzacja materiałów Zadanie Z1.1: Przezroczyste tlenki półprzewodnikowe (ITE) - Pakiet PZ2: Nowe moduły technologiczne Zadanie Z2.1: Technologia warstw PVD-MS(ITE) Zadanie Z2.7: Charakteryzacja struktur - Pakiet PZ5: Aplikacje Zadanie Z5.2: Sensor gazów SPV (WAT?) - Pakiet PZ7: Inwestycje aparaturowe Zadanie Z7.2: Zakup i uruchomienie działa jonowego XPS Zadanie Z1.3: Charakteryzacja materiałów Zadanie Z2.7: Charakteryzacja struktur

10 WSPÓŁPRACA Z INNYMI ZESPOŁAMI - Pakiet PZ0: Zarządzanie projektem Zadanie: Z0.1: Zarządzanie (W) ZADANIA B+R - Pakiet PZ1: Nowe materiały Zadanie Z1.3: Charakteryzacja materiałów (IFPAN, ITE, PŚl) - Pakiet PZ2: Nowe moduły technologiczne Zadanie Z2.7: Charakteryzacja struktur (IFPAN, ITE, PW, PŚl) - Pakiet PZ5: Aplikacje Zadanie Z5.2: Sensor gazów SPV (ITE, WAT) - Pakiet PZ8: Promocja i upowszechnianie wyników Zadanie Z6.1: Promocja i upowszechnianie wyników (W) - Pakiet PZ7: Inwestycje aparaturowe Zadanie Z7.2: Zakup i uruchomienie działa jonowego XPS (IFPAN, ITE, PŚl)

11 PROMOCJA PROJEKTU INTERNET: Strona internetowa części PŚl-2 projektu na witrynie Instytutu Elektroniki Politechnice Śląskiej (IX, 2009) PLAKAT INFORMACYJNY (w przygotowaniu) ULOTKI INFORMACYJNE (w przygotowaniu) KONFERENCJE: - International Workshops on Semiconductor Surface Passivation: SSP2009, SSP2011, SSP2013 Proc.: Applied Surface Science (Elsevier, IF=1.5) - International Workshopson Semiconductor Gas Sensors: SGS 2010, SGS2012 Proc.: ThinSolid Films (Elsevier, IF=1.8) InTechFun- sponsor strategiczny? IMPREZY PROMOCYJNE W UCZELNI