Badanie procesu wydajnego impulsowego rozpylania magnetronowego w atmosferze gazów reaktywnych
|
|
- Amalia Sowa
- 8 lat temu
- Przeglądów:
Transkrypt
1 Politechnika Wrocławska Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Autoreferat rozprawy doktorskiej Badanie procesu wydajnego impulsowego rozpylania magnetronowego w atmosferze gazów reaktywnych Autor: Katarzyna Tadaszak Promotor: dr hab. inż. Witold M. Posadowski, prof. PWr Wrocław, 2014
2 1. Wstęp i teza pracy Metoda rozpylania magnetronowego jest szeroko stosowana w wielu gałęziach przemysłu, a jej gwałtowny rozwój nastąpił między innymi wraz z produkcją na skalę masową dysków CD, osadzaniem pokryć cienkowarstwowych na szklanych podłożach architektonicznych i pokrywaniem narzędzi mechanicznych warstwami utwardzającymi. Ze względu na liczne zastosowania przemysłowe, duży nacisk kładziony jest na stabilność, powtarzalność i wydajność procesu produkcyjnego otrzymywania warstw. Efektywność osadzania warstw jest determinowana między innymi mocą wydzielaną w materiale rozpylanym, wielkością targetu, odległością target-podłoże. W wypadku otrzymywania warstw związków chemicznych, dodatkowym elementem wpływającym na ograniczenie wydajności staje się pokrywanie materiału rozpylanego tworzącym się związkiem (warunek ten jest konieczny przy otrzymywaniu większości związków w standardowych procesach rozpylania). Tworzące się podczas procesu rozpylania tlenki i azotki większości materiałów mają niższe współczynniki rozpylania (w stosunku do rozpylanych targetów), co jest przyczyną mniejszej (czasami znacznie) wydajności otrzymywania cienkich warstw tych materiałów. Problem ten jest rozwiązywany przez rozpylanie targetu pokrytego tylko w części związkiem, co jednak prowadzi z kolei do problemów ze stabilnością procesu oraz koniecznością stosowania zaawansowanych systemów kontroli i sterowania parametrami technologicznymi in situ. W ramach niniejszej pracy badano procesy magnetronowego rozpylania, w szczególności pod kątem otrzymywania związków w reaktywnym modzie metalicznym. Taki sposób otrzymywania cienkich warstw związków chemicznych miał zapewnić dużą szybkość ich nanoszenia przy jednoczesnym zachowaniu stabilności i kontroli procesu osadzania. Sformułowano następującą tezę pracy: Możliwe jest stabilne i kontrolowane otrzymywanie z dużą wydajnością (dużą szybkością osadzania) cienkich warstw wybranych tlenków i azotków metodą reaktywnego, impulsowego, magnetronowego rozpylania przy targecie niepokrytym tworzącym się związkiem (punkt pracy magnetronu ustalony w reaktywnym modzie metalicznym lub na granicy modów, metalicznego i przejściowego). 2. Reaktywne rozpylanie magnetronowe W standardowych procesach technologicznych (podczas rozpylania z udziałem gazów aktywnych chemicznie) powierzchnia targetu może być pokrywana tworzącym się związkiem chemicznym, co prowadzi do znacznego spadku szybkości osadzania, spowodowanego różnicami we współczynnikach rozpylania materiału targetu i jego
3 związków. Konsekwencją tego jest występowanie zjawiska histerezy, a co za tym idzie trudność w stabilizacji i powtarzalności warunków pracy magnetronu. Problem wydajności procesów rozpylania magnetronowego nie jest problemem nowym i pozostaje ciągle otwartym, a szczególnego znaczenia nabiera w procesach reaktywnych, gdzie warunek wydajności otrzymywania stoi często w sprzeczności z wymaganiem uzyskania związku chemicznego o określonym składzie stechiometrycznym. W tym wypadku wybór opcji rozpylania ma znaczący wpływ na czas trwania procesu, ponieważ warstwy tej samej grubości mogą być nanoszone od kilku do kilkudziesięciu minut, w zależności od stosowanej metody. Zgodnie z aktualnym stanem wiedzy, reaktywne magnetronowe osadzanie warstw jest realizowane najczęściej za pomocą: rozpylania z zasilaniem prądem zmiennym o wysokiej częstotliwości, średniej częstotliwości, HIPIMS (ang. High Power Impulse Magnetron Sputtering, czyli impulsowego rozpylania magnetronowego wysokiej mocy) oraz MPPMS (ang. Modulated Pulse Power Magnetron Sputtering, czyli rozpylania magnetronowego z impulsowo modulowaną mocą). Analiza zjawisk zachodzących podczas rozpylania reaktywnego wymaga uporządkowania stosowanego nazewnictwa [7]. Obecność gazu aktywnego i poziom jego domieszkowania wpływa na przebieg zjawisk podczas procesu rozpylania: i) na targecie, ii) na podłożu, iii) w obszarze między targetem i podłożem. W tym kontekście można wyróżnić różne mody pracy magnetronu, a ze względu na stan powierzchni target można definiować je jako (rys. 1): mod metaliczny MM (rozpylanie bez obecności gazu reaktywnego), reaktywny mod metaliczny RMM (rozpylanie w obecności gazu reaktywnego target nie pokryty związkiem) (ang. metallic mode), reaktywny mod przejściowy RMP (rozpylanie w obecności gazu reaktywnego target częściowo pokryty związkiem) (ang. transient mode), reaktywny mod dielektryczny RMD (rozpylanie w obecności gazu reaktywnego target całkowicie pokryty związkiem) (ang. reactive (dielectric) mode). Rysunek 1: Charakterystyka procesu reaktywnego rozpylania z histerezą (schemat) [4]
4 3. Model Interpretacja zjawisk osadzania się związków chemicznych podczas reaktywnego rozpylania została przedstawiona w modelu Berga w latach 80-ych [1]. Model ten trafnie opisuje zachodzące podczas procesu zjawiska, a otrzymywane wyniki zostały potwierdzone danymi doświadczalnymi. Bazuje on na teoretycznej analizie przepływów gazu reaktywnego w komorze roboczej, gdzie podczas procesu, oprócz pochłaniania w czasie reakcji chemicznych, gaz jest również adsorbowany przez elementy wyposażenia komory i pompowany przez układ pompowy stanowiska. Wszystkie te zjawiska wpływają na stabilność procesu, wrażliwego zarówno na zmiany przepływów gazów, jak i na niestabilności układu pompującego czy niekontrolowane zmiany położenia punktu pracy magnetronu. Zaproponowano doprecyzowanie klasycznego modelu Berga z uwzględnieniem: wpływu kształtu profilu wytrawienia, wielkości powierzchni obszaru rozpylanego oraz wpływu odległości podłoża od targetu. Rozważania teoretyczne pozwoliły sprecyzować warunki osadzania związku w modzie metalicznym, na które wpływ mają [12]: stałe materiałowe: współczynnik adhezji α, współczynnik rozpylania materiału targetu Ym; stałe procesu: temperatura T, powierzchnia targetu At, powierzchnia obszaru osadzania Ac; parametry procesu: ciśnienie cząstkowe gazu reaktywnego pgaz reakt., gęstość prądu jonów na targecie J. Z przeprowadzonych symulacji charakterystyk rozpylania wynika [11], że korzystne, dla wysokowydajnego osadzania związków, są procesy przeprowadzane z użyciem targetów o małych rozmiarach (powierzchnia). Możliwe jest kontrolowanie szybkości osadzania warstw przez dobranie, odpowiednio mocy zasilania źródła magnetronowego i odległości między źródłem i targetem. Wykazano, że możliwe jest wydajne osadzanie związków tytanu, dzięki odpowiedniemu doborowi parametrów rozpylania. W prezentowanych, w dalszej części pracy, badaniach używano targetów WMK-50 (stosunkowo mała powierzchnia targetu). Gęstość mocy była ustalana na poziomie na tyle wysokim, aby zapewnić efektywne usuwanie powstających tlenków. W ten sposób udało się spełnić większość warunków wynikających z modelu Berga. 4. Stanowisko badawcze Procesy magnetronowego rozpylania były prowadzane w komorze stanowiska próżniowego typu NP-500 wyposażonego w układ pompowy składający się z pompy obrotowej(60 m 3 /h) i pompy dyfuzyjnej (2000 l/s). Ciśnienie końcowe w komorze wynosiło 1,33 mpa (tj Tr). Komora próżniowa była wyposażona w źródło magnetronowe WMK-50 [5], ustawione wertykalnie, przesłonę oraz obrotową karuzelę
5 umożliwiającą przeprowadzenie w jednym cyklu próżniowym sześciu niezależnych, stacjonarnych procesów technologicznych (rys. 2) lub na obracające się podłoża przy ustalonych parametrach rozpylania. Do osadzania warstw wykorzystywano zasilacz impulsowy produkcji krajowej Dora Power System MSS-10 [3]. Został on zaprojektowany specjalnie do zastosowań w procesach reaktywnych oraz do rozpylania z dużą mocą targetu. Przystosowano go do optymalnej współpracy ze źródłami magnetronowymi typu WMK. Zasilacz DPS pozwala w zupełnie nowy sposób kontrolować proces rozpylania magnetronowego[6]. Dzięki obserwacji zmian wartości tzw. mocy krążącej można diagnozować procesy zachodzące na targecie i w plazmie. Moc krążąca odzwierciedla zmiany impedancji stanowiącej obciążenie zasilacza DPS. Rysunek 2: Rozmieszczenie elementów wewnątrz komory próżniowej (geometria magnetron WMK-50 podłoże) 5. Emisja elektronów wtórnych w reaktywnym procesie rozpylania Stopień "zatrucia" targetu tworzącym się związkiem znacząco wpływa również na zmiany w impedancji plazmy, która zależy między innymi od rodzaju materiału rozpylanego i jego związków chemicznych powstających podczas procesu rozpylania. Materiał rozpylany i warstwy związku chemicznego najczęściej znacznie różnią się współczynnikiem ISEE (ang. Ion induced Secondary Electron Emission) emisji elektronów wtórnych po wpływem bombardowania jonami [2]. Obserwacja zmian impedancji wyładowania jarzeniowego umożliwia kontrolowanie procesu in situ oraz identyfikację zjawisk zachodzących na powierzchni targetu i w atmosferze procesu. W badaniach próbowano określić zależności między parametrami zasilacza a współczynnikami emisji elektronów wtórnych. Badano procesy rozpylania glinu, krzemu, tantalu i tytanu w różnych atmosferach reaktywnych (skład procentowy ciśnienie cząstkowe, rodzaj gazu). Wzrostowi mocy krążącej odpowiada zmniejszanie się impedancji plazmy wyładowania jarzeniowego, która to impedancja ściśle jest związana ze zmianami współczynnika emisji wtórnej elektronów [8].
6 Dla osadzania warstw tlenku glinu współczynnik emisji elektronów wtórnych dla Al2O3 (0,198) przekracza ponad dwukrotnie wartość dla Al (0,091), można wnioskować, że pojawienie się mocy krążącej (rys. 3) odpowiadało formowaniu się związku dielektrycznego na powierzchni target Al. Rysunek 3:Zależność mocy krążącej P C od mocy efektywnej P E dla rozpylania glinu w atmosferach Ar+O 2 Charakterystyki PC(PE) zmierzone podczas reaktywnego rozpylania tytanu (rys. 4) różnią się znacznie od poprzednio przedstawionych, gdyż związki tytanu cechują się niskimi współczynnikami rozpylania i emisji elektronów wtórnych γisee. Rysunek 4: Zależność mocy krążącej P C od mocy efektywnej P E dla rozpylania tytanu w atmosferach Ar+O 2 i Ar+N 2 Podczas rozpylania reaktywnego badanych materiałów obserwowano charakterystyczne zmiany mocy krążącej, co pozwalało zidentyfikować moment zatrucia powierzchni materiału rozpylanego.
7 Na podstawie badań zależności mocy krążącej od mocy dostarczanej do targetu i zawartości procentowej (ciśnienia cząstkowego) gazu reaktywnego w atmosferze procesu stwierdzono, że: możliwe jest stosowanie tego parametru do kontroli i sterowania procesem reaktywnego rozpylania, możliwe jest identyfikowanie momentu powstawania związku chemicznego na powierzchni katody. Warunkiem kontroli procesu reaktywnego jest uwzględnienie w analizach właściwości materiału rozpylanego, w szczególności tych związanych z wpływem gazu reaktywnego na zmiany współczynników rozpylania targetu i emisji elektronów wtórnych. 6. Wpływ parametrów procesu magnetronowego rozpylania na dynamikę osadzania cienkich warstw związków Problemy związane ze niestabilnym i niepowtarzalnym procesem rozpylania w modach przejściowym i reaktywnym (target pokryty lub/i dynamicznie pokrywający się związkiem) stały się powodem poszukiwań nowych rozwiązań technicznotechnologicznych. Rozwiązaniem (zaproponowanym w niniejszej pracy) jest prowadzenie procesu reaktywnego rozpylania w modzie metalicznym lub/i na granicy modów pracy magnetronu, metalicznego i przejściowego, a więc w warunkach gdy powierzchnia materiału rozpylanego nie jest pokryta tworzącym się związkiem. Wybór takiej opcji rozpylania ogranicza znacznie niestabilności (np. przypadkowe wyładowania elektryczne) na powierzchni materiału rozpylanego, który podczas całego procesu stanowi wydajne źródło par metalu. Głównym celem prac było określenie warunków umożliwiających zwiększenie wydajności osadzania cienkich warstw związków chemicznych otrzymywanych metodą reaktywnego rozpylania impulsowego. Konieczne jest uwzględnienie w procedurze technologicznej całej grupy parametrów wynikających z teoretycznych symulacji procesu osadzania i weryfikowanych podczas eksperymentów. Stały się one podstawą do analizy warunków niezbędnych do wydajnego nanoszenia związków metodą reaktywnego impulsowego rozpylania magnetronowego. Stwierdzono, że szybkość osadzania rośnie proporcjonalnie do mocy dostarczonej do katody (rys. 5), a odwrotnie proporcjonalnie do kwadratu odległości podłoże target (rys. 6). Zwiększenie wartości obu tych parametrów wpływało korzystnie na przesunięcie momentu całkowitego pokrycia powierzchni targetu tworzącym się związkiem i zachodziło przy coraz wyższych wartościach ciśnień cząstkowych gazu reaktywnego.
8 Rysunek 5: Wpływ zmiany mocy dostarczanej do targetu na charakterystykę mocy krążącej i szybkość osadzania podczas rozpylania tytanu w atmosferze Ar+N 2 Rysunek 6: Wpływ odległości podłoża od targetu na charakterystyki rozpylania glinu w atmosferze Ar+O 2 a) moc krążąca, b) szybkość osadzania Podczas przeprowadzania procesów reaktywnych należy kontrolować zmiany zachodzące w miarę zużywania się materiału rozpylanego (rys. 7) i jeśli to konieczne stosować odpowiednie procedury kalibracyjne procesów. Jest to szczególnie ważne dla długotrwałych procesów, podczas których głębokość erozji targetu zmienia się z czasem rozpylania. Rysunek 7: Rozpylanie tytanu w atmosferze Ar+O 2 przy różnych głębokościach wytrawienia rozpylanego materiału (grubość początkowa d T = 7 mm) a) moc krążąca, b) szybkość osadzania
9 Znajomość zależności między mocą krążącą i szybkością osadzania a parametrami procesu umożliwiała kontrolę procesu i taki dobór punktu pracy, w którym jest możliwe wysokowydajne otrzymanie cienkich warstw zawiązków chemicznych. 7. Wpływ warunków osadzania na właściwości cienkich warstw Oprócz korzyści płynących ze zwiększenia wydajności osadzania, stworzono nowe możliwości technologiczne otrzymywania warstw (np. mieszaniny przewodzącodielektryczne cermety). Badano wpływ parametrów procesu osadzania na strukturę, właściwości elektryczne i mechaniczne warstw. Możliwość wysokowydajnego otrzymywania warstw wybranych związków chemicznych (np. dielektryków) może mieć pozytywny wpływ na zwiększenie wydajności przemysłowego wykorzystania zaprezentowanej technologii nanoszenia. Wyniki badań procesów otrzymywania wybranych związków chemicznych oraz pomiary ich właściwości pokazały (tab. 1), że warstwy otrzymywane w reaktywnym modzie metalicznym (RMM) mają podobne, a czasami nawet lepsze, właściwości od warstw otrzymywanych w standardowych procesach tzn. w reaktywnym modzie dielektrycznym (RMD). Jednocześnie, szybkość osadzania cienkich warstw związków dielektrycznych, osadzanych w wysokowydajnym modzie RMM, była zbliżona do szybkości osadzania metalu (składnika związku). Wydajność procesu rozpylania silnie zależała od rodzaju rozpylanego materiału (na przykład tytan i jego związki, ze względu na stosunkowo niski współczynnik rozpylania, osadzane są wolniej niż glin w tych samych warunkach). Tabela 1: Szybkość nanoszenia warstw związków chemicznych Właściwości elektryczne cienkich warstw były mierzone i analizowane metodą spektroskopii impedancyjnej współpraca z Laboratorium Badań Elektrycznych Materiałów w Zakładzie Metrologii Mikro i Nanostruktur [10]. Na przykładzie
10 rozpylania reaktywnego glinu w mieszaninie tlenu i argonu (rys. 8), wskazano na możliwość otrzymywania związków chemicznych (tlenków glinu): i) z dużą szybkością osadzania i ograniczonym wpływem temperatury na osadzaną warstwę RMM, oraz ii) ze stosunkowo małą szybkością osadzania i znacznym oddziaływaniem temperatury na osadzaną warstwę RMD. Rysunek 8: Porównanie widm impedancji dla kondensatorów z tlenkami osadzanymi w modzie metalicznym RMM i dielektrycznym RMD: a) moduł impedancji i faza, b) konduktancja, c) pojemność, d) współczynnik strat dielektrycznych Nanoszenie warstw w modzie reaktywnym metalicznym otwiera nowe możliwości wysokowydajnego, stabilnego i kontrolowanego otrzymywania warstw mieszanin metaliczno-dielektrycznych (kompozyty). Na podstawie badań procesów reaktywnego rozpylania targetu Al założono, że możliwe będzie otrzymanie struktur cienkowarstwowych stanowiących mieszaninę Al2O3 i wtrąceń metalicznych Al [9]. Mimo niewielkich zmian w poziomie domieszkowania cienkiej warstwy tlenem, zmiany właściwości napylonych warstw będą mogły być zidentyfikowane podczas badań metodą spektroskopii impedancyjnej (rys. 9).
11 Rysunek 9: Widma impedancji dla struktur z cienkimi warstwami Al 2O 3-Al osadzanymi przy różnym ciśnieniu cząstkowym tlenu: a) pojemność, b) współczynnik strat dielektrycznych, c) konduktancja, a) urojona część modułu dielektrycznego Nawet niewielkie zmiany ciśnienia cząstkowego gazu reaktywnego mogą znacząco zmienić teksturę i skład napylanych warstw. Z jednej strony jest to wadą, gdyż wymusza konieczność stałej kontroli procesu rozpylania np. za pomocą parametrów układu zasilającego magnetron. Z drugiej strony otwiera jednak nowe możliwości zastosowań w inżynierii materiałowej. Oczekiwać można, że przy przestrzeganiu określonych procedur technologicznych, możliwe będzie osadzanie cienkich warstw (w szczególności dwu składnikowych, np. tlenek - metal, azotek - metal) o różnych składach procentowych i teksturze. 8. Podsumowanie Celem badań, których wyniki przedstawiono w pracy, było określenie warunków technologicznych wysokowydajnego otrzymywania cienkich warstw związków chemicznych metodą reaktywnego, impulsowego rozpylania magnetronowego. Warunki technologiczne zostały określone na podstawie analizy modelu Berga i symulacji procesów reaktywnego rozpylania magnetronowego. Wyniki badań pozwoliły stwierdzić, że możliwe jest kontrolowanie stanu pokrycia powierzchni rozpylanej tworzącym się związkiem, którego obecność na materiale rozpylanym bezpośrednio
12 determinuje szybkość osadzania warstw. Dokonać tego można przez wybór i optymalizację parametrów procesu rozpylania, takich jak moc zasilania źródła magnetronowego i odległość między podłożem i targetem. Stabilne i wydajne otrzymywanie warstw związków chemicznych wymaga stosowania systemu kontroli parametrów i charakterystyk rozpylania. W przedstawionych badaniach jednym z najbardziej istotnych okazał się parametr źródła zasilania magnetronu tzw. moc krążąca. Na podstawie obserwacji jej zmian w zależności od zawartości gazu reaktywnego w atmosferze procesu potwierdzono, że możliwe jest stosowanie tego parametru do kontroli procesu reaktywnego rozpylania in situ i identyfikowanie momentu powstawania związku chemicznego na powierzchni katody-materiału rozpylanego. Wykonano program badawczy z uwzględnieniem wpływu poszczególnych parametrów procesu na szybkość osadzania warstw i zmiany mocy krążącej. Pozwoliło to na eksperymentalne potwierdzenie wyników symulacji i określenie wpływu poszczególnych parametrów na dynamikę procesu rozpylania. Zauważono, że oprócz intencjonalnych zmian parametrów procesów reaktywnych, należy również kontrolować zmiany zachodzące w miarę zużywania się materiału rozpylanego i, jeśli to konieczne, stosować odpowiednie procedury kalibracyjne procesów. Pokazano, że metoda reaktywnego rozpylania w modzie metalicznym pozwala na stabilne i powtarzalne osadzanie nie tylko warstw związków, ale i kompozytów mieszanin związków z wtrąceniami metalicznymi. Właściwości takich struktur zostały opisane metodami spektroskopii impedancyjnej. Przedstawione wyniki powinny stanowić podstawę do dalszych badań. Podsumowując, można stwierdzić, że udowodniono postawioną tezę pracy i zrealizowano cel pracy, tzn. określono warunki technologiczne umożliwiające wysokowydajne otrzymywanie cienkich warstw wybranych związków chemicznych metodą reaktywnego impulsowego rozpylania magnetronowego. Literatura: [1] S. Berg, H-O. Blom, T. Larsson, C. Nender, Modeling of reactive sputtering of compound materials, Journal of Vacuum Science and Technology A, 5, (1987), str [2] D. Depla, S. Heirwegh, S. Mahieu, J. Haemers, R. De Gryse, Understanding the discharge voltage behavior during reactive sputtering of oxides, Journal of Applied Physics, 101, (2007), str [3] J. Dora, Zasilacz rezonansowy, Patent Nr PL178285, opubl , Zgłosz
13 [4] C. May, F. Milde, G. Teschner, Process Development for Large Area Reactive Magnetron Sputtering, 45th Annual Technical Conference Proceedings, (2002), str [5] W.M. Posadowski, Niekonwencjonalne układy magnetronowe do próżniowego nanoszenia cienkich warstw, Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, (2001). [6] W.M. Posadowski, A. Wiatrowski, J. Dora, Z.J. Radzimski, Magnetron sputtering process control by medium-frequency power supply parameter, Thin Solid Films, 516, (2008), str [7] W.M. Posadowski, K. Tadaszak, A. Wiatrowski, Próżniowe, wysokowydajne, osadzanie cienkich warstw dielktrycznych metodą reaktywnego, impulsowego rozpylania magnetronowego - wybór punktu pracy magnetronu, Elektronika, 8, (2011), str [8] K. Tadaszak, A. Wiatrowski, W.M. Posadowski, Magnetron sputtering modes Turing pulsed deposition process determined by the analysis of power supply parameter, Thin Solid Films, 520, (2012), str [9] K. Tadaszak, K. Nitsch, T. Piasecki, W.M. Posadowski, Electrical characterization of aluminium oxide-aluminium thin film composites by impedance spectroscopy, Microelectronics Reliability, 51, (2011), str [10] K. Tadaszak, K. Nitsch, T. Piasecki, W.M. Posadowski, Properties of aluminium oxide thin films deposited in high effective reactive pulsed magnetron sputtering process, Materials Science-Poland, 30, (2012), str [11] K. Tadaszak, J. Paprocki, High rate deposition of thin film compounds - modeling of reactive magnetron sputtering process, Prace Instytutu Elektrotechniki, 263, (2013). [12] K. Tadaszak, W. Posadowski, Model of high rate reactive pulsed magnetron sputtering, Elektronika, 3, (2011), str Dorobek naukowy: 20 publikacji w tym 3 w czasopismach z tzw. Listy Filadelfijskiej, 13 w czasopismach z tzw. Listy Ministerialnej udział w 6 krajowych i 8 międzynarodowych konferencjach naukowych dwa wyróżnienia: Best Conference Paper Award Elte 2010 w sekcji Electronic Materials za poster Model of High Rate Reactive Pulsed Magnetron Sputtering, Najlepszy plakat na VII Konferencji "Postępy w Elektrotechnologii" 2012 za plakat Nanokompozyty osadzane metodą rozpylania magnetronowego i ich zastosowania
Prof. dr inż. Jerzy Zdanowski Wrocław, 10.06.2014 r. ul. Żniwna 16 52-230 WROCŁAW
Prof. dr inż. Jerzy Zdanowski Wrocław, 10.06.2014 r. ul. Żniwna 16 52-230 WROCŁAW O c e n a rozprawy doktorskiej mgr inż. Katarzyny Tadaszak pt. Badanie procesu wydajnego impulsowego rozpylania magnetronowego
Bardziej szczegółowoWpływ temperatury podłoża na właściwości powłok DLC osadzanych metodą rozpylania katod grafitowych łukiem impulsowym
Dotacje na innowacje Wpływ temperatury podłoża na właściwości powłok DLC osadzanych metodą rozpylania katod grafitowych łukiem impulsowym Viktor Zavaleyev, Jan Walkowicz, Adam Pander Politechnika Koszalińska
Bardziej szczegółowoEkspansja plazmy i wpływ atmosfery reaktywnej na osadzanie cienkich warstw hydroksyapatytu. Marcin Jedyński
Ekspansja plazmy i wpływ atmosfery reaktywnej na osadzanie cienkich warstw hydroksyapatytu. Marcin Jedyński Metoda PLD (Pulsed Laser Deposition) PLD jest nowoczesną metodą inżynierii powierzchni, umożliwiającą
Bardziej szczegółowoPOLITECHNIKA ŚLĄSKA 44-100 Gliwice, ul. Krzywoustego 2, tel (032) 237-29-02,
Katedra Optoelektroniki POLITECHNIKA ŚLĄSKA 44-100 Gliwice, ul. Krzywoustego 2, tel (032) 237-29-02, Prof. dr hab. inż. Tadeusz Pustelny Katedra Optoelektroniki Politechnika Śląska e-mail: tpustelny@polsl.pl
Bardziej szczegółowoAparatura do osadzania warstw metodami:
Aparatura do osadzania warstw metodami: Rozpylania mgnetronowego Magnetron sputtering MS Rozpylania z wykorzystaniem działa jonowego Ion Beam Sputtering - IBS Odparowanie wywołane impulsami światła z lasera
Bardziej szczegółowoTechnologie plazmowe. Paweł Strzyżewski. Instytut Problemów Jądrowych im. Andrzeja Sołtana Zakład PV Fizyki i Technologii Plazmy Otwock-Świerk
Technologie plazmowe Paweł Strzyżewski p.strzyzewski@ipj.gov.pl Instytut Problemów Jądrowych im. Andrzeja Sołtana Zakład PV Fizyki i Technologii Plazmy 05-400 Otwock-Świerk 1 Informacje: Skład osobowy
Bardziej szczegółowoPVD-COATING PRÓŻNIOWE NAPYLANIE ALUMINIUM NA DETALE Z TWORZYWA SZTUCZNEGO (METALIZACJA PRÓŻNIOWA)
ISO 9001:2008, ISO/TS 16949:2002 ISO 14001:2004, PN-N-18001:2004 PVD-COATING PRÓŻNIOWE NAPYLANIE ALUMINIUM NA DETALE Z TWORZYWA SZTUCZNEGO (METALIZACJA PRÓŻNIOWA) *) PVD - PHYSICAL VAPOUR DEPOSITION OSADZANIE
Bardziej szczegółowoAutoreferat rozprawy doktorskiej
Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej Autoreferat rozprawy doktorskiej ZASTOSOWANIE WIELOTARGETOWEGO STANOWISKA DO WYTWARZANIA CIENKICH WARSTW METODĄ ROZPYLANIA MAGNETRONOWEGO
Bardziej szczegółowoElementy technologii mikroelementów i mikrosystemów. USF_3 Technologia_A M.Kujawińska, T.Kozacki, M.Jóżwik 3-1
Elementy technologii mikroelementów i mikrosystemów USF_3 Technologia_A M.Kujawińska, T.Kozacki, M.Jóżwik 3-1 Elementy technologii mikroelementów i mikrosystemów Typowe wymagania klasy czystości: 1000/100
Bardziej szczegółowoBadania starzeniowe kompozytowych materiałów ekranujących pole EM wytworzonych metodą dwuźródłowego rozpylania magnetronowego
IX Konferencja Naukowo-Techniczna i-mitel 2016 Marcin LEWANDOWSKI 1 Politechnika Wrocławska, Wydział Elektryczny, Katedra Podstaw Elektrotechniki i Elektrotechnologii (1) Badania starzeniowe kompozytowych
Bardziej szczegółowoPL B1. POLITECHNIKA ŁÓDZKA, Łódź, PL
PL 221932 B1 RZECZPOSPOLITA POLSKA (12) OPIS PATENTOWY (19) PL (11) 221932 (13) B1 Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej (21) Numer zgłoszenia: 398270 (22) Data zgłoszenia: 29.02.2012 (51) Int.Cl.
Bardziej szczegółowoŁukowe platerowanie jonowe
Łukowe platerowanie jonowe Typy wyładowania łukowego w zależności od rodzaju emisji elektronów z grzaną katodą z termoemisyjną katodą z katodą wnękową łuk rozłożony łuk z wędrującą plamką katodową dr K.Marszałek
Bardziej szczegółowoPL B1. Mechanizm regulacyjny położenia anody odporny na temperaturę i oddziaływanie próżni
PL 220256 B1 RZECZPOSPOLITA POLSKA (12) OPIS PATENTOWY (19) PL (11) 220256 (13) B1 Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej (21) Numer zgłoszenia: 402066 (22) Data zgłoszenia: 15.12.2012 (51) Int.Cl.
Bardziej szczegółowoZNACZENIE POWŁOKI W INŻYNIERII POWIERZCHNI
ZNACZENIE POWŁOKI W INŻYNIERII POWIERZCHNI PAWEŁ URBAŃCZYK Streszczenie: W artykule przedstawiono zalety stosowania powłok technicznych. Zdefiniowano pojęcie powłoki oraz przedstawiono jej budowę. Pokazano
Bardziej szczegółowoParametry częstotliwościowe przetworników prądowych wykonanych w technologii PCB 1 HDI 2
dr inż. ALEKSANDER LISOWIEC dr hab. inż. ANDRZEJ NOWAKOWSKI Instytut Tele- i Radiotechniczny Parametry częstotliwościowe przetworników prądowych wykonanych w technologii PCB 1 HDI 2 W artykule przedstawiono
Bardziej szczegółowoBadania wybranych nanostruktur SnO 2 w aspekcie zastosowań sensorowych
Badania wybranych nanostruktur SnO 2 w aspekcie zastosowań sensorowych Monika KWOKA, Jacek SZUBER Instytut Elektroniki Politechnika Śląska Gliwice PLAN PREZENTACJI 1. Podsumowanie dotychczasowych prac:
Bardziej szczegółowoZachodniopomorski Uniwersytet Technologiczny Instytut Inżynierii Materiałowej Zakład Metaloznawstwa i Odlewnictwa
Zachodniopomorski Uniwersytet Technologiczny Instytut Inżynierii Materiałowej Zakład Metaloznawstwa i Odlewnictwa Przedmiot: Inżynieria Powierzchni / Powłoki Ochronne / Powłoki Metaliczne i Kompozytowe
Bardziej szczegółowoFizyka Cienkich Warstw
Dr inż. T. Wiktorczyk Wydzial Podstawowych Problemów Techniki, Politechnika Wrocławska Fizyka Cienkich Warstw W-3 Fizyczne metody otrzymywania warstw -kontynuacja Naparowanie próżniowe omówiono na W-2
Bardziej szczegółowoPolitechnika Lubelska Wydział Elektrotechniki i Informatyki Katedra Urządzeń Elektrycznych i Techniki Wysokich Napięć. Dr hab.
Politechnika Lubelska Wydział Elektrotechniki i Informatyki Katedra Urządzeń Elektrycznych i Techniki Wysokich Napięć Dr hab. Paweł Żukowski Materiały magnetyczne Właściwości podstawowych materiałów magnetycznych
Bardziej szczegółowoSpektroskopia Przygotowanie próbek Próbki metaliczne i tlenkowe
Spektroskopia Przygotowanie próbek Próbki metaliczne i tlenkowe RYS Otwarte odśrodkowe ramię Lifumat-Met-3.3 RYS Lifumat-M-2000-3.3 V Seria pieców Lifumat została opracowana do znacznie szerszego zastosowania
Bardziej szczegółowoPOMIAR CIŚNIENIA W PRZESTRZENIACH MODELOWEJ FORMIERKI PODCIŚNIENIOWEJ ORAZ WERYFIKACJA METODYKI POMIAROWEJ
WYDZIAŁ ODLEWNICTWA AGH ODDZIAŁ KRAKOWSKI STOP XXXIII KONFERENCJA NAUKOWA z okazji Ogólnopolskiego Dnia Odlewnika 2009 Kraków, 11 grudnia 2009 r. Marcin ŚLAZYK 1 POMIAR CIŚNIENIA W PRZESTRZENIACH MODELOWEJ
Bardziej szczegółowoKondensatory. Konstrukcja i właściwości
Kondensatory Konstrukcja i właściwości Zbigniew Usarek, 2018 Politechnika Gdańska, Wydział FTiMS, Katedra Fizyki Ciała Stałego Materiały dydaktyczne do użytku wewnętrznego Podstawowe techniczne parametry
Bardziej szczegółowoPolitechnika Gdańska, Inżynieria Biomedyczna. Przedmiot: BIOMATERIAŁY. Metody pasywacji powierzchni biomateriałów. Dr inż. Agnieszka Ossowska
BIOMATERIAŁY Metody pasywacji powierzchni biomateriałów Dr inż. Agnieszka Ossowska Gdańsk 2010 Korozja -Zagadnienia Podstawowe Korozja to proces niszczenia materiałów, wywołany poprzez czynniki środowiskowe,
Bardziej szczegółowoSonochemia. Schemat 1. Strefy reakcji. Rodzaje efektów sonochemicznych. Oscylujący pęcherzyk gazu. Woda w stanie nadkrytycznym?
Schemat 1 Strefy reakcji Rodzaje efektów sonochemicznych Oscylujący pęcherzyk gazu Woda w stanie nadkrytycznym? Roztwór Znaczne gradienty ciśnienia Duże siły hydrodynamiczne Efekty mechanochemiczne Reakcje
Bardziej szczegółowoDlaczego pompa powinna być "inteligentna"?
Dlaczego pompa powinna być "inteligentna"? W ciepłowniczych i ziębniczych układach pompowych przetłaczanie cieczy ma na celu transport ciepła, a nie, jak w pozostałych układach, transport masy. Dobrym
Bardziej szczegółowo... Definicja procesu spawania gazowego:... Definicja procesu napawania:... C D
KATEDRA INŻYNIERII MATERIAŁOWEJ SPRAWOZDANIE ĆWICZENIE SP-1.1 LABORATORIUM SPAJALNICTWA Temat ćwiczenia: Spawanie gazowe (acetylenowo-tlenowe) Student: Grupa lab.: Prowadzący: Data wykonania ćwicz.: Ocena:
Bardziej szczegółowoVarioDry SPN 0003-0063
Technologie VarioDry Osuszania SPN 0003-0063 Membranowy Osuszacz Powietrza VarioDry SPN 0003-0063 GŁÓWNE CECHY I KORZYŚCI: Bardzo niskie straty powietrza Lekka konstrukcja 9 typów o dopuszczalnym przepływie
Bardziej szczegółowoĆwiczenie 24 Temat: Układy bramek logicznych pomiar napięcia i prądu. Cel ćwiczenia
Ćwiczenie 24 Temat: Układy bramek logicznych pomiar napięcia i prądu. Cel ćwiczenia Poznanie własności i zasad działania różnych bramek logicznych. Zmierzenie napięcia wejściowego i wyjściowego bramek
Bardziej szczegółowoAnaliza niestabilności powstających w trakcie procesu wytłaczania
Analiza niestabilności powstających w trakcie procesu wytłaczania Mateusz Barczewski Stypendysta projektu pt. Wsparcie stypendialne dla doktorantów na kierunkach uznanych za strategiczne z punktu widzenia
Bardziej szczegółowoPolitechnika Gdańska Wydział Elektrotechniki i Automatyki Katedra Inżynierii Systemów Sterowania
Politechnika Gdańska Wydział Elektrotechniki i Automatyki Katedra Inżynierii Systemów Sterowania Podstawy Automatyki Przygotowanie zadania sterowania do analizy i syntezy zestawienie schematu blokowego
Bardziej szczegółowoKatedra Elektrotechniki Teoretycznej i Informatyki
Katedra Elektrotechniki Teoretycznej i Informatyki Przedmiot: Badania nieniszczące metodami elektromagnetycznymi Numer Temat: Badanie materiałów kompozytowych z ćwiczenia: wykorzystaniem fal elektromagnetycznych
Bardziej szczegółowoLABORATORIUM SPEKTRALNEJ ANALIZY CHEMICZNEJ (L-6)
LABORATORIUM SPEKTRALNEJ ANALIZY CHEMICZNEJ (L-6) Posiadane uprawnienia: ZAKRES AKREDYTACJI LABORATORIUM BADAWCZEGO NR AB 120 wydany przez Polskie Centrum Akredytacji Wydanie nr 5 z 18 lipca 2007 r. Kierownik
Bardziej szczegółowoPRZECIWZUŻYCIOWE POWŁOKI CERAMICZNO-METALOWE NANOSZONE NA ELEMENT SILNIKÓW SPALINOWYCH
PRZECIWZUŻYCIOWE POWŁOKI CERAMICZNO-METALOWE NANOSZONE NA ELEMENT SILNIKÓW SPALINOWYCH AUTOR: Michał Folwarski PROMOTOR PRACY: Dr inż. Marcin Kot UCZELNIA: Akademia Górniczo-Hutnicza Im. Stanisława Staszica
Bardziej szczegółowoPROPOZYCJA ZASTOSOWANIA WYMIARU PUDEŁKOWEGO DO OCENY ODKSZTAŁCEŃ PRZEBIEGÓW ELEKTROENERGETYCZNYCH
Prace Naukowe Instytutu Maszyn, Napędów i Pomiarów Elektrycznych Nr 56 Politechniki Wrocławskiej Nr 56 Studia i Materiały Nr 24 2004 Krzysztof PODLEJSKI *, Sławomir KUPRAS wymiar fraktalny, jakość energii
Bardziej szczegółowoE dec. Obwód zastępczy. Napięcie rozkładowe
Obwód zastępczy Obwód zastępczy schematyczny obwód elektryczny, ilustrujący zachowanie się badanego obiektu w polu elektrycznym. Elementy obwodu zastępczego (oporniki, kondensatory, indukcyjności,...)
Bardziej szczegółowoPodstawy elektrochemii
Podstawy elektrochemii Elektrochemia bada procesy zachodzące na granicy elektrolit - elektroda Elektrony można wyciągnąć z elektrody bądź budując celkę elektrochemiczną, bądź dodając akceptor (np. kwas).
Bardziej szczegółowoTranzystory bipolarne. Właściwości wzmacniaczy w układzie wspólnego kolektora.
I. Cel ćwiczenia ĆWICZENIE 6 Tranzystory bipolarne. Właściwości wzmacniaczy w układzie wspólnego kolektora. Badanie właściwości wzmacniaczy tranzystorowych pracujących w układzie wspólnego kolektora. II.
Bardziej szczegółowoPRZEWODNIK PO PRZEDMIOCIE
Nazwa przedmiotu: Kierunek: Mechatronika Rodzaj przedmiotu: obowiązkowy na specjalności: systemy sterowania Rodzaj zajęć: wykład, laboratorium UKŁADY AUTOMATYKI PRZEMYSŁOWEJ Industrial Automatics Systems
Bardziej szczegółowoPolitechnika Koszalińska
Politechnika Instytut Mechatroniki, Nanotechnologii i Technik Próżniowych Wytwarzanie, struktura i właściwości cienkich powłok na bazie węgla Andrzej Czyżniewski Dotacje na innowacje Dotacje na innowacje
Bardziej szczegółowoSpis treści Przedmowa
Spis treści Przedmowa 1. Wprowadzenie do problematyki konstruowania - Marek Dietrich (p. 1.1, 1.2), Włodzimierz Ozimowski (p. 1.3 -i-1.7), Jacek Stupnicki (p. l.8) 1.1. Proces konstruowania 1.2. Kryteria
Bardziej szczegółowoTemat /6/: DYNAMIKA UKŁADÓW HYDRAULICZNYCH. WIADOMOŚCI PODSTAWOWE.
1 Temat /6/: DYNAMIKA UKŁADÓW HYDRAULICZNYCH. WIADOMOŚCI PODSTAWOWE. Celem ćwiczenia jest doświadczalne określenie wskaźników charakteryzujących właściwości dynamiczne hydraulicznych układów sterujących
Bardziej szczegółowoSkraplanie czynnika chłodniczego R404A w obecności gazu inertnego. Autor: Tadeusz BOHDAL, Henryk CHARUN, Robert MATYSKO Środa, 06 Czerwiec :42
Przeprowadzono badania eksperymentalne procesu skraplania czynnika chłodniczego R404A w kanale rurowym w obecności gazu inertnego powietrza. Wykazano negatywny wpływ zawartości powietrza w skraplaczu na
Bardziej szczegółowoRola stacji gazowych w ograniczaniu strat gazu w sieciach dystrybucyjnych
Rola stacji gazowych w ograniczaniu strat gazu w sieciach dystrybucyjnych Politechnika Warszawska Zakład Systemów Ciepłowniczych i Gazowniczych Prof. dr hab. inż. Andrzej J. Osiadacz Dr hab. inż. Maciej
Bardziej szczegółowoPrzetworniki ciśnienia z funkcją pomiaru temperatury typu MBS 1300 i MBS 1350
Karta katalogowa Przetworniki ciśnienia z funkcją pomiaru temperatury typu MBS 1300 i MBS 1350 Przetworniki typu MBS 1300 oferują pomiar ciśnienia przy jednoczesnym pomiarze temperatury medium. MBS 1300
Bardziej szczegółowoSpis treści. Przedmowa 11
Podstawy konstrukcji maszyn. T. 1 / autorzy: Marek Dietrich, Stanisław Kocańda, Bohdan Korytkowski, Włodzimierz Ozimowski, Jacek Stupnicki, Tadeusz Szopa ; pod redakcją Marka Dietricha. wyd. 3, 2 dodr.
Bardziej szczegółowoKompleksowe podejście do rozwoju systemów ciepłowniczych
1 Kompleksowe podejście do rozwoju systemów ciepłowniczych Daniel Roch Szymon Pająk ENERGOPOMIAR Sp. z o.o., Zakład Techniki Cieplnej Plan prezentacji 1. Aspekty kompleksowego podejścia do rozwoju systemu
Bardziej szczegółowoZachodniopomorski Uniwersytet Technologiczny INSTYTUT INŻYNIERII MATERIAŁOWEJ ZAKŁAD METALOZNAWSTWA I ODLEWNICTWA
Zachodniopomorski Uniwersytet Technologiczny INSTYTUT INŻYNIERII MATERIAŁOWEJ ZAKŁAD METALOZNAWSTWA I ODLEWNICTWA PRZEDMIOT: INŻYNIERIA WARSTWY WIERZCHNIEJ Temat ćwiczenia: Badanie prędkości zużycia materiałów
Bardziej szczegółowoSILNIK KROKOWY. w ploterach i małych obrabiarkach CNC.
SILNIK KROKOWY Silniki krokowe umożliwiają łatwe sterowanie drogi i prędkości obrotowej w zakresie do kilkuset obrotów na minutę, zależnie od parametrów silnika i sterownika. Charakterystyczną cechą silnika
Bardziej szczegółowoLaboratorium Półprzewodniki Dielektryki Magnetyki Ćwiczenie nr 8
Laboratorium Półprzewodniki Dielektryki Magnetyki Ćwiczenie nr 8 Analiza właściwości zmiennoprądowych materiałów i elementów elektronicznych I. Zagadnienia do przygotowania:. Wykonanie i przedstawienie
Bardziej szczegółowoMaszyna indukcyjna jest prądnicą, jeżeli prędkość wirnika jest większa od prędkości synchronicznej, czyli n > n 1 (s < 0).
Temat: Wielkości charakteryzujące pracę silnika indukcyjnego. 1. Praca silnikowa. Maszyna indukcyjna jest silnikiem przy prędkościach 0 < n < n 1, co odpowiada zakresowi poślizgów 1 > s > 0. Moc pobierana
Bardziej szczegółowoKarta katalogowa Przetworniki ciśnienia z funkcją pomiaru temperatury typu MBS 1300 i MBS 1350
MAKING MODERN LIVING POSSIBLE Karta katalogowa Przetworniki ciśnienia z funkcją pomiaru temperatury typu MBS 1300 i MBS 1350 Przetworniki typu MBS 1300 oferują pomiar ciśnienia przy jednoczesnym pomiarze
Bardziej szczegółowoODPORNOŚĆ STALIWA NA ZUŻYCIE EROZYJNE CZĘŚĆ II. ANALIZA WYNIKÓW BADAŃ
Szybkobieżne Pojazdy Gąsienicowe (15) nr 1, 2002 Stanisław JURA Roman BOGUCKI ODPORNOŚĆ STALIWA NA ZUŻYCIE EROZYJNE CZĘŚĆ II. ANALIZA WYNIKÓW BADAŃ Streszczenie: W części I w oparciu o teorię Bittera określono
Bardziej szczegółowoSYLABUS. Studia Kierunek studiów Poziom kształcenia Forma studiów Inżynieria materiałowa studia pierwszego studia stacjonarne
SYLABUS Nazwa Procesy specjalne Nazwa jednostki prowadzącej Wydział Matematyczno-Przyrodniczy przedmiot Centrum Mikroelektroniki i Nanotechnologii Kod Studia Kierunek studiów Poziom kształcenia Forma studiów
Bardziej szczegółowoLaboratorium Ochrony przed Korozją. Ćw. 9: ANODOWE OKSYDOWANIEALUMINIUM
Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica Wydział Inżynierii Materiałowej i Ceramiki Katedra Fizykochemii i Modelowania Procesów Laboratorium Ochrony przed Korozją Ćw. 9: ANODOWE OKSYDOWANIEALUMINIUM
Bardziej szczegółowoWPŁYW ZAKŁÓCEŃ PROCESU WZBOGACANIA WĘGLA W OSADZARCE NA ZMIANY GĘSTOŚCI ROZDZIAŁU BADANIA LABORATORYJNE
Górnictwo i Geoinżynieria Rok 33 Zeszyt 4 2009 Stanisław Cierpisz*, Daniel Kowol* WPŁYW ZAKŁÓCEŃ PROCESU WZBOGACANIA WĘGLA W OSADZARCE NA ZMIANY GĘSTOŚCI ROZDZIAŁU BADANIA LABORATORYJNE 1. Wstęp Zasadniczym
Bardziej szczegółowoPL 201347 B1. Politechnika Białostocka,Białystok,PL 29.07.2002 BUP 16/02. Roman Kaczyński,Białystok,PL Marek Jałbrzykowski,Wysokie Mazowieckie,PL
RZECZPOSPOLITA POLSKA (12) OPIS PATENTOWY (19) PL (11) 201347 (13) B1 (21) Numer zgłoszenia: 351999 (51) Int.Cl. G01N 3/56 (2006.01) Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej (22) Data zgłoszenia: 04.02.2002
Bardziej szczegółowoAUTOMATYKA I STEROWANIE W CHŁODNICTWIE, KLIMATYZACJI I OGRZEWNICTWIE L2 STEROWANIE INWERTEROWYM URZĄDZENIEM CHŁODNICZYM W TRYBIE P
ĆWICZENIE LABORAORYJNE AUOMAYKA I SEROWANIE W CHŁODNICWIE, KLIMAYZACJI I OGRZEWNICWIE L2 SEROWANIE INWEREROWYM URZĄDZENIEM CHŁODNICZYM W RYBIE P Wersja: 2013-09-30-1- 2.1. Cel ćwiczenia Celem ćwiczenia
Bardziej szczegółowoELEKTROTECHNIKA I ELEKTRONIKA
UNIERSYTET TECHNOLOGICZNO-PRZYRODNICZY BYDGOSZCZY YDZIAŁ INŻYNIERII MECHANICZNEJ INSTYTUT EKSPLOATACJI MASZYN I TRANSPORTU ZAKŁAD STEROANIA ELEKTROTECHNIKA I ELEKTRONIKA ĆICZENIE: E3 BADANIE ŁAŚCIOŚCI
Bardziej szczegółowoPromotor: prof. nadzw. dr hab. Jerzy Ratajski. Jarosław Rochowicz. Wydział Mechaniczny Politechnika Koszalińska
Promotor: prof. nadzw. dr hab. Jerzy Ratajski Jarosław Rochowicz Wydział Mechaniczny Politechnika Koszalińska Praca magisterska Wpływ napięcia podłoża na właściwości mechaniczne powłok CrCN nanoszonych
Bardziej szczegółowoĆwiczenie 1: Wyznaczanie warunków odporności, korozji i pasywności metali
Ćwiczenie 1: Wyznaczanie warunków odporności, korozji i pasywności metali Wymagane wiadomości Podstawy korozji elektrochemicznej, wykresy E-pH. Wprowadzenie Główną przyczyną zniszczeń materiałów metalicznych
Bardziej szczegółowoTytuł rozprawy: Prof. dr hab. inż. Jerzy Michalski Szkoła Główna Gospodarstwa Wiejskiego w Warszawie Wydział Inżynierii Produkcji
Prof. dr hab. inż. Jerzy Michalski Szkoła Główna Gospodarstwa Wiejskiego w Warszawie Wydział Inżynierii Produkcji Tytuł rozprawy: RECENZJA rozprawy doktorskiej mgr inż. Krystiana Maźniaka Azotowanie jarzeniowe
Bardziej szczegółowoŚrodowisko symulacji parametry początkowe powietrza
Środowisko symulacji parametry początkowe powietrza Wstęp O wartości dobrze przygotowanego modelu symulacyjnego świadczy grupa odpowiednio opisanych parametrów wejściowych. Pozornie najbardziej widoczna
Bardziej szczegółowoMetoda generowania typowych scenariuszy awaryjnych w zakładach dużego i zwiększonego ryzyka - ExSysAWZ
Metoda generowania typowych scenariuszy awaryjnych w zakładach dużego i zwiększonego ryzyka - ExSysAWZ A.S. Markowski, M. Pietrzykowski, R.J. Żyłła Politechnika Łódzka Katedra Inżynierii Bezpieczeństwa
Bardziej szczegółowoPRACA DYPLOMOWA W BUDOWIE WKŁADEK FORMUJĄCYCH. Tomasz Kamiński. Temat: ŻYWICE EPOKSYDOWE. dr inż. Leszek Nakonieczny
Politechnika Wrocławska - Wydział Mechaniczny Instytut Technologii Maszyn i Automatyzacji PRACA DYPLOMOWA Tomasz Kamiński Temat: ŻYWICE EPOKSYDOWE W BUDOWIE WKŁADEK FORMUJĄCYCH Promotor: dr inż. Leszek
Bardziej szczegółowoPRZEWODNIK PO PRZEDMIOCIE
Nazwa przedmiotu: NAPĘDY I STEROWANIE ELEKTROHYDRAULICZNE MASZYN DRIVES AND ELEKTRO-HYDRAULIC MACHINERY CONTROL SYSTEMS Kierunek: Mechatronika Forma studiów: STACJONARNE Kod przedmiotu: S1_07 Rodzaj przedmiotu:
Bardziej szczegółowoBadanie przepływomierzy powietrza typu LMM i HFM
Badanie przepływomierzy powietrza typu LMM i HFM 1. Cel ćwiczenia Celem ćwiczenia jest przeprowadzenie badania oraz określenie charakterystyk dla przepływomierza z przegrodą spiętrzającą oraz termo-anemometru,
Bardziej szczegółowoPolitechnika Poznańska, Instytut Elektrotechniki i Elektroniki Przemysłowej, Zakład Energoelektroniki i Sterowania Laboratorium energoelektroniki
Politechnika Poznańska, Instytut Elektrotechniki i Elektroniki Przemysłowej, Zakład Energoelektroniki i Sterowania Laboratorium energoelektroniki Temat ćwiczenia: Przetwornica impulsowa DC-DC typu buck
Bardziej szczegółowoOpis zakładanych efektów kształcenia
Załącznik nr.. Opis zakładanych efektów kształcenia Kierunek studiów: zarządzanie i inżynieria produkcji Poziom kształcenia: studia pierwszego stopnia Tytuł zawodowy: inżynier Profil kształcenia: ogólnoakademicki
Bardziej szczegółowoObliczenia osiągów dyszy aerospike przy użyciu pakietu FLUENT Michał Folusiaak
Obliczenia osiągów dyszy aerospike przy użyciu pakietu FLUENT Michał Folusiaak WSTĘP Celem przeprowadzonych analiz numerycznych było rozpoznanie możliwości wykorzystania komercyjnego pakietu obliczeniowego
Bardziej szczegółowoOPTYMALIZACJA ZBIORNIKA NA GAZ PŁYNNY LPG
Leon KUKIEŁKA, Krzysztof KUKIEŁKA, Katarzyna GELETA, Łukasz CĄKAŁA OPTYMALIZACJA ZBIORNIKA NA GAZ PŁYNNY LPG Streszczenie Praca dotyczy optymalizacji kształtu zbiornika toroidalnego na gaz LPG. Kryterium
Bardziej szczegółowoPL B1. Politechnika Świętokrzyska,Kielce,PL BUP 10/08. Wojciech Depczyński,Jasło,PL Norbert Radek,Górno,PL
RZECZPOSPOLITA POLSKA (12) OPIS PATENTOWY (19) PL (11) 203009 (13) B1 Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej (21) Numer zgłoszenia: 380946 (22) Data zgłoszenia: 30.10.2006 (51) Int.Cl. C23C 26/02 (2006.01)
Bardziej szczegółowoPRZEWODNIK PO PRZEDMIOCIE
Nazwa przedmiotu: Kierunek: ENERGETYKA Rodzaj przedmiotu: kierunkowy ogólny Rodzaj zajęć: wykład, laboratorium I KARTA PRZEDMIOTU CEL PRZEDMIOTU PRZEWODNIK PO PRZEDMIOCIE C1. Zapoznanie studentów z własnościami
Bardziej szczegółowo(12) TŁUMACZENIE PATENTU EUROPEJSKIEGO (19) PL (11) PL/EP (96) Data i numer zgłoszenia patentu europejskiego:
RZECZPOSPOLITA POLSKA (12) TŁUMACZENIE PATENTU EUROPEJSKIEGO (19) PL (11) PL/EP 1706519 Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej (96) Data i numer zgłoszenia patentu europejskiego: 18.01.2005 05706687.0
Bardziej szczegółowoOkres realizacji projektu: r r.
PROJEKT: Wykorzystanie modułowych systemów podawania i mieszania materiałów proszkowych na przykładzie linii technologicznej do wytwarzania katod w bateriach termicznych wraz z systemem eksperckim doboru
Bardziej szczegółowoBadanie właściwości mechanicznych, korozyjnych i przeciwdrobnoustrojowych powłok na bazie ZrC
Badanie właściwości mechanicznych, korozyjnych i przeciwdrobnoustrojowych powłok na bazie ZrC Ewa Czerwińska Jerzy Ratajski, Ewa Czerwińska, Łukasz Szparaga, Katarzyna Mydłowska Politechnika Koszalińska,
Bardziej szczegółowoZadania badawcze realizowane na Wydziale Inżynierii Materiałowej Politechniki Warszawskiej
Zadania badawcze realizowane na Wydziale Inżynierii Materiałowej Politechniki Warszawskiej Łukasz Ciupiński Politechnika Warszawska Wydział Inżynierii Materiałowej Zakład Projektowania Materiałów Zaangażowanie
Bardziej szczegółowoW NACZYNIU WIRUJĄCYM WOKÓŁ OSI PIONOWEJ
POLITECHNIKA BIAŁOSTOCKA Wydział Budownictwa i Inżynierii Środowiska Instrukcja do zajęć laboratoryjnych Temat ćwiczenia: POWIERZCHNIA SWOBODNA CIECZY W NACZYNIU WIRUJĄCYM WOKÓŁ OSI PIONOWEJ Ćwiczenie
Bardziej szczegółowoPrzetworniki ciśnienia do wymagających zastosowań przemysłowych, typu MBS 1200 i MBS 1250
Karta katalogowa Przetworniki ciśnienia do wymagających zastosowań przemysłowych, typu MBS 100 i MBS 150 Kompaktowe przetworniki ciśnienia zostały zaprojektowane do pracy w trudnych warunkach przemysłowych
Bardziej szczegółowoRtęć w przemyśle. Technologia usuwania rtęci z węgla przed procesem zgazowania/spalania jako efektywny sposób obniżenia emisji rtęci do atmosfery
Rtęć w przemyśle Konwencja, ograniczanie emisji, technologia 26 listopada 2014, Warszawa Technologia usuwania rtęci z węgla przed procesem zgazowania/spalania jako efektywny sposób obniżenia emisji rtęci
Bardziej szczegółowoDobór materiałów konstrukcyjnych cz. 10
Dobór materiałów konstrukcyjnych cz. 10 dr inż. Hanna Smoleńska Katedra Inżynierii Materiałowej i Spajania Wydział Mechaniczny, Politechnika Gdańska DO UŻYTKU WEWNĘTRZNEGO Zniszczenie materiału w wyniku
Bardziej szczegółowoOPTYMALIZACJA HARMONOGRAMOWANIA MONTAŻU SAMOCHODÓW Z ZASTOSOWANIEM PROGRAMOWANIA W LOGICE Z OGRANICZENIAMI
Autoreferat do rozprawy doktorskiej OPTYMALIZACJA HARMONOGRAMOWANIA MONTAŻU SAMOCHODÓW Z ZASTOSOWANIEM PROGRAMOWANIA W LOGICE Z OGRANICZENIAMI Michał Mazur Gliwice 2016 1 2 Montaż samochodów na linii w
Bardziej szczegółowoBADANIA MODELOWE OGNIW PALIWOWYCH TYPU PEM
POZNAN UNIVE RSITY OF TE CHNOLOGY ACADE MIC JOURNALS No 70 Electrical Engineering 2012 Bartosz CERAN* BADANIA MODELOWE OGNIW PALIWOWYCH TYPU PEM W artykule przedstawiono badania przeprowadzone na modelu
Bardziej szczegółowoNARZĘDZIA ŚCIERNE KLASY PREMIUM DO OBRÓBKI METALU
NARZĘDZIA ŚCIERNE KLASY PREMIUM DO OBRÓBKI METALU WYJĄTKOWA SZYBKOŚĆ SZLIFOWANIA DOSKONAŁE USUWANIE NADDATKU DO NAJTRUDNIEJSZYCH PRAC REWELACYJNE RÓWNIEŻ DO STALI NIERDZEWNEJ ZWIĘKSZ WYDAJNOŚĆ, OGRANICZ
Bardziej szczegółowoZB nr 5 Nowoczesna obróbka mechaniczna stopów magnezu i aluminium
ZB nr 5 Nowoczesna obróbka mechaniczna stopów magnezu i aluminium Prof. dr hab. inż. Józef Kuczmaszewski CZ 5.1 opracowanie zaawansowanych metod obróbki skrawaniem stopów lekkich stosowanych na elementy
Bardziej szczegółowo34;)/0/0<97=869>07* NOPQRSPTUVWX QYZ[O\O]^OU_QRYR`O /986/984:* %*+&'((, -1.*+&'((,
443131 0123452689 214 6194 3!21 01234526 89 34;)/0/007*?@12"43#3!21!6$4 3!21?A##1#4!2#B1?C!6$D 4"4$16$2$E6 34"FG"4G?2133$#!2461H"4&I0342133?)ED#1216#26H4 1#4J3?@4E4 1#$41!1B1?41! 13!11B1?@21##434J31313123K#!26K?31E4J1$211?898$2$L3!2!M$6
Bardziej szczegółowoBadania właściwości zmęczeniowych bimetalu stal S355J2- tytan Grade 1
Badania właściwości zmęczeniowych bimetalu stal S355J2- tytan Grade 1 ALEKSANDER KAROLCZUK a) MATEUSZ KOWALSKI a) a) Wydział Mechaniczny Politechniki Opolskiej, Opole 1 I. Wprowadzenie 1. Technologia zgrzewania
Bardziej szczegółowoMarcin Sikora. Temat 1: Obserwacja procesów przemagnesowania w tlenkowych nanostrukturach spintronicznych przy użyciu metod synchrotronowych
Prezentacja tematów na prace doktorskie, 28/5/2015 1 Marcin Sikora KFCS WFiIS & ACMiN Temat 1: Obserwacja procesów przemagnesowania w tlenkowych nanostrukturach spintronicznych przy użyciu metod synchrotronowych
Bardziej szczegółowoAdres do korespondencji: Instytut Metalurgii i Inżynierii Materiałowej PAN, Kraków, ul. Reymonta 25
Adres do korespondencji: Instytut Metalurgii i Inżynierii Materiałowej PAN, 30059 Kraków, ul. Reymonta 25 Tel.: (012) 295 28 86, pokój 10, fax: (012) 295 28 04 email: w.wajda@imim.pl Miejsca zatrudnienia
Bardziej szczegółowoTranzystory bipolarne. Właściwości dynamiczne wzmacniaczy w układzie wspólnego emitera.
ĆWICZENIE 5 Tranzystory bipolarne. Właściwości dynamiczne wzmacniaczy w układzie wspólnego emitera. I. Cel ćwiczenia Badanie właściwości dynamicznych wzmacniaczy tranzystorowych pracujących w układzie
Bardziej szczegółowoModuły kształcenia. Efekty kształcenia dla programu kształcenia (kierunku) MK_06 Krystalochemia. MK_01 Chemia fizyczna i jądrowa
Matryca efektów kształcenia określa relacje między efektami kształcenia zdefiniowanymi dla programu kształcenia (efektami kierunkowymi) i efektami kształcenia zdefiniowanymi dla poszczególnych modułów
Bardziej szczegółowoBadania efektywności systemu zarządzania jakością
Opracowanie to z łagodniejszym podsumowaniem ukazało się w Problemach jakości 8/ 2007 Jacek Mazurkiewicz Izabela Banaszak Magdalena Wierzbicka Badania efektywności systemu zarządzania jakością Aby w pełni
Bardziej szczegółowoPolitechnika Warszawska
Politechnika Warszawska Wydział Elektryczny Laboratorium Teletechniki Skrypt do ćwiczenia T.03 Podstawowe zasady modulacji amlitudy na przykładzie modulacji DSB 1. Podstawowe zasady modulacji amplitudy
Bardziej szczegółowoCZTEROKULOWA MASZYNA TARCIA ROZSZERZENIE MOŻLIWOŚCI BADAWCZYCH W WARUNKACH ZMIENNYCH OBCIĄŻEŃ
Artur MACIĄG, Wiesław OLSZEWSKI, Jan GUZIK Politechnika Radomska, Wydział Mechaniczny CZTEROKULOWA MASZYNA TARCIA ROZSZERZENIE MOŻLIWOŚCI BADAWCZYCH W WARUNKACH ZMIENNYCH OBCIĄŻEŃ Słowa kluczowe Czterokulowa
Bardziej szczegółowoZajęcia laboratoryjne
Zajęcia laboratoryjne Napęd Hydrauliczny Instrukcja do ćwiczenia nr 1 Charakterystyka zasilacza hydraulicznego Opracowanie: R. Cieślicki, Z. Kudźma, P. Osiński, J. Rutański, M. Stosiak Wrocław 2016 Spis
Bardziej szczegółowoBadanie ultradźwiękowe grubości elementów metalowych defektoskopem ultradźwiękowym
Badanie ultradźwiękowe grubości elementów metalowych defektoskopem ultradźwiękowym 1. Badania nieniszczące wprowadzenie Badania nieniszczące polegają na wykorzystaniu nieinwazyjnych metod badań (bez zniszczenia
Bardziej szczegółowoAutoreferat Rozprawy Doktorskiej
Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie Wydział Elektrotechniki, Automatyki, Informatyki i Inżynierii Biomedycznej Autoreferat Rozprawy Doktorskiej Krzysztof Kogut Real-time control
Bardziej szczegółowoLaboratorium Ochrony przed Korozją. GALWANOTECHNIKA II Ćw. 6: ANODOWE OKSYDOWANIE ALUMINIUM
Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica Wydział Inżynierii Materiałowej i Ceramiki Katedra Fizykochemii i Modelowania Procesów Laboratorium Ochrony przed Korozją GALWANOTECHNIKA II Ćw. 6: ANODOWE
Bardziej szczegółowoPodstawy użytkowania i pomiarów za pomocą MULTIMETRU
Podstawy użytkowania i pomiarów za pomocą MULTIMETRU Spis treści Informacje podstawowe...2 Pomiar napięcia...3 Pomiar prądu...5 Pomiar rezystancji...6 Pomiar pojemności...6 Wartość skuteczna i średnia...7
Bardziej szczegółowoMateriałoznawstwo optyczne CERAMIKA OPTYCZNA
Materiałoznawstwo optyczne CERAMIKA OPTYCZNA Szkło optyczne i fotoniczne, A. Szwedowski, R. Romaniuk, WNT, 2009 POLIKRYSZTAŁY - ciała stałe o drobnoziarnistej strukturze, które są złożone z wielkiej liczby
Bardziej szczegółowoProcess Analytical Technology (PAT),
Analiza danych Data mining Sterowanie jakością Analityka przez Internet Process Analytical Technology (PAT), nowoczesne podejście do zapewniania jakości wg. FDA Michał Iwaniec StatSoft Polska StatSoft
Bardziej szczegółowo